一、光刻膠的組成成分有哪些

光刻膠主(zhu)要由感(gan)光(guang)(guang)劑(ji)(ji)（光(guang)(guang)引發劑(ji)(ji)）、聚合劑(ji)(ji)（感(gan)光(guang)(guang)樹脂）、溶劑(ji)(ji)與助(zhu)劑(ji)(ji)構成。

1、光(guang)(guang)引發劑是光(guang)(guang)刻膠(jiao)的(de)最關(guan)鍵成分，對光(guang)(guang)刻膠(jiao)的(de)感光(guang)(guang)度、分辨率(lv)起著決(jue)定性作用。

2、感光樹脂用于將光刻膠中不同材料聚(ju)合在(zai)一起，是(shi)構成(cheng)光刻膠的骨架，決定光刻膠包括硬度、柔(rou)韌(ren)性、附著力等基(ji)本屬性。

3、溶劑是光刻膠(jiao)中最大成分(fen)，目的是使光刻膠(jiao)處于液態(tai)，但(dan)溶劑本身對(dui)光刻膠(jiao)的化學性質(zhi)幾乎沒影響。

4、助劑通常是專有(you)化(hua)合物(wu)，由各家廠商獨自研發(fa)，主(zhu)要用來改變光刻(ke)膠(jiao)特定化(hua)學性質。

二、光刻膠的原理

1、光敏性原理

光(guang)刻(ke)膠(jiao)的(de)基(ji)本原理是光(guang)敏材料(liao)暴露在紫(zi)外線下，光(guang)線將光(guang)敏材料(liao)中(zhong)的(de)分子(zi)激活，使(shi)其發(fa)生化學反應，使(shi)光(guang)敏膠(jiao)發(fa)生預設的(de)變化。根據(ju)光(guang)線能量(liang)的(de)不同，光(guang)刻(ke)膠(jiao)可分為UV光(guang)刻(ke)膠(jiao)和(he)深紫(zi)外光(guang)刻(ke)膠(jiao)。UV光(guang)刻(ke)膠(jiao)用于(yu)制(zhi)造精度要求低的(de)電子(zi)元(yuan)件，而深紫(zi)外光(guang)刻(ke)膠(jiao)則用于(yu)制(zhi)造更(geng)微小(xiao)的(de)元(yuan)器件。

2、光學成像原理

光刻膠是通過光學成像原理來實現預期的紋理結構。當光照射在光刻膠表面時，會(hui)通(tong)過掩膜上的(de)白色區域透過黑(hei)色區域，達到(dao)將圖案映射到(dao)光(guang)刻膠(jiao)上的(de)目的(de)。通(tong)過開發過程，只剩下光(guang)刻膠(jiao)上所需(xu)的(de)微(wei)型器件的(de)部(bu)分區域，即可形(xing)成要制(zhi)造的(de)微(wei)型器件。

3、選擇適合的溶劑

光刻膠的(de)成分包括(kuo)光敏材料(liao)、單體、溶(rong)劑和劑量。反應(ying)關(guan)鍵因素(su)之一是選擇適合系統的(de)溶(rong)劑，溶(rong)劑是優化反應(ying)速率和接(jie)觸(chu)角的(de)關(guan)鍵因素(su)。正確的(de)溶(rong)劑選擇可確保(bao)強大的(de)粘(zhan)附力和最小的(de)溶(rong)液(ye)浸透時間。