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半導體芯片封裝材料有哪些 半導體封裝設備有哪些

本文章由注冊用戶 荊湖酒徒 上傳提供 2024-04-18 評論 0
摘要:一般半導體芯片都需要進行封裝處理,半導體芯片的封裝處理離不開材料和設備兩個方面,半導體芯片封裝主要用到的材料有封裝基板、封裝框架、塑封料、線材和膠材,使用到的封裝設備則包括減薄機、劃片機、測試機、分選機和探針機。下面一起來詳細了解一下半導體芯片封裝材料有哪些以及半導體封裝設備有哪些吧。

一、半導體芯片封裝材料有哪些

材料(liao)和(he)設備(bei)(bei)是半(ban)導體(ti)產(chan)業的基石,一(yi)代(dai)(dai)(dai)技術依賴于一(yi)代(dai)(dai)(dai)工(gong)藝(yi),一(yi)代(dai)(dai)(dai)工(gong)藝(yi)依賴于一(yi)代(dai)(dai)(dai)材料(liao)和(he)設備(bei)(bei)來實現(xian),半(ban)導體(ti)芯片的封(feng)裝(zhuang)材料(liao)主要有:

1、封裝基板

封裝基板可為(wei)芯片提(ti)供電連接、保護、支撐、散(san)熱、組裝等功能,可實現多引腳化,縮小封裝產品體積、改善(shan)電性(xing)能及散(san)熱性(xing)、超高(gao)密度或多芯片模塊(kuai)化等效(xiao)果。

2、封裝框架

封裝(zhuang)框架(jia)(jia)包括(kuo)框架(jia)(jia)本(ben)(ben)體、位(wei)于框架(jia)(jia)本(ben)(ben)體上(shang)的(de)基島(dao)、連(lian)(lian)接基島(dao)和(he)框架(jia)(jia)本(ben)(ben)體的(de)支撐(cheng)腳、連(lian)(lian)接框架(jia)(jia)本(ben)(ben)體上(shang)與基島(dao)外圍的(de)引腳,框架(jia)(jia)本(ben)(ben)體上(shang)設(she)有(you)若干金屬導(dao)電片,引腳與金屬導(dao)電片電性連(lian)(lian)接,以實(shi)現(xian)全部或部分引腳之(zhi)間的(de)短接。

3、塑封料

塑封料(liao)的作(zuo)用在于提供(gong)結構和機(ji)械支撐,保護電(dian)子(zi)元器(qi)件不(bu)受環(huan)境(jing)的損害(機(ji)械沖擊、水汽、溫度(du)等(deng)),維持電(dian)路絕緣(yuan)性。

4、線材

線材(cai)方面主(zhu)要是金線和銅線,目前金線已經因為高成(cheng)本,慢慢被踢出消費類芯片封裝測(ce)試(shi)產品市場(chang);替而代之的是銅線、合金線等。

5、膠材

包括間接材料(liao)的藍膜(mo)(mo)、UV膜(mo)(mo),還有銀膠(jiao)、DAF膜(mo)(mo)等。

二、半導體封裝設備有哪些

除了材(cai)料以外,半(ban)導(dao)體芯片的(de)封裝(zhuang)還(huan)需要用到專(zhuan)門的(de)半(ban)導(dao)體封裝(zhuang)設備(bei),主(zhu)要包括:

1、減薄機

由于制造工(gong)(gong)藝(yi)的(de)要(yao)(yao)求,對(dui)(dui)晶(jing)(jing)片的(de)尺寸精(jing)度、幾何(he)精(jing)度、表(biao)面潔凈度以(yi)及表(biao)面微晶(jing)(jing)格結構提出很高要(yao)(yao)求。因此在(zai)幾百道工(gong)(gong)藝(yi)流程中(zhong)只能采(cai)用一(yi)(yi)定(ding)厚(hou)度的(de)晶(jing)(jing)片在(zai)工(gong)(gong)藝(yi)過程中(zhong)傳遞、流片。通常在(zai)集(ji)成電路封裝(zhuang)(zhuang)前,需要(yao)(yao)對(dui)(dui)晶(jing)(jing)片背面多余的(de)基體材料去除一(yi)(yi)定(ding)的(de)厚(hou)度。這一(yi)(yi)工(gong)(gong)藝(yi)過程稱之為晶(jing)(jing)片背面減(jian)(jian)薄(bo)工(gong)(gong)藝(yi),對(dui)(dui)應裝(zhuang)(zhuang)備就是晶(jing)(jing)片減(jian)(jian)薄(bo)機。減(jian)(jian)薄(bo)機是通過減(jian)(jian)薄(bo)/研(yan)磨的(de)方(fang)式對(dui)(dui)晶(jing)(jing)片襯底進行減(jian)(jian)薄(bo),改善芯(xin)片散熱效果,減(jian)(jian)薄(bo)到一(yi)(yi)定(ding)厚(hou)度有(you)利(li)于后期(qi)封裝(zhuang)(zhuang)工(gong)(gong)藝(yi)。

2、劃片機

劃片(pian)機(ji)包(bao)括(kuo)砂輪(lun)劃片(pian)機(ji)和激光(guang)劃片(pian)機(ji)兩類。其中(zhong),砂輪(lun)劃片(pian)機(ji)是綜合了水氣電(dian)、空(kong)氣靜壓(ya)高速主軸、精密機(ji)械傳(chuan)動、傳(chuan)感器及自動化控(kong)制等技(ji)術的精密數控(kong)設備。主要用于硅集成電(dian)路,發光(guang)二極(ji)管,鈮酸鋰,壓(ya)電(dian)陶瓷(ci),砷化鎵(jia),藍寶石(shi),氧化鋁,氧化鐵,石(shi)英,玻(bo)璃,陶瓷(ci),太陽能電(dian)池(chi)片(pian)等材料的劃切加工。

