一、硅片清洗機工作原理是什么
硅片(pian)清(qing)洗(xi)機是利用超(chao)聲(sheng)(sheng)(sheng)波(bo)清(qing)洗(xi)技術,在(zai)清(qing)洗(xi)過程(cheng)中(zhong)超(chao)聲(sheng)(sheng)(sheng)波(bo)頻(pin)率在(zai)合理的范圍內往復掃動(dong),帶動(dong)清(qing)洗(xi)液形成細微回流,使(shi)工件污垢在(zai)被(bei)超(chao)聲(sheng)(sheng)(sheng)剝離的同時迅速帶離工件表面(mian),提高清(qing)洗(xi)效率。
具體的(de)原(yuan)理有以下:
1、真(zhen)空脫氣,有效去除液體中(zhong)氣體,且運用拋(pao)動功(gong)能(neng),增強(qiang)超聲對工件表面油污(wu)和污(wu)垢的清洗(xi)能(neng)力,縮短清洗(xi)時(shi)間。
2、洗(xi)籃轉動機(ji)構,重疊不可分(fen)拆(chai)的零件(jian)或(huo)形狀復(fu)雜的零件(jian),也可做到(dao)均勻完整的清洗(xi)。
3、減壓(ya)真(zhen)空(kong)系(xi)統,能吸出盲孔、縫隙及疊加零件之間(jian)的空(kong)氣,使超聲波在減壓(ya)的狀態下產生驚人的清洗效果。
4、真(zhen)空(kong)蒸汽清洗(xi)+真(zhen)空(kong)干燥系統(tong),利用蒸汽洗(xi)凈做(zuo)養護,完(wan)美實(shi)現清洗(xi)效果。
5、蒸(zheng)汽清(qing)洗、干(gan)燥及清(qing)洗液(ye)加(jia)熱的全(quan)過程在(zai)減(jian)壓真(zhen)空(kong)中進行,更(geng)有效地確保了(le)安全(quan)性。
6、防(fang)爆配件(jian)及簡潔加(jia)熱系(xi)統,進一步(bu)提高安全度。
二、硅片清洗機操作說明
1、欲清(qing)洗工(gong)件放入(ru)料框內專用(yong)固定(ding)夾內,由人工(gong)將料框放上(shang)入(ru)料口,等工(gong)位(wei)機(ji)械手自動(dong)將料框送(song)入(ru)清(qing)洗機(ji)本體,上(shang)下(xia)提(ti)升機(ji)構依照PLC指定(ding)的(de)程序(xu)將料框搬送(song)到相(xiang)應高度位(wei)置。
2、完成對(dui)工件的清(qing)(qing)洗、噴(pen)淋、漂洗、慢提拉脫水和熱(re)風干燥后、送至清(qing)(qing)洗機出口,運送到(dao)卸(xie)料臺出料,等(deng)工位(wei)機械(xie)手由氣缸橫向驅動,直(zhi)線滑(hua)軌(gui)導向。
3、上下提升(sheng)由(you)馬(ma)達驅(qu)動(dong),直線(xian)導(dao)軸(zhou)導(dao)向,慢提拉提升(sheng)機構(gou)由(you)變(bian)頻馬(ma)達驅(qu)動(dong),直線(xian)滑塊(kuai)導(dao)向,上下料由(you)上下提升(sheng)機構(gou)獨立(li)完成,采用觸(chu)摸(mo)屏操作系統,有(you)手動(dong)和自動(dong)切換開關及有(you)關操作按鈕,能(neng)對整個(ge)運行過程實行控(kong)制。