一、ITO靶材是什么材料

ITO靶材，全稱為氧化銦錫靶材，是電子信息工業領域的關鍵材料之一。氧化銦錫（英文全稱為Indium Tin Oxide，簡稱“ITO”），由氧化銦和氧化錫粉末按照一定比例混合后，經過一系列的生產工藝加工成型，再高溫燒結形成的黑灰色陶瓷半導體材料。薄(bo)薄(bo)的(de)氧化(hua)銦(yin)錫在(zai)可見(jian)光范圍內(nei)呈現(xian)透(tou)明狀(zhuang)。不過在(zai)紅(hong)外(wai)光線下(xia)，氧化(hua)銦(yin)錫層(ceng)起著不透(tou)明的(de)作用，反(fan)射紅(hong)外(wai)線。

氧化(hua)銦錫作(zuo)為一種(zhong)(zhong)n型半(ban)導體(ti)材料(liao)，具(ju)有(you)(you)高的(de)導電率、優異的(de)可(ke)見光透過率、較強的(de)機(ji)械硬度和良(liang)好的(de)化(hua)學穩定性，主要用于(yu)制作(zuo)液晶顯示(shi)器、平(ping)板顯示(shi)器、等離子顯示(shi)器、觸摸屏、電子紙、有(you)(you)機(ji)發光二極管、太(tai)陽(yang)能電池、抗靜電鍍膜、EMI屏蔽的(de)透明傳導鍍、各(ge)種(zhong)(zhong)光學鍍膜等。

ITO靶(ba)(ba)材(cai)(cai)是濺射(she)靶(ba)(ba)材(cai)(cai)中的一種(zhong)，主要通過磁控濺射(she)將ITO靶(ba)(ba)材(cai)(cai)氣化，濺鍍到玻璃基板或柔性有機薄膜(mo)上，制造(zao)成ITO薄膜(mo)，后(hou)者(zhe)為透明導(dao)電(dian)氧化物薄膜(mo)，厚度一般為30-200納米。

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二、ITO靶材應用領域

1、平板顯示器（純度5N）

在平板顯示領域，ITO靶材主要(yao)用于制作ITO導(dao)電(dian)玻璃及觸控屏電(dian)極平(ping)板，是LCD、PDP、OLED、觸摸屏等(deng)各(ge)類平(ping)板顯(xian)(xian)示器(qi)件制備的核心(xin)材(cai)料。顯(xian)(xian)示面(mian)板一般涉及上下兩層(ceng)ITO導(dao)電(dian)膜(mo)，用量較大(da)(da)，ITO靶材(cai)是平(ping)板顯(xian)(xian)示領域用量最大(da)(da)的靶材(cai)之(zhi)一。

ITO導電(dian)(dian)膜(mo)玻(bo)璃按電(dian)(dian)阻(zu)分為(wei)：高電(dian)(dian)阻(zu)玻(bo)璃（電(dian)(dian)阻(zu)范圍(wei)在150~500歐姆(mu)(mu)）、普(pu)通玻(bo)璃（電(dian)(dian)阻(zu)范圍(wei)在60~150歐姆(mu)(mu)）、低電(dian)(dian)阻(zu)玻(bo)璃（電(dian)(dian)阻(zu)范圍(wei)小于(yu)60歐姆(mu)(mu)）。其中高電(dian)(dian)阻(zu)玻(bo)璃一(yi)般(ban)(ban)用于(yu)靜電(dian)(dian)防護(hu)、觸控屏幕制(zhi)作用；普(pu)通玻(bo)璃一(yi)般(ban)(ban)用于(yu)TN類(lei)液晶(jing)顯示器和電(dian)(dian)子抗干擾；低電(dian)(dian)阻(zu)玻(bo)璃一(yi)般(ban)(ban)用于(yu)STN、TFT液晶(jing)顯示器和透明線路板。

LCD面(mian)(mian)板組件總厚(hou)度不(bu)到1公分，內部包含20多項材(cai)料(liao)及元(yuan)件。不(bu)同類型LCD所需(xu)材(cai)料(liao)不(bu)盡相同，但基本(ben)結(jie)構類似(si)，即(ji)在ITO導(dao)電膜玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)內夾著彩色濾光片、偏(pian)光板、配(pei)向膜等材(cai)料(liao)，灌入液(ye)晶(jing)材(cai)料(liao)，后封裝(zhuang)成(cheng)一(yi)個液(ye)晶(jing)盒。因此(ci)，ITO導(dao)電膜玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)作為(wei)LCD面(mian)(mian)板的關鍵基礎材(cai)料(liao)，約占LCD面(mian)(mian)板材(cai)料(liao)成(cheng)本(ben)的30%，而ITO靶材(cai)約占導(dao)電玻(bo)(bo)(bo)璃(li)(li)成(cheng)本(ben)的20%。

2、薄膜太陽能電池（純度4N）

ITO是一種透明(ming)導電(dian)層(ceng)，在(zai)太陽(yang)能電(dian)池(chi)中作為(wei)透光(guang)層(ceng)，同(tong)時作為(wei)電(dian)極，一般為(wei)正極，另一個(ge)電(dian)極一般以金(jin)屬銀或鋁作為(wei)背電(dian)極使用(yong)。ITO靶(ba)材(cai)主要(yao)用(yong)于(yu)生(sheng)成太陽(yang)能薄膜電(dian)池(chi)的背電(dian)極，主要(yao)需求(qiu)為(wei)方(fang)形板狀靶(ba)材(cai)。

3、保溫透光領域

ITO透(tou)明導電膜玻(bo)(bo)璃作(zuo)為(wei)面發熱體，通電后可以(yi)除(chu)冰霜，用(yong)于(yu)飛(fei)機擋風玻(bo)(bo)璃、飛(fei)機眩窗(chuang)、激(ji)光測距儀(yi)、潛望(wang)鏡觀察窗(chuang)等，多年來已得到了廣泛(fan)的(de)應用(yong)。ITO透(tou)明導電膜玻(bo)(bo)璃正(zheng)反(fan)(fan)面具(ju)有(you)相(xiang)反(fan)(fan)的(de)紅(hong)外(wai)(wai)線(xian)通過及(ji)反(fan)(fan)射(she)性(xing)能，玻(bo)(bo)璃正(zheng)面具(ju)有(you)優(you)良的(de)紅(hong)外(wai)(wai)線(xian)通過性(xing)，衰(shuai)減量極小，而反(fan)(fan)面又具(ju)有(you)紅(hong)外(wai)(wai)線(xian)阻擋反(fan)(fan)射(she)作(zuo)用(yong)，因而該種(zhong)玻(bo)(bo)璃具(ju)有(you)優(you)良的(de)保溫(wen)透(tou)光性(xing)能，已大量用(yong)于(yu)制造(zao)冷藏(zang)柜，隨著成本的(de)降(jiang)低將有(you)望(wang)用(yong)于(yu)房屋(wu)節能。