一、光刻膠怎么保存

1、溫度：光刻膠應存放在低溫環境下，一般建議存放在-20℃以下的冰箱中，避免光刻膠受(shou)熱(re)變質。同時，光刻(ke)膠在存放和使(shi)用過程(cheng)中應避免(mian)受(shou)到溫度變化的影響，以免(mian)影響其性能和質量。

2、光照：光刻膠應避免直接暴露在強光下，以免光刻膠受到光照而失去靈敏度。因此，在存(cun)放和使用光(guang)刻(ke)膠時(shi)，應盡量避免光(guang)照，可以使用黑色遮光(guang)袋或黑色遮光(guang)箱進行保護(hu)。

3、濕度：光刻膠應存放在干燥的環境中，避免受潮。因為潮濕的環境會影響光刻膠的性能和質量(liang)，甚至(zhi)會導致光刻膠(jiao)失效。因此，在存放和使用光刻膠(jiao)時，應盡量(liang)避免受潮，可以使用(yong)密(mi)封袋或(huo)密(mi)封容器(qi)進(jin)行保護。

4、震動：光刻膠應避免受到劇烈的震動和振動，以免影響其性能和質量。因此，在存放和使用光刻(ke)膠時(shi)，應盡量(liang)避免受到震動和振動，可以使用泡沫箱或其他緩沖材料進行保護。

二、光刻膠使用和儲存注意事項

1、保存

光刻膠中的光敏組分是非常脆弱(ruo)的，除了有溫度的要求外，對于儲存時間和(he)外包裝材料有很嚴格的要求。一般使用棕色(se)的玻璃瓶包裝，再套上黑色(se)塑料袋。

光刻膠的保存期限一般為6個月至1年左右，具體時間取決于光刻膠的種類和保存條件。因此，在存放和(he)使用(yong)光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)時，應(ying)注意光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)的(de)保(bao)存期(qi)限，避免(mian)使用(yong)過期(qi)光(guang)刻(ke)膠(jiao)(jiao)。

2、光刻膠的涂布溫度

光刻膠涂布溫度一般要和室溫相同，原因是與室溫相同可以大減少光刻膠的溫度波動，從而減少工藝波動。而凈化間室溫一般是23度，所以光(guang)刻(ke)膠涂布溫度一(yi)般為23度。一(yi)般在旋涂的情況下，高于(yu)(yu)會(hui)中間(jian)厚，低于(yu)(yu)會(hui)中間(jian)薄。同時涂布前，wafer也需要冷板(ban)，保證每次涂布wafer的溫(wen)度一(yi)致。

3、涂布時濕度的控制

現在(zai)光刻膠涂覆工(gong)段一般都(dou)與自動純水清(qing)洗線連在(zai)一起(qi)，很多時(shi)候(hou)都(dou)只考慮此段的潔凈度(du)，而(er)疏忽了該段的濕度(du)控制(zhi)，使得(de)光刻膠涂覆的良品(pin)率比較低，在(zai)顯影(ying)時(shi)光刻膠脫落嚴重，起(qi)不到保護阻(zu)蝕(shi)的效果。

4、涂膠后產品的放置時間的控制

在生產設備出現故障(zhang)等特殊情況下，涂完光(guang)刻(ke)膠的(de)產品(pin)需要保(bao)留(liu)，保(bao)留(liu)的(de)時(shi)間一(yi)般不超過8小時(shi)，曝光(guang)前如(ru)已被(bei)感(gan)（即膠膜已失效），不能作為正品(pin)，需返工(gong)處理。

5、前烘溫度和時間的控制

前(qian)(qian)烘(hong)的(de)目的(de)是促使(shi)膠(jiao)(jiao)(jiao)膜(mo)(mo)內溶劑充分揮發，使(shi)膠(jiao)(jiao)(jiao)膜(mo)(mo)干(gan)燥以增強膠(jiao)(jiao)(jiao)膜(mo)(mo)與(yu)基(ji)板表面的(de)粘附性(xing)(xing)和(he)膠(jiao)(jiao)(jiao)膜(mo)(mo)的(de)耐磨性(xing)(xing)。曝光(guang)(guang)時(shi)(shi)(shi)，掩模版與(yu)光(guang)(guang)刻膠(jiao)(jiao)(jiao)即使(shi)接觸也不會損傷光(guang)(guang)刻膠(jiao)(jiao)(jiao)膜(mo)(mo)和(he)沾(zhan)污掩模膜(mo)(mo)，同時(shi)(shi)(shi)只有光(guang)(guang)刻膠(jiao)(jiao)(jiao)干(gan)凈、在曝光(guang)(guang)時(shi)(shi)(shi)，光(guang)(guang)刻膠(jiao)(jiao)(jiao)才能(neng)充分地和(he)光(guang)(guang)發生(sheng)反應。同時(shi)(shi)(shi)注意前(qian)(qian)烘(hong)的(de)溫(wen)度不能(neng)過高，過高會造成光(guang)(guang)刻膠(jiao)(jiao)(jiao)膜(mo)(mo)的(de)碳化，從而影(ying)響光(guang)(guang)刻效果。一般情況下，前(qian)(qian)烘(hong)的(de)溫(wen)度取值比后烘(hong)堅膜(mo)(mo)溫(wen)度稍(shao)低一些，時(shi)(shi)(shi)間稍(shao)短一些。

6、顯影條件的控制

顯影時必須控制好顯影液的溫度、濃度及顯影的時間。在一定濃度下的顯影液中，溫度和時間直接影響的速度，若顯影時間不足或溫度低，則感光部位的光刻膠不能夠完(wan)全溶解，留有一層光刻(ke)(ke)膠(jiao)，在刻(ke)(ke)蝕時(shi)，這層膠(jiao)會對膜面進行保護(hu)作用，使應該刻(ke)(ke)蝕的(de)(de)膜留下來。若顯(xian)影時(shi)間過長或溫(wen)度過高，顯(xian)影時(shi)未被曝光部(bu)位的(de)(de)光刻(ke)(ke)膠(jiao)也會被從邊(bian)緣里鉆(zhan)溶。使圖(tu)案的(de)(de)邊(bian)緣變差，再(zai)嚴重會使光刻(ke)(ke)膠(jiao)大量(liang)脫落，形成脫膠(jiao)。