一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高，景深長，那么具體的掃描電鏡的分辨率是(shi)多少(shao)呢？

掃描(miao)電(dian)(dian)鏡(jing)具有很(hen)高(gao)的(de)分辨率(lv)(lv)(lv)，普通掃描(miao)電(dian)(dian)鏡(jing)的(de)分辨率(lv)(lv)(lv)為幾納米(mi)，場(chang)發射掃描(miao)電(dian)(dian)鏡(jing)的(de)分辨率(lv)(lv)(lv)可達1nm，已十(shi)分接近(jin)透射電(dian)(dian)鏡(jing)的(de)水(shui)平。

光(guang)學顯(xian)微鏡只能(neng)在低倍率下使用，而透射(she)電(dian)鏡只能(neng)在高倍率下使用，掃描電(dian)鏡可以在幾(ji)倍到幾(ji)十(shi)萬倍的(de)范圍內連(lian)續可調，彌(mi)補了從光(guang)學顯(xian)微鏡到透射(she)電(dian)鏡觀察(cha)的(de)一(yi)個(ge)很(hen)大(da)的(de)跨(kua)度，實現了對樣(yang)品從宏觀到微觀的(de)觀察(cha)和(he)分析。

二、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經簡單了解了掃描電鏡的分辨率，那么你知道掃描電鏡的分辨率(lv)受哪些因(yin)素影響嗎？

主要影響因素：

1、掃描電子束斑直徑

一般認為在理想(xiang)的情況下，掃描電鏡(jing)的分辨(bian)率不可能小于掃描電子(zi)束(shu)斑(ban)直(zhi)徑(jing)，故束(shu)斑(ban)直(zhi)徑(jing)越小，電鏡(jing)的分辨(bian)本(ben)領越高。束(shu)斑(ban)直(zhi)徑(jing)主要取決于電子(zi)光學系(xi)統（電子(zi)槍等）。

2、入射電子束在樣品中的擴展效應

例如不(bu)同的入射電子能(neng)量(liang)導致作(zuo)用(yong)區域(yu)不(bu)同，高加速(su)電壓(ya)時，入射電子能(neng)量(liang)高，作(zuo)用(yong)深度大，不(bu)同深度的信號疊加，無法清晰地表(biao)征材料(liao)最表(biao)面細(xi)節；低(di)加速(su)電壓(ya)時，入射電了能(neng)量(liang)低(di)，作(zuo)用(yong)深度淺，提高了空間(jian)分辨率。

3、成像所用信號種類

也(ye)是(shi)主要(yao)與(yu)信號本身的能量和(he)信號取樣的區域范圍，以二(er)次(ci)電子為調(diao)制信號和(he)以背散射電子就不一樣，后者(zhe)分辨率低(di)于前者(zhe)。