一、半導體設備檢修工具有哪些

半導(dao)(dao)體(ti)設備是一種(zhong)高(gao)精度的(de)機器，在現(xian)代化工(gong)(gong)業(ye)發展過程(cheng)中(zhong)，流水線的(de)生(sheng)產(chan)操作對于半導(dao)(dao)體(ti)設備要(yao)求較高(gao)，一旦出現(xian)故(gu)障(zhang)會直(zhi)接影響整(zheng)個企業(ye)的(de)生(sheng)產(chan)進(jin)程(cheng)，因此需要(yao)定期進(jin)行維修保養，防止出現(xian)故(gu)障(zhang)發生(sheng)導(dao)(dao)致停產(chan)，對企業(ye)造成較為嚴重的(de)經濟損失，半導(dao)(dao)體(ti)設備檢修可以用到哪些工(gong)(gong)具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受(shou)到振動和沖擊，同時保護地面不(bu)受(shou)損傷，可以實現(xian)精(jing)確的(de)位(wei)置控制(zhi)，保質期四(si)年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪式千斤頂可(ke)以實現(xian)前后100mm水平移動，頂升(sheng)平穩無晃動，可(ke)以實現(xian)高精度的升(sheng)降和定位控制(zhi)(zhi)，可(ke)定制(zhi)(zhi)無塵型。

3、楔形千斤頂

楔(xie)形千斤頂(ding)只需5mm的縫隙，楔(xie)頭即可插(cha)入起升至34mm的高度，手柄可以(yi)360度旋轉，能用于(yu)狹(xia)窄空間。

4、滑動紙

滑動紙人力(li)即可(ke)(ke)推動1至9噸的重(zhong)物，調(diao)整范圍為1cm-5cm，半導體設(she)備(bei)檢修結束(shu)后抬起約1mm的高度即可(ke)(ke)拉出(chu)滑動紙，操(cao)作簡單，輕松便攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體設備(bei)出現故障(zhang)后，先做(zuo)好(hao)總體分析(xi)，然后仔細檢查(cha)故障(zhang)問題。

1、首先，檢查(cha)半導(dao)體設備(bei)周(zhou)圍(wei)的冷凍機(ji)、真空壓(ya)縮機(ji)、變壓(ya)器等是否運(yun)行正常，如果這(zhe)些設備(bei)都(dou)正常，再排查(cha)和檢查(cha)半導(dao)體設備(bei)主體，檢修人(ren)員貿(mao)然(ran)拆解半導(dao)體設備(bei)會損壞元器件，重(zhong)復的返工會浪費大(da)量物力、人(ren)力和財力。

2、其次，全面(mian)了(le)解(jie)半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)(bei)(bei)情況，確定半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)(bei)(bei)故(gu)障范圍，有針對性地采用(yong)檢修方(fang)法，半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)(bei)(bei)包括附加部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)、傳送部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)、動力部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)、控制(zhi)部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)等，控制(zhi)部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)是(shi)半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)(bei)(bei)中最精(jing)密的部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)，應重點檢查(cha)這個部(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)，逐(zhu)一排查(cha)電(dian)路板模塊，反復進行對比(bi)分(fen)(fen)(fen)析，仔細檢查(cha)半(ban)(ban)導(dao)體(ti)設(she)備(bei)(bei)(bei)故(gu)障位(wei)置。

3、最后，仔細清理(li)半(ban)導體(ti)設備灰(hui)塵，檢查各(ge)個板(ban)件的(de)焊接(jie)和線路連接(jie)，很多(duo)半(ban)導體(ti)設備在長時間使用過程中接(jie)口和插頭容易堆積大(da)量(liang)灰(hui)塵導致漏(lou)電(dian)事(shi)故，線路板(ban)發生氧化形成虛焊，對(dui)于這些問題，檢修人員應積極進行檢修維(wei)護。