一、多弧離子反應鍍膜設備可鍍色彩

1、鍍銀灰色∶用鈦靶材，真空鍍抽至1.5×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa左右(you)鍍三分鐘左右(you)。（產生Ti金屬層(ceng)）

2、鍍銀白色∶用鉻靶材，真(zhen)空度抽至(zhi)1.0×10-2Pa，充Ar（氬氣）至(zhi)1.5×10-1Pa左右(you)鍍三分鐘左右(you)。（產(chan)生Cr金(jin)屬層）

3、鍍(du)金色∶用鈦靶材，真空度(du)抽至1.5×10-2Pa，充Ar（氬氣）至1×10-1Pa鍍(du)60秒—關氬氣（Ar）—開(kai)氮(dan)氣至2~4×10-1Pa鍍(du)4分鐘左右(you)（產生TiN化合物(wu)）

4、鍍古銅色∶用一半鈦靶材，一半鈦(tai)鋁靶(ba)(ba)材，充Ar（氬(ya)(ya)氣(qi)）至(zhi)(zhi)1×10Pa-1開(kai)鈦(tai)靶(ba)(ba)鍍(du)50秒—關Ar（氬(ya)(ya)氣(qi)）開(kai)氮(dan)氣(qi)至(zhi)(zhi)1×10-1Pa—開(kai)鈦(tai)靶(ba)(ba)、鈦(tai)鋁靶(ba)(ba)—充乙炔150流量左右(you)(you)，氮(dan)氣(qi)調至(zhi)(zhi)3×10-1Pa左右(you)(you)，鍍(du)4分(fen)鐘（加(jia)熱(re)爐(lu)體至(zhi)(zhi)200°C左右(you)(you)）。（產生TiCN和TiN化合物）

5、鍍玫瑰金色(se)(se)∶跟古(gu)(gu)銅色(se)(se)一樣操作，只是乙(yi)炔(gui)在(zai)60流量左右，氮氣(qi)調(diao)至2.5×10-1Pa左右（氮氣(qi)、乙(yi)炔(gui)要同時加進(jin)去反應，乙(yi)炔(gui)要保持不變，真空度(du)多少(shao)只調(diao)節氮氣(qi)流量，古(gu)(gu)銅跟玫瑰金同樣調(diao)節）。（產生TiCN化(hua)合物）

6、鍍(du)五彩(cai)色∶用鈦靶材，充(chong)Ar（氬氣）至1.0×10-1Pa鍍(du)1分鐘后，關氬氣，開N氮(dan)氣至2.5×10-1Pa鍍(du)70秒后關氮(dan)氣，開氧氣O2至4.5×10-1Pa鍍(du)160秒左右，（產生TiO2、Ti2O3等氧化物）

7、鍍珠光色(se)∶用鈦靶(ba)材，充O2（氧氣）在6.5×10-1Pa~7.5×10-1Pa不變(bian)動，鍍40秒左(zuo)右即可(ke)，注意同時引(yin)弧，加熱(re)爐(lu)體至(zhi)180°C。（產生TiO2、Ti2O3等氧化(hua)物）

8、鍍18K金色∶用鋯(gao)靶材，充Ar（氬氣）至(zhi)1.0×10-1Pa鍍30秒，關氬氣，開(kai)氮(dan)氣至(zhi)2~4×10-1Pa左右鍍3~4分鐘(zhong)即可(ke)。（產生ZrN化(hua)合物(wu)）

9、鍍(du)土豪金色(se)∶裝一(yi)半(ban)鈦(tai)靶材(cai)，一(yi)半(ban)錯靶材(cai)，充Ar（（氬氣）1.0×10-1Pa鍍(du)鈦(tai)靶30秒(miao)后(hou)關氬氣，開氮(dan)氣至2~4×10-1Pa左右，開鈦(tai)靶、鋯靶，鍍(du)4分鐘左右。（產生(sheng)TiZrN化合物）

10、鍍透明七彩色（AB彩）∶用鈦靶材，充O2（氧氣）至6.5~7.5×10-1Pa鍍4分(fen)鐘左右，加熱(re)爐戶溫150°C。（產生(sheng)TiO2、Ti2O3；TiO、等氧化物(wu)）

11、鍍酒紅色∶用鐵(tie)靶材，充O2（氧氣）至7.5~9.5×10-1Pa鍍4~6分(fen)鐘，加(jia)熱(re)爐溫150°℃左(zuo)右，弧焊(han)機電流在150A左(zuo)右（產生(sheng)Fe2O3氧化(hua)物(wu)）。

