一、濺射靶材是否屬于稀缺資源

稀有(you)金屬(shu)(shu)，通常指(zhi)在(zai)自然(ran)界中含量較少或分(fen)布稀散的金屬(shu)(shu)，它們(men)難于(yu)從原料中提取，在(zai)工業(ye)上(shang)制備和(he)應用較晚，但在(zai)現(xian)代工業(ye)中有(you)廣泛的用途。中國稀有(you)金屬(shu)(shu)資源豐富，如鎢、鈦、稀土、釩、鋯、鉭、鈮、鋰、鈹(pi)等已探明的儲量，正在(zai)逐步建立稀有(you)金屬(shu)(shu)工業(ye)體(ti)系。

稀(xi)有輕金屬：包括(kuo)鋰(li)Li、銣Rb、銫Cs、鈹Be。比重較小，化學活性強。

稀有難熔(rong)金屬：包括(kuo)鈦、鋯、鉿、釩、鈮、鉭、鉬、鎢(wu)。熔(rong)點較高(gao)，與(yu)碳、氮、硅(gui)、硼等生成的化合物熔(rong)點也較高(gao)。

稀(xi)有分散(san)金屬(shu)：簡稱稀(xi)散(san)金屬(shu)，包括鎵(jia)、銦、鉈、鍺(zang)、錸以及硒、碲(di)。大部分賦存(cun)于其(qi)他元素的(de)礦物中。

稀有(you)稀土金屬(shu)：簡稱(cheng)稀土金屬(shu)，包括鈧、釔及鑭系元素(su)。它(ta)們(men)的化學性質非常(chang)相似(si)，在礦物中相互(hu)伴(ban)生。

稀有(you)放(fang)射性金(jin)屬：包括天然存在(zai)的鈁(fang)、鐳、釙和(he)錒系金(jin)屬中的錒、釷、鏷(pu)、鈾，以及人工制造(zao)的锝(de)、钷、錒系其他元(yuan)素和(he)104至107號(hao)元(yuan)素。

上述(shu)分類不(bu)是(shi)(shi)十分嚴格的(de)(de)。有些稀有金屬既可(ke)(ke)以列入(ru)這一(yi)類又(you)可(ke)(ke)列入(ru)另一(yi)類。例如錸可(ke)(ke)列入(ru)稀散金屬也可(ke)(ke)列入(ru)稀有難熔金屬。但是(shi)(shi)從上述(shu)描述(shu)中不(bu)難看出，有些特殊應用的(de)(de)濺射靶材的(de)(de)金屬成分的(de)(de)確屬于稀缺資源。

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二、貴金屬靶材可以回收再利用嗎

貴金屬靶材是可以回收再利用的，在加程中打穿的靶材或(huo)殘料(liao)什么都(dou)是(shi)可以回收(shou)再利(li)用(yong)的(de)。比如金(jin)靶(ba)(ba)材(cai)、銀(yin)靶(ba)(ba)材(cai)、鈀靶(ba)(ba)材(cai)等都(dou)可以回收(shou)再利(li)用(yong)。以ITO銀(yin)靶(ba)(ba)材(cai)為例，生(sheng)產(chan)加工時銀(yin)靶(ba)(ba)材(cai)會被打穿，產(chan)生(sheng)的(de)絲狀殘料(liao)這(zhe)些都(dou)是(shi)可以回收(shou)再利(li)用(yong)的(de)，廢料(liao)上(shang)會沾染少(shao)量的(de)銦(yin)，說是(shi)氧(yang)化用(yong)的(de)，這(zhe)種銦(yin)元素處理一下就可以了。所以含金(jin)、銀(yin)、鈀、鉑、銠這(zhe)些貴金(jin)屬(shu)的(de)靶(ba)(ba)材(cai)都(dou)可以回收(shou)再利(li)用(yong)的(de)，還有合金(jin)靶(ba)(ba)材(cai)之類的(de)。