一、KrF光刻膠是什么

光刻膠根(gen)據不(bu)(bu)同的(de)曝光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)源分為不(bu)(bu)同的(de)類型(xing)，曝光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)源從(cong)寬譜紫外(wai)線(xian)(xian)(xian)發展到(dao)I線(xian)(xian)(xian)（365nm）、KrF線(xian)(xian)(xian)（248nm）、ArF線(xian)(xian)(xian)（193nm）以及EUV（13.5nm）光(guang)(guang)(guang)(guang)源，而不(bu)(bu)同的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)源要(yao)(yao)求(qiu)使用(yong)不(bu)(bu)同的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)刻膠。KrF光(guang)(guang)(guang)(guang)刻膠就是運用(yong)KrF（248nm）曝光(guang)(guang)(guang)(guang)光(guang)(guang)(guang)(guang)源時所需要(yao)(yao)的(de)光(guang)(guang)(guang)(guang)刻膠。KrF光(guang)(guang)(guang)(guang)刻膠主要(yao)(yao)應用(yong)于0.13m以上線(xian)(xian)(xian)寬，包含離子注入層(ceng)，抗刻蝕層(ceng)等多種(zhong)工藝中。

二、arf光刻膠是什么

ArF光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)，是半導體(ti)光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)的一(yi)(yi)種，屬于高(gao)端光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)產(chan)(chan)品，用來制造12英寸(cun)大硅(gui)片(pian)（硅(gui)晶圓）。在光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)產(chan)(chan)品中，半導體(ti)光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)技(ji)術(shu)壁(bi)壘(lei)最高(gao)；在半導體(ti)光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)產(chan)(chan)品中，ArF光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)是技(ji)術(shu)含量最高(gao)的產(chan)(chan)品之一(yi)(yi)。ArF光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)是第四代光(guang)(guang)(guang)(guang)刻(ke)(ke)(ke)(ke)膠(jiao)(jiao)，行(xing)業進入(ru)技(ji)術(shu)壁(bi)壘(lei)高(gao)，全球(qiu)量產(chan)(chan)企業數量少。

三、krf光刻膠和arf光刻膠區別

krF光刻膠與ArF光刻膠都主要用于半導體領域，二者最大區別是光刻膠的光(guang)(guang)源(yuan)波長(chang)不同(tong)，其中krf波長(chang)為(wei)248nm，arf波長(chang)為(wei)193nm，arf光(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠的分辨率更(geng)好，技術(shu)含量更(geng)高(gao)。arf和krf都(dou)屬于(yu)深紫外(wai)光(guang)(guang)范疇，也(ye)(ye)都(dou)是duv光(guang)(guang)刻(ke)(ke)機應用(yong)光(guang)(guang)源(yuan)，但是光(guang)(guang)源(yuan)技術(shu)上(shang)相差一(yi)代。另外(wai)，由于(yu)光(guang)(guang)源(yuan)波長(chang)不同(tong)，krf光(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠和arf光(guang)(guang)刻(ke)(ke)膠也(ye)(ye)不能通用(yong)。