12、鍍琥(hu)珀(po)色∶用鐵靶材，充O2（氧氣）至(zhi)7.5~9.5×10-1Pa鍍1.5~2.5分鐘，加熱(re)爐(lu)溫150℃左(zuo)右(you)，弧焊機(ji)電流在150A左(zuo)右(you)。（產(chan)生Fe2O3氧化物）

13、鍍寶(bao)石(shi)藍色(se)，用鈦(tai)靶材，充Ar（氬氣(qi)）至(zhi)1.0×10-1Pa鍍60秒后關氯氣(qi)，開氮氣(qi)800-900流量，同時(shi)開氧氣(qi)1000-1130流量（真空控(kong)制在2.5~3.5×10-1Pa鍍110秒左(zuo)右）。（產(chan)生TiO2、Ti2O3、TiO、等氧化物和TiN化合物的混合膜層(ceng)）

14、鍍紫色(se)∶同十三號工藝(yi)，充氮氣和氧氣的鍍膜時間控(kong)制在(zai)60-70秒左右(you)，真空(kong)在(zai)2.5~3.8×10-1Pa左右(you)即可。

15、鍍(du)鉻(ge)黑色∶用鈦Ti和(he)鉻(ge)靶(ba)材，先(xian)充入(ru)氬氣(qi)Ar在1×10-1Pa鍍(du)60秒左右(you)，關鈦靶(ba)，開鉻(ge)靶(ba)，關小氯氣(qi)至80-120流量再(zai)通入(ru)CH乙快氣(qi)至8~9.0×10-1Pa，鍍(du)300秒左右(you)。（產生CrC黑色膜層）

16、鍍槍(qiang)黑(hei)色∶用鈦(tai)靶(ba)材，充入Ar氣(qi)在(zai)1.0×10-1Pa鍍60秒后，關小氬氣(qi)至80-120流量，再通入CH乙(yi)炔氣(qi)在(zai)8~9×10-1Pa鍍300秒左右(you)。（產生TiC化合物(wu)膜層）。

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二、各種靶材對應的PVD鍍膜顏色

選擇靶材種類(lei)、材質和氣(qi)體(ti)(ti)（氮氣(qi)、氧氣(qi)、乙炔、甲烷、等(deng)），確定靶材及氣(qi)體(ti)(ti)種類(lei)，然(ran)后(hou)調整氣(qi)體(ti)(ti)比例(li)、用量、濺射(she)功率(lv)、濺射(she)時間、基材處理溫度、濺射(she)溫度、濺射(she)時間等(deng)工藝(yi)參(can)數，制備出(chu)顏色膜(mo)層，廣泛應(ying)用于裝飾性鍍膜(mo)行業(ye)。

靶材膜層顏色可調的PVD鍍膜方法

1、鍍金屬膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)層(ceng)，將待鍍產品傳入裝有金屬靶(ba)材的(de)(de)鍍膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)腔室，開啟泵抽真(zhen)空(kong)及加(jia)熱裝置進行基底加(jia)熱，使得本底真(zhen)空(kong)達(da)到(dao)1×10-3Pa及達(da)到(dao)80-150℃工藝(yi)溫度(du)后，向腔室通入10-1000sccm的(de)(de)氬氣，啟動濺射電源，設置濺射功率1-15KW，鍍膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)時間(jian)10-300S，得到(dao)厚度(du)為1-100nm的(de)(de)金屬膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)層(ceng)，金屬膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)層(ceng)為銅（Cu）、銀（Ag）、鋁（Al）、鉻（Cr）等金屬膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)層(ceng)，或鎳銅（NiCu）、鎳鉻（NiCr）等合(he)金膜(mo)(mo)(mo)(mo)(mo)層(ceng)。

2、鍍低(di)折射(she)(she)率(lv)膜(mo)層(ceng)，將鍍完金屬膜(mo)層(ceng)的產品(pin)傳入裝有可形(xing)成低(di)折射(she)(she)率(lv)膜(mo)層(ceng)的靶(ba)材鍍膜(mo)腔(qiang)室(shi)，加熱達到(dao)80-150℃的工(gong)藝溫度(du)，向腔(qiang)室(shi)通入工(gong)藝氣體(ti)，設置濺射(she)(she)功率(lv)1-15KW，鍍膜(mo)時間1-300S，得到(dao)厚度(du)為(wei)1-100nm的低(di)折射(she)(she)率(lv)膜(mo)層(ceng)，此低(di)折射(she)(she)率(lv)膜(mo)層(ceng)為(wei)氧(yang)化硅(gui)、氮化硅(gui)等膜(mo)層(ceng)。

