一、芯片封裝需要光刻機嗎
光刻機是制造芯片的核心裝備,很多朋友都知道,一般是芯片制造過程中使用,芯片封裝和芯片(pian)制(zhi)造不同,那么(me)芯片(pian)封裝要(yao)用(yong)光刻機嗎?
一般來(lai)說(shuo),普通(tong)芯片封(feng)(feng)裝不(bu)(bu)需(xu)要用(yong)到光刻(ke)(ke)機(ji),不(bu)(bu)過(guo)高端芯片封(feng)(feng)測,比如晶圓級(ji)封(feng)(feng)測,就需(xu)要用(yong)到光刻(ke)(ke)機(ji)。不(bu)(bu)過(guo)值得(de)一提的(de)(de)是(shi),芯片封(feng)(feng)裝用(yong)的(de)(de)光刻(ke)(ke)機(ji)和(he)我們平時常(chang)說(shuo)的(de)(de)光刻(ke)(ke)機(ji)其實(shi)是(shi)有(you)所(suo)不(bu)(bu)同的(de)(de)。
二、芯片封裝用的什么光刻機
芯片封裝用的光刻機是封裝光刻機,又叫后道光刻機;而我們常說的卡脖子的光刻機,實際上是用于晶圓制(zhi)造的前(qian)道光刻機:
1、前道光(guang)刻機又分為EUV和DUV光(guang)刻機。EUV也就是(shi)“極(ji)深紫(zi)外線”的意(yi)思,EUV能(neng)滿足10nm以下的晶(jing)圓制(zhi)造;而(er)DUV是(shi)“深紫(zi)外線”的意(yi)思,DUV基本上(shang)只能(neng)做到25nm。
2、后道光刻機是用于芯片封裝,相比前道(dao)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)機(ji)來說,技術含量要(yao)低不少,精(jing)度方(fang)面也有所(suo)差距,后道(dao)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)機(ji)已(yi)經(jing)可以國產了,并且(qie)很多國產的封裝光(guang)(guang)刻(ke)(ke)機(ji)在后道(dao)光(guang)(guang)刻(ke)(ke)機(ji)領域做到(dao)了世界領先(xian)水平。