激光劃片(pian)(pian)機(ji)是利用(yong)高能激光束(shu)照(zhao)射在工(gong)件表(biao)面,使被照(zhao)射區域(yu)局部熔化(hua)、氣化(hua)、從(cong)而(er)達(da)到劃片(pian)(pian)的目的。因(yin)激光是經專(zhuan)用(yong)光學系統聚焦(jiao)后成為一(yi)個非(fei)(fei)常小(xiao)的光點(dian),能量密度高,因(yin)其加工(gong)是非(fei)(fei)接(jie)觸(chu)式的,對工(gong)件本身無機(ji)械沖壓(ya)力,工(gong)件不易變形。熱影響極小(xiao),劃精度高,廣泛應用(yong)于太陽能電(dian)池板、薄(bo)金屬片(pian)(pian)的切割和劃片(pian)(pian)。

3、測試機

測(ce)(ce)(ce)試(shi)機(ji)是(shi)檢測(ce)(ce)(ce)芯片(pian)(pian)功能(neng)(neng)和性能(neng)(neng)的(de)(de)專用(yong)設備。測(ce)(ce)(ce)試(shi)時,測(ce)(ce)(ce)試(shi)機(ji)對待測(ce)(ce)(ce)芯片(pian)(pian)施加輸入信號(hao),得到(dao)輸出(chu)信號(hao)與預期值進行(xing)比(bi)較,判斷(duan)芯片(pian)(pian)的(de)(de)電性性能(neng)(neng)和產(chan)品功能(neng)(neng)的(de)(de)有(you)效(xiao)性。在CP、FT檢測(ce)(ce)(ce)環(huan)節(jie)內,測(ce)(ce)(ce)試(shi)機(ji)會分別將結(jie)果傳輸給探針臺和分選(xuan)機(ji)。當探針臺接收到(dao)測(ce)(ce)(ce)試(shi)結(jie)果后(hou),會進行(xing)噴墨操作(zuo)以標(biao)記出(chu)晶(jing)圓(yuan)上(shang)有(you)缺(que)損的(de)(de)芯片(pian)(pian);而當分選(xuan)器(qi)接收到(dao)來(lai)自測(ce)(ce)(ce)試(shi)機(ji)的(de)(de)結(jie)果后(hou),則會對芯片(pian)(pian)進行(xing)取舍和分類。

4、分選機

分(fen)(fen)選(xuan)(xuan)設(she)(she)備(bei)應用于芯片(pian)封裝之(zhi)后的(de)FT測(ce)(ce)試環節,它是提供(gong)芯片(pian)篩選(xuan)(xuan)、分(fen)(fen)類(lei)(lei)功(gong)能(neng)的(de)后道測(ce)(ce)試設(she)(she)備(bei)。分(fen)(fen)選(xuan)(xuan)機負(fu)責(ze)將(jiang)輸入的(de)芯片(pian)按(an)照(zhao)系統設(she)(she)計的(de)取放(fang)方式(shi)運輸到(dao)測(ce)(ce)試模(mo)塊完成電路(lu)壓測(ce)(ce),在此步驟(zou)內分(fen)(fen)選(xuan)(xuan)機依據測(ce)(ce)試結果對電路(lu)進(jin)行(xing)取舍和分(fen)(fen)類(lei)(lei)。分(fen)(fen)選(xuan)(xuan)機按(an)照(zhao)系統結構可以(yi)分(fen)(fen)為三大類(lei)(lei)別(bie),即(ji)重力式(shi)(Gravity)分(fen)(fen)選(xuan)(xuan)機、轉塔式(shi)(Turret)分(fen)(fen)選(xuan)(xuan)機、平(ping)移拾取和放(fang)置式(shi)(PickandPlace)分(fen)(fen)選(xuan)(xuan)機。

5、探針機

探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)用于晶(jing)(jing)圓(yuan)加工(gong)之后、芯片(pian)封裝(zhuang)工(gong)藝之前的CP測試(shi)環節,負責晶(jing)(jing)圓(yuan)的輸送與定(ding)位,使(shi)晶(jing)(jing)圓(yuan)上(shang)的晶(jing)(jing)粒(li)依次與探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)接(jie)觸并(bing)逐個測試(shi)。探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)的工(gong)作(zuo)流程為:通(tong)過載片(pian)臺(tai)將晶(jing)(jing)圓(yuan)移動(dong)(dong)到(dao)晶(jing)(jing)圓(yuan)相機(ji)(ji)下→通(tong)過晶(jing)(jing)圓(yuan)相機(ji)(ji)拍攝晶(jing)(jing)圓(yuan)圖(tu)像(xiang),確定(ding)晶(jing)(jing)圓(yuan)位置(zhi)→將探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)相機(ji)(ji)移動(dong)(dong)到(dao)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)卡(ka)下,確定(ding)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)頭位置(zhi)→將晶(jing)(jing)圓(yuan)移動(dong)(dong)到(dao)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)卡(ka)下→通(tong)過載片(pian)臺(tai)垂直方向(xiang)運動(dong)(dong)實現對(dui)針(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)。

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