一、光刻膠的優缺點
光刻膠作(zuo)為芯(xin)片(pian)制造(zao)中的一種重要材料(liao),具有以下優點:
1、精度高。光刻膠可以在芯片表面形成微米級別的圖案,具有非常(chang)高的精度和(he)穩定(ding)性。
2、適用范圍廣。光刻膠可以適用于不同類型的芯片材料,包括硅片(pian)、玻璃、陶(tao)瓷等。
3、加工速度快。光刻膠可以在短時間內完成芯片表面的加工和處(chu)理,提高了生(sheng)產效率。
但光刻(ke)膠也存在一(yi)些缺點,主要包括以下幾點:
1、成(cheng)本較高。光刻膠的制備和加工過程較為復雜(za),成(cheng)本較高。
2、對環境有一定污染。光刻膠的制備和加工過程會產生一定的污染物,對環境有一(yi)定(ding)影響(xiang)。
3、對人體有一定危害。光刻膠中含有一定的有毒物質,對人體有一定(ding)危(wei)害。
二、光刻膠的危害及防護
危害:光刻膠是一(yi)種(zhong)乙類危險品(pin),無(wu)色透(tou)明(ming)液體,有(you)微弱類似芳香酯(zhi)的氣(qi)味。高濃度(du)蒸汽刺激眼和呼(hu)吸(xi)道(dao),經常(chang)吸(xi)入(ru)對腎(shen)臟有(you)損傷。易燃,遇明(ming)火、高熱能燃燒(shao)。受高熱分解放(fang)出有(you)毒的氣(qi)體。其蒸氣(qi)與空氣(qi)可形成爆炸性混合物,當達到一(yi)定濃度(du)時,遇火星會發生爆炸。
急救措(cuo)施:應(ying)使吸(xi)入(ru)蒸氣的患者脫離污染區(qu)。安置休(xiu)息并保暖,眼睛受刺激用(yong)(yong)水沖洗(xi),對濺入(ru)眼內的嚴重患送醫院診治。皮膚接(jie)觸用(yong)(yong)溶劑擦洗(xi),再(zai)用(yong)(yong)肥皂徹底洗(xi)滌。誤(wu)服立即漱口(kou),送醫院救治。
消(xiao)防(fang)方法:消(xiao)防(fang)人(ren)員(yuan)必(bi)須佩戴過濾(lv)式(shi)防(fang)毒(du)(du)面(mian)具(全(quan)(quan)面(mian)罩)或隔離式(shi)呼吸器,穿全(quan)(quan)身防(fang)火(huo)防(fang)毒(du)(du)服,在上(shang)風(feng)向滅(mie)火(huo)。盡(jin)可能將容(rong)器從(cong)火(huo)場移至空曠處。噴水保持火(huo)場容(rong)器冷卻,直(zhi)至滅(mie)火(huo)結束。處在火(huo)場中(zhong)的容(rong)器若已變(bian)色或從(cong)安全(quan)(quan)泄壓裝置中(zhong)產(chan)生聲音(yin),必(bi)須馬(ma)上(shang)撤離。滅(mie)火(huo)劑:霧狀(zhuang)水、泡(pao)沫、干粉(fen)、二(er)氧化碳、砂土。
泄(xie)漏應急處(chu)理:迅(xun)速(su)撤(che)離泄漏污染區人員至(zhi)安全區,并進行(xing)隔(ge)離,嚴格限(xian)制出入。切(qie)斷火源。建議應急處理人員(yuan)戴自(zi)給正壓式呼吸器,穿一般作(zuo)業工作(zuo)服。若是(shi)液體(ti),盡可能切斷泄(xie)漏源。防(fang)止(zhi)流入下水道(dao)、排洪溝等限(xian)制性空間。小量(liang)泄漏(lou):用干(gan)燥的砂土(tu)或類似(si)物質吸收。大量(liang)泄漏(lou):構筑圍堤或挖坑收容。用泡沫覆蓋(gai),降(jiang)低蒸氣災(zai)害。用防(fang)爆泵(beng)轉移至槽車(che)或專用收集(ji)器內,回收或運至廢物(wu)處理場(chang)所處置(zhi)。若是固體,收集于(yu)干燥、潔凈、有蓋的容器中。若大量泄漏,收集回收或運(yun)至廢物處(chu)理場所處(chu)置。
操作注意事項:密閉(bi)操作。密閉(bi)操作,提(ti)供(gong)良好的(de)自然(ran)通風條(tiao)件。操作人(ren)員必須經過專門培(pei)訓(xun),嚴格遵守操作規程。建議操(cao)作人員佩戴(dai)自(zi)吸(xi)過濾式防(fang)塵口罩,戴(dai)化學安全防(fang)護眼鏡(jing)。遠離火種、熱源,工作場(chang)所嚴禁吸(xi)煙。使(shi)用防(fang)爆型的通風(feng)系統和設備。防(fang)止蒸氣(qi)泄漏到工作場(chang)所空氣(qi)中。避免與(yu)氧化劑(ji)接觸。搬(ban)運時要輕裝(zhuang)輕卸,防(fang)止包裝(zhuang)及容器損(sun)壞(huai)。配備相應(ying)品(pin)種和數量的(de)消防(fang)器材(cai)及泄漏應急處理設備。倒空的容器可能殘留有(you)害物(wu)。