一、硅片清洗設備維修方法有哪些
1、換能器損壞：
分析：可能硅片清洗設備(bei)因長時間處于開機使用狀態，溫度會(hui)逐漸(jian)上升導致(zhi)膠體(ti)融(rong)化換能器脫落(luo)或換能器陶瓷(ci)部分斷裂。
檢(jian)測(ce)(ce)和解決：用(yong)搖表(biao)測(ce)(ce)量換能器(qi)的(de)絕緣強度，絕緣強度在(zai)200MΩ以(yi)下(xia)已無法使用(yong)，須換新的(de)換能器(qi)。
換(huan)能器的(de)內部(bu)陶瓷也會由于長期使(shi)用出現斷裂，使(shi)其不(bu)能正常工作(zuo)。
2、硅片清洗設備的保險損壞：
在開機后(hou)如發(fa)現無電源顯示，無動(dong)作，首先要看(kan)電源座內保險是否損壞。
分析(xi)：有(you)可能(neng)是(shi)(shi)用戶(hu)接(jie)(jie)地(di)線與火(huo)線或零線混用，并沒有(you)接(jie)(jie)地(di)（本機地(di)線是(shi)(shi)與機器(qi)外殼相(xiang)連接(jie)(jie)），還有(you)可能(neng)是(shi)(shi)硅片清洗設備短路，元器(qi)件(jian)老化出現(xian)短路現(xian)象，導致(zhi)保險損壞。
檢測(ce)和(he)解決：拿出保(bao)險觀看，有無斷(duan)裂，用萬用表通斷(duan)檔(dang)測(ce)量是否斷(duan)開(kai)，更換新(xin)器(qi)件。
3、硅片清洗設備的功率管損壞：
分(fen)析：主(zhu)板上的功率(lv)管(guan)(guan)會因為超聲波清洗機長(chang)時間(jian)(jian)不(bu)間(jian)(jian)斷使(shi)用或(huo)清洗液體(ti)太少長(chang)時間(jian)(jian)使(shi)用，使(shi)功率(lv)管(guan)(guan)出(chu)現短路(lu)情況。
檢測和解決(jue)：當功率管(guan)在(zai)主(zhu)板上(shang)連接式(shi)，用(yong)萬用(yong)表測量功率管(guan)兩側(ce)管(guan)腳(jiao)的(de)阻值，正常情況(kuang)下(xia)應(ying)在(zai)22Ω左(zuo)右。拿下(xia)功率管(guan)后(hou)（與主(zhu)板斷(duan)開連接），測量其各個管(guan)腳(jiao)間應(ying)是不通的(de)。
二、硅片清洗設備怎么保養
硅片清洗的重要性想必大家是很清楚的，而清洗后硅片表面的各種性能在一定程度上又由清洗設備本身決定，因此，對硅片清洗設(she)備的日常(chang)監控和維(wei)護(hu)就尤為重(zhong)要。
1、進行(xing)(xing)(xing)日常的(de)(de)生產時，首先需準備少量潔凈的(de)(de)硅(gui)片(pian)(pian)（如10片(pian)(pian)），每天在(zai)進行(xing)(xing)(xing)正常的(de)(de)硅(gui)片(pian)(pian)清(qing)洗前，對(dui)該(gai)10個桂片(pian)(pian)進行(xing)(xing)(xing)清(qing)洗，且在(zai)清(qing)洗前后對(dui)該(gai)硅(gui)片(pian)(pian)進行(xing)(xing)(xing)表(biao)面顆粒的(de)(de)檢測(ce)，然后對(dui)測(ce)試(shi)結(jie)果(guo)進行(xing)(xing)(xing)分析。
如果發現清洗(xi)后硅(gui)片表面的顆(ke)粒(li)數跟金屬(shu)沾污較(jiao)(jiao)清洗(xi)前(qian)減少或(huo)無(wu)明顯(xian)(xian)變化，則(ze)表面清洗(xi)設備工作正(zheng)常(chang)，可以進行(xing)正(zheng)常(chang)的硅(gui)片清洗(xi)；如果發現清洗(xi)后硅(gui)片表面顆(ke)粒(li)數跟金屬(shu)沾污較(jiao)(jiao)清洗(xi)前(qian)明顯(xian)(xian)增加，則(ze)表明清洗(xi)機工作異常(chang)，需進行(xing)相應的維(wei)護(hu)。
針對此工作(zuo)也(ye)可以根據生產的具體情況對其即進(jin)行SPC控制(zhi)，即：顆粒去除數(shu)=清洗后顆粒數(shu)-清洗前(qian)顆粒數(shu)
2、硅片(pian)(pian)在清洗過(guo)程中，如發現硅片(pian)(pian)表面顆粒(li)跟金屬沾污(wu)超標(biao)，則需進(jin)行如下處理：
（1）將(jiang)各槽(cao)中原(yuan)液(ye)排(pai)干，用DI水將(jiang)槽(cao)子沖洗一次，然后(hou)將(jiang)槽(cao)中水排(pai)盡。
（2）加入(ru)少(shao)許(xu)（lgallon）DI水(shui)，然后加入(ru)lgal-lonH2O2，再加入(ru)少(shao)許(xu)DI水(shui)，然后加工入(ru)lgallonNH4OH，再加DI水(shui)至槽滿(man)。如果是工藝槽，則讓混合液循環2h，否則靜置2h。
（3）將槽中液排(pai)盡，用DI水再(zai)次沖洗槽子一次，將槽液排(pai)盡。
（4）重(zhong)新對清洗設(she)備(bei)進行測試。
