一、光刻膠怎么保存

1、溫度：光刻膠應存放在低溫環境下，一般建議存放在-20℃以下的冰箱中，避免光刻膠受熱(re)變(bian)質。同(tong)時，光刻(ke)膠在存放和(he)使用過(guo)程中應避免受到溫度變(bian)化的影響(xiang)，以(yi)免影響(xiang)其性(xing)能和質(zhi)量(liang)。

2、光照：光刻膠應避免直接暴露在強光下，以免光刻膠受到光照而失去靈敏度。因此，在存放(fang)和使(shi)用(yong)光刻(ke)膠(jiao)時(shi)，應盡量避免光照，可以使(shi)用(yong)黑色(se)遮光袋或黑色(se)遮光箱進行(xing)保護。

3、濕度：光刻膠應存放在干燥的環境中，避免受潮。因為潮濕的環境會影響光刻膠的性能和質量，甚至會導致光(guang)刻膠(jiao)失效(xiao)。因此，在存放(fang)和使(shi)用光(guang)刻膠(jiao)時(shi)，應盡(jin)量避免受潮，可以(yi)使用(yong)密封袋或密封容器進(jin)行保護。

4、震動：光刻膠應避免受到劇烈的震動和振動，以免影響其性能和質量。因此，在存放和使用光刻膠時，應(ying)盡量(liang)避免(mian)受到震動和振動，可以(yi)使用泡沫(mo)箱或其他緩沖材料進(jin)行保護(hu)。

二、光刻膠使用和儲存注意事項

1、保存

光刻(ke)膠中的光敏組分是非常脆弱的，除了有溫度的要求外(wai)，對于(yu)儲存時間和(he)外(wai)包裝(zhuang)材料有很嚴格的要求。一般(ban)使用棕色(se)的玻(bo)璃(li)瓶包裝(zhuang)，再套上黑色(se)塑料袋(dai)。

光刻膠的保存期限一般為6個月至1年左右，具體時間取決于光刻膠的種類和保存條件。因此，在(zai)存(cun)放和使用(yong)光刻膠(jiao)時，應注(zhu)意光刻膠(jiao)的保(bao)存(cun)期限，避免(mian)使用(yong)過期光刻膠(jiao)。

2、光刻膠的涂布溫度

光刻膠涂布溫度一般要和室溫相同，原因是與室溫相同可以大減少光刻膠的溫度波動，從而減少工藝波動。而凈化間室溫一般是23度，所以光刻膠涂布(bu)溫度一般(ban)(ban)為23度(du)。一般(ban)(ban)在旋涂的情況下，高于會(hui)中(zhong)間厚，低(di)于會(hui)中(zhong)間薄。同時涂布前，wafer也(ye)需要冷板(ban)，保證每次涂布wafer的溫度(du)一致。

3、涂布時濕度的控制

現在光(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)涂覆工段(duan)一般都(dou)與(yu)自動純水清洗(xi)線(xian)連在一起(qi)，很多(duo)時候都(dou)只考慮此段(duan)的潔凈度，而疏忽了該(gai)段(duan)的濕度控制，使得(de)光(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)涂覆的良品率比較(jiao)低，在顯影時光(guang)(guang)刻(ke)膠(jiao)脫(tuo)落嚴(yan)重，起(qi)不到(dao)保護阻蝕的效果(guo)。

4、涂膠后產品的放置時間的控制

在生產設備出現故障等特殊情況(kuang)下，涂(tu)完光刻膠的(de)產品(pin)需(xu)要保留(liu)(liu)，保留(liu)(liu)的(de)時間一般不(bu)超過(guo)8小時，曝光前如(ru)已被感（即膠膜已失效(xiao)），不(bu)能作(zuo)為正品(pin)，需(xu)返工處(chu)理。

5、前烘溫度和時間的控制

前(qian)烘的(de)(de)目的(de)(de)是促使(shi)膠(jiao)(jiao)膜內溶劑充分揮發，使(shi)膠(jiao)(jiao)膜干燥以(yi)增強膠(jiao)(jiao)膜與(yu)基(ji)板表面的(de)(de)粘附性和膠(jiao)(jiao)膜的(de)(de)耐磨性。曝(pu)光時，掩模(mo)版(ban)與(yu)光刻(ke)膠(jiao)(jiao)即使(shi)接觸也(ye)不(bu)會損(sun)傷光刻(ke)膠(jiao)(jiao)膜和沾污(wu)掩模(mo)膜，同時只有光刻(ke)膠(jiao)(jiao)干凈、在曝(pu)光時，光刻(ke)膠(jiao)(jiao)才能充分地和光發生反應。同時注意前(qian)烘的(de)(de)溫度(du)不(bu)能過高，過高會造成光刻(ke)膠(jiao)(jiao)膜的(de)(de)碳化，從而影(ying)響(xiang)光刻(ke)效果。一般情(qing)況(kuang)下(xia)，前(qian)烘的(de)(de)溫度(du)取(qu)值比后(hou)烘堅(jian)膜溫度(du)稍低(di)一些，時間(jian)稍短一些。

6、顯影條件的控制

顯影時必須控制好顯影液的溫度、濃度及顯影的時間。在一定濃度下的顯影液中，溫度和時間直接影響的速度，若顯影時間不足或溫度低，則感光部位的光刻膠不能夠完全溶解(jie)，留有一層(ceng)光(guang)(guang)刻膠(jiao)，在刻蝕(shi)時(shi)，這層(ceng)膠(jiao)會(hui)對膜面進行(xing)保護作用，使應(ying)該刻蝕(shi)的(de)膜留下來。若顯影(ying)時(shi)間過長(chang)或(huo)溫度過高，顯影(ying)時(shi)未被曝光(guang)(guang)部位的(de)光(guang)(guang)刻膠(jiao)也會(hui)被從邊緣里鉆溶。使圖案的(de)邊緣變差，再嚴重會(hui)使光(guang)(guang)刻膠(jiao)大量脫落，形(xing)成(cheng)脫膠(jiao)。