一、硅片是半導體材料嗎
是。
硅(gui)(gui)片(pian)是半導體材料的(de)(de)(de)基(ji)石,它是先通過拉單晶制作成(cheng)硅(gui)(gui)棒,然后切割制作成(cheng)的(de)(de)(de)。由(you)于硅(gui)(gui)原子的(de)(de)(de)價電子數為4,序數適(shi)中,所以硅(gui)(gui)元(yuan)素(su)具有特(te)殊的(de)(de)(de)物理化學性質,可用(yong)在(zai)化工(gong)、光(guang)伏、芯片(pian)等領域。特(te)別是在(zai)芯片(pian)領域,正(zheng)式(shi)硅(gui)(gui)元(yuan)素(su)的(de)(de)(de)半導體特(te)性,使其成(cheng)為了芯片(pian)的(de)(de)(de)基(ji)石。在(zai)光(guang)伏領域,可用(yong)于太(tai)陽能發電。而(er)且地球的(de)(de)(de)地殼中硅(gui)(gui)元(yuan)素(su)占比達到25.8%,開采較為方(fang)便,可回(hui)收(shou)性強(qiang),所以價格(ge)低廉,進(jin)一步增強(qiang)了硅(gui)(gui)的(de)(de)(de)應用(yong)范(fan)圍。
二、硅片怎么分辨等級
每家硅片(pian)企業的標(biao)(biao)準(zhun)都不一樣,僅供參考,以下(xia)標(biao)(biao)準(zhun)針(zhen)對(dui)的硅片(pian)厚度(du)為220μm。
1、優等品
(1)硅片(pian)表面光滑潔(jie)凈。
(2)TV:220±20μm。
(3)幾何尺(chi)寸:
邊長(chang)125±0.5mm。對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。
邊(bian)長(chang)103±0.5mm、對角(jiao)135±0.5mm。
邊(bian)長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。
同(tong)心(xin)度:任(ren)意兩個弧的弦(xian)長之(zhi)差≤1mm。
垂直度(du):任意兩(liang)邊的夾角:90°±0.3。
2、合格品
一級品:
(1)表(biao)面有少許(xu)污漬、輕微(wei)線痕(hen)。
(2)220±20μm≤TV≤220±30μm。
(3)幾何尺寸:
邊(bian)長125±0.5mm。對角(jiao)150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm。
邊長103±0.5mm、對(dui)角135±0.5mm。
邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。
同心度:任意兩個弧的弦長(chang)之(zhi)差≤1.2mm。
垂直度:任意兩邊的夾角:90°±0.5,cheapradiishoes。
二級品:
(1)表面(mian)有少(shao)許污漬、線(xian)痕(hen)、凹痕(hen),輕微崩邊。
(2)220±30μm≤TV≤220±40μm。
(3)凹(ao)痕(hen):硅片(pian)表(biao)面凹(ao)痕(hen)之和≤30μm。
(4)崩(beng)邊范圍:崩(beng)邊口(kou)不是三角形(xing)狀,崩(beng)邊口(kou)長度≤1mm,深度≤0.5mm
(5)幾(ji)何尺寸:
邊長125±0.52mm、對(dui)角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm。
邊長103±0.52mm、對角135±0.52mm。
邊長150±0.52mm、156±0.52mm、對角203±0.52mm、200±0.52mm。
同心度:任意兩個(ge)弧的弦(xian)長之差≤1.5mm。
垂直度:任意兩邊(bian)的(de)夾角(jiao):90°±0.8。
三級品:
(1)表面有油污但硅片(pian)顏(yan)色(se)不發黑(hei),有線痕和硅落現象。
(2)220±40μm≤TV≤220±60μm。
(3)硅落(luo):整張硅片邊(bian)緣硅晶(jing)脫落(luo)或部(bu)分(fen)硅晶(jing)脫落(luo)。
3、不合格品
(1)嚴重(zhong)線痕、厚薄片:TV>220±60μm。
(2)崩邊(bian)片:有(you)缺損但可以改Φ103的硅片。
(3)氣孔片:硅片中(zhong)間有穿孔。
(4)外形片:切方滾圓(yuan)未能磨出(chu)的硅(gui)片。
(5)倒角片(同心度):任意兩個(ge)弧的弦長之差>1.5mm。
(6)菱形片(垂直度):任意兩邊的夾角>90°±0.8。
(7)凹(ao)痕片:硅片兩面凹(ao)痕之和>30μm。
(8)臟片:硅片表面(mian)有(you)嚴重污(wu)漬且發黃發黑(hei)。
(9)尺寸(cun)偏差片:幾(ji)何尺寸(cun)超過(guo)二級(ji)品(pin)的范(fan)圍(wei)。