一、硅片清洗機工作原理是什么
硅片清洗(xi)(xi)機是利(li)用超(chao)聲(sheng)波(bo)清洗(xi)(xi)技術，在(zai)清洗(xi)(xi)過(guo)程中超(chao)聲(sheng)波(bo)頻率在(zai)合理(li)的(de)范圍(wei)內往(wang)復掃動，帶動清洗(xi)(xi)液形成細(xi)微(wei)回流，使(shi)工(gong)件污垢在(zai)被超(chao)聲(sheng)剝離(li)的(de)同時迅(xun)速帶離(li)工(gong)件表面，提高清洗(xi)(xi)效率。
具體的原(yuan)理(li)有以下：
1、真(zhen)空(kong)脫(tuo)氣，有效(xiao)去除液體中氣體，且運用(yong)拋(pao)動功能，增強超聲(sheng)對工件表面油污和污垢的清洗能力(li)，縮短清洗時間。
2、洗籃轉(zhuan)動機構(gou)，重疊不可分拆的(de)零件或形狀(zhuang)復雜的(de)零件，也可做(zuo)到均(jun)勻完整的(de)清洗。
3、減壓(ya)真空(kong)系(xi)統(tong)，能吸出盲(mang)孔、縫隙及疊加零(ling)件之間的空(kong)氣(qi)，使超聲波在減壓(ya)的狀態下產生驚人的清洗(xi)效果。
4、真(zhen)空蒸汽(qi)清洗(xi)+真(zhen)空干(gan)燥系統，利用(yong)蒸汽(qi)洗(xi)凈做(zuo)養護，完美實(shi)現清洗(xi)效果。
5、蒸汽清洗(xi)、干(gan)燥及清洗(xi)液(ye)加(jia)熱的全過程(cheng)在減壓真空(kong)中進行，更有效地確(que)保了安全性(xing)。
6、防(fang)爆配件及簡潔(jie)加熱系統(tong)，進(jin)一步提(ti)高安全度。
二、硅片清洗機操作說明
1、欲清洗工件放入(ru)料(liao)框內專(zhuan)用固定(ding)(ding)夾(jia)內，由人工將料(liao)框放上入(ru)料(liao)口，等工位(wei)機械手自動(dong)將料(liao)框送(song)入(ru)清洗機本體，上下提升機構依照(zhao)PLC指定(ding)(ding)的(de)程(cheng)序將料(liao)框搬送(song)到(dao)相(xiang)應高度位(wei)置。
2、完成對工件的(de)清(qing)洗、噴淋、漂(piao)洗、慢提拉脫水和熱風(feng)干燥后、送至清(qing)洗機出口，運送到卸(xie)料臺出料，等(deng)工位機械(xie)手由氣缸橫向(xiang)(xiang)驅動，直線(xian)滑(hua)軌導向(xiang)(xiang)。
3、上(shang)下提(ti)升由(you)馬達(da)驅(qu)動，直線(xian)導軸導向(xiang)，慢提(ti)拉提(ti)升機構由(you)變頻馬達(da)驅(qu)動，直線(xian)滑塊(kuai)導向(xiang)，上(shang)下料由(you)上(shang)下提(ti)升機構獨(du)立(li)完成，采用(yong)觸摸屏(ping)操作系(xi)統，有手動和(he)自動切換開關(guan)及(ji)有關(guan)操作按鈕，能對整個運行過程實(shi)行控制。
