一、掃描電鏡有哪些種類

掃(sao)描電鏡分類方(fang)法：

1、按照電子槍種類分：鎢絲槍(qiang)、六硼化(hua)鑭、場(chang)發射(she)(she)電子槍(qiang)（冷(leng)場(chang)發射(she)(she)、熱場(chang)發射(she)(she)）。

2、按照樣品室的真空度分：高真空模(mo)式(shi)(shi)、低真空模(mo)式(shi)(shi)、環境(jing)模(mo)式(shi)(shi)（冷熱(re)高壓(ya)低壓(ya)等等）。

3、按照真空泵分：油擴(kuo)散泵、分(fen)子泵。

4、按照自動化程度分：自動、手動。

5、按照操作方式分：旋鈕操(cao)(cao)作、鼠標操(cao)(cao)作。

6、按照電器控制系統分：模擬(ni)控制(zhi)、數字控制(zhi)。

7、按照圖像顯示系統分：模擬顯(xian)像(xiang)、數(shu)字顯(xian)像(xiang)。

二、掃描電鏡由什么組成

掃(sao)描電(dian)鏡由電(dian)子光學系(xi)統(tong)，信(xin)號收集及顯示系(xi)統(tong)，真空系(xi)統(tong)及電(dian)源系(xi)統(tong)組成(cheng)。

1、電子光學系統

電(dian)(dian)子光學系統由電(dian)(dian)子槍，電(dian)(dian)磁透鏡，掃(sao)描線圈和樣品室等部件組成。其作用(yong)是用(yong)來獲得(de)掃(sao)描電(dian)(dian)子束，作為(wei)產生物理信號的激發源。為(wei)了(le)獲得(de)較(jiao)高的信號強(qiang)度和圖(tu)像分辨率，掃(sao)描電(dian)(dian)子束應具(ju)有較(jiao)高的亮(liang)度和盡(jin)可能小的束斑直徑(jing)。

（1）電子槍

其(qi)作用是利用陰極(ji)與(yu)陽極(ji)燈絲間的(de)高(gao)(gao)壓產生(sheng)高(gao)(gao)能量的(de)電子(zi)(zi)束(shu)。目前大多(duo)數掃描電鏡采(cai)用熱陰極(ji)電子(zi)(zi)槍(qiang)。其(qi)優點(dian)是燈絲價格較(jiao)便宜(yi)，對(dui)真(zhen)空(kong)度要求不高(gao)(gao)，缺(que)點(dian)是鎢絲熱電子(zi)(zi)發(fa)射(she)效(xiao)率(lv)(lv)低，發(fa)射(she)源直徑較(jiao)大，即使經過二(er)級(ji)(ji)或三級(ji)(ji)聚光鏡，在樣品表面上(shang)的(de)電子(zi)(zi)束(shu)斑直徑也(ye)在5-7nm，因(yin)此(ci)儀器分辨(bian)(bian)率(lv)(lv)受到(dao)限(xian)制(zhi)。現在，高(gao)(gao)等級(ji)(ji)掃描電鏡采(cai)用六硼(peng)化鑭(lan)（LaB6）或場發(fa)射(she)電子(zi)(zi)槍(qiang)，使二(er)次電子(zi)(zi)像的(de)分辨(bian)(bian)率(lv)(lv)達到(dao)2nm。但這種(zhong)電子(zi)(zi)槍(qiang)要求很高(gao)(gao)的(de)真(zhen)空(kong)度。

（2）電磁透鏡

其作用(yong)主(zhu)要是把電子槍的束斑(ban)逐漸縮(suo)小，是原來直徑約為50mm的束斑(ban)縮(suo)小成(cheng)一個只有(you)數nm的細小束斑(ban)。其工作原理(li)與透射電鏡中的電磁透鏡相同。

掃描電(dian)鏡(jing)一般有(you)三(san)個(ge)聚光鏡(jing)，前兩個(ge)透(tou)(tou)鏡(jing)是強(qiang)透(tou)(tou)鏡(jing)，用來(lai)縮小電(dian)子(zi)束光斑尺寸(cun)。第三(san)個(ge)聚光鏡(jing)是弱透(tou)(tou)鏡(jing)，具有(you)較長(chang)的焦距，在該(gai)透(tou)(tou)鏡(jing)下方放(fang)置樣品(pin)可避(bi)免磁場對(dui)二次電(dian)子(zi)軌跡的干擾。

（3）掃描線圈

其作用是(shi)提供入射(she)電(dian)子束(shu)在(zai)樣(yang)品表面(mian)上以(yi)及陰極射(she)線管內(nei)電(dian)子束(shu)在(zai)熒光屏上的(de)同步掃(sao)(sao)描信(xin)號。改變入射(she)電(dian)子束(shu)在(zai)樣(yang)品表面(mian)掃(sao)(sao)描振幅，以(yi)獲得(de)所需放大倍(bei)率的(de)掃(sao)(sao)描像(xiang)。掃(sao)(sao)描線圈試(shi)掃(sao)(sao)描點晶的(de)一(yi)個重(zhong)要組件，它(ta)一(yi)般(ban)放在(zai)最后二透鏡之間(jian)，也有的(de)放在(zai)末(mo)級(ji)透鏡的(de)空間(jian)內(nei)。

（4）樣品室

樣(yang)品室中主要部件是樣(yang)品臺。它出能(neng)進行三維空間的移(yi)動，還能(neng)傾斜(xie)和轉動，樣(yang)品臺移(yi)動范圍一般可(ke)達40毫米，傾斜(xie)范圍至少(shao)在(zai)50度左右，轉動360度。

樣(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)室中還(huan)要安(an)(an)置各種型號(hao)檢測器。信號(hao)的收集效率(lv)和相應(ying)檢測器的安(an)(an)放位(wei)置有很大(da)關系。樣(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)臺還(huan)可以帶有多種附件，例(li)如樣(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)在樣(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)臺上加熱，冷卻(que)或拉伸，可進行(xing)動態觀察。近(jin)年來，為適應(ying)斷(duan)口實物等大(da)零件的需(xu)要，還(huan)開發了可放置尺(chi)寸在Φ125mm以上的大(da)樣(yang)(yang)(yang)品(pin)(pin)臺。

2、信號檢測放大系統

其作(zuo)用(yong)是(shi)檢(jian)測(ce)樣品在入射電子(zi)作(zuo)用(yong)下產生的物理信號(hao)，然(ran)后經(jing)視頻放(fang)大(da)作(zuo)為顯像(xiang)系統(tong)的調(diao)制信號(hao)。

3、真空系統和電源系統

真(zhen)(zhen)空系(xi)統(tong)(tong)的作用是為保證電(dian)子光(guang)學(xue)系(xi)統(tong)(tong)正常(chang)工作，防止樣(yang)品污染(ran)提(ti)供高的真(zhen)(zhen)空度(du)，一般(ban)情況(kuang)下(xia)要求保持10.4-10.5mmHg的真(zhen)(zhen)空度(du)。