3、鍍(du)高(gao)折(zhe)射率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)，將鍍(du)完低折(zhe)射率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)的產品傳(chuan)入(ru)裝有可形成高(gao)折(zhe)射率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)的靶材鍍(du)膜(mo)(mo)(mo)腔(qiang)(qiang)室(shi)，加熱達到80-150℃的工藝(yi)溫度，向腔(qiang)(qiang)室(shi)通入(ru)工藝(yi)氣(qi)體，設(she)置濺(jian)射功率(lv)1-15KW，鍍(du)膜(mo)(mo)(mo)時(shi)間1-300S，得(de)到厚(hou)度為(wei)(wei)1-100nm的高(gao)折(zhe)射率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)，所述高(gao)折(zhe)射率(lv)膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)為(wei)(wei)氧(yang)化(hua)(hua)鈦、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)鈦、氧(yang)化(hua)(hua)鋯(gao)、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)鋯(gao)、氧(yang)化(hua)(hua)鈮、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)鈮、氧(yang)化(hua)(hua)鋅、氧(yang)化(hua)(hua)銦、氧(yang)化(hua)(hua)鋁、氧(yang)化(hua)(hua)鐵、氧(yang)化(hua)(hua)鉻、氮(dan)(dan)化(hua)(hua)鉻等膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)，此高(gao)低折(zhe)射膜(mo)(mo)(mo)層(ceng)(ceng)(ceng)的工藝(yi)氣(qi)體為(wei)(wei)Ar、N2、O2中(zhong)(zhong)的至少一(yi)種(zhong)，其(qi)中(zhong)(zhong)Ar氣(qi)體流量(liang)(liang)為(wei)(wei)10-1000sccm，N2氣(qi)體流量(liang)(liang)為(wei)(wei)10-1000sccm，O2氣(qi)體流量(liang)(liang)為(wei)(wei)10-1000sccm。

4、重(zhong)(zhong)復步(bu)(bu)驟(zou)二和步(bu)(bu)驟(zou)三(san)數(shu)次，得到不同顏色的(de)膜層，重(zhong)(zhong)復步(bu)(bu)驟(zou)二和步(bu)(bu)驟(zou)三(san)的(de)次數(shu)為1-100次。

以下是(shi)PVD真空鍍膜裝飾(shi)薄膜常用(yong)材料及其(qi)常用(yong)氣體(ti)制作的各(ge)類裝飾(shi)顏色涂層：

鋯靶(ba)+氮氣：黃(huang)綠金黃(huang)色(se)

鋯靶+甲烷(wan)：深(shen)淺黑(hei)色

鋯+氧(yang)氣：白色、透明(ming)膜

鋯靶+氮氣+甲烷：金(jin)色(se)、仿玫瑰(gui)金(jin)

鉻靶+甲烷：深淺黑色

鉻靶+氮氣：淺黑色

鉻靶+氮(dan)氣+甲烷：銀灰色

鉻靶+氧氣(qi)：黃(huang)色(se)、紫色(se)、綠色(se)

鉻靶(ba)+氧氣：銀色

不(bu)銹(xiu)鋼靶+氧氣：紫色

不銹鋼靶+氮氣：藍色

不銹鋼靶(ba)+甲烷(wan)：亮黑色

不(bu)銹鋼靶+甲烷(wan)+氮氣：藍(lan)黑色

硅+氮氣：黑色

硅靶+氧(yang)氣：混濁白、透明膜

硅靶+甲烷：黃(huang)色(se)(se)、綠色(se)(se)、藍色(se)(se)、黑色(se)(se)（靶材純度高于99%僅能調(diao)黑色(se)(se)）

鈦靶+氧氣：光(guang)學(xue)膜七彩截色

鈦靶+甲烷：深淺黑(hei)色（DLC制(zhi)備不能達標）

鈦靶(ba)+氮氣：仿(fang)金色、黃銅色、紫色、紅(hong)色

鈦靶+氮(dan)氣(qi)+甲烷：仿玫瑰金、黑(hei)綠(lv)色(se)、復古黃、棕色(se)、紫(zi)色(se)

鎢靶(ba)+氮(dan)氣(qi)：棕黃色

鎢靶+甲烷：深淺黑色(se)

鎢靶(ba)+氧氣(qi)：紫色(se)(se)、鮮黃色(se)(se)、棕色(se)(se)、藍色(se)(se)