一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高，景深長，那么具體的掃描電鏡的分(fen)辨率是多(duo)少呢？

掃描(miao)電(dian)鏡(jing)具(ju)有很高的分(fen)辨(bian)(bian)率，普(pu)通掃描(miao)電(dian)鏡(jing)的分(fen)辨(bian)(bian)率為(wei)幾納米，場發射掃描(miao)電(dian)鏡(jing)的分(fen)辨(bian)(bian)率可達1nm，已十(shi)分(fen)接(jie)近透射電(dian)鏡(jing)的水平。

光學顯(xian)微(wei)鏡只能(neng)在(zai)低倍(bei)(bei)率下(xia)使用，而透射電(dian)鏡只能(neng)在(zai)高倍(bei)(bei)率下(xia)使用，掃描(miao)電(dian)鏡可(ke)以在(zai)幾倍(bei)(bei)到(dao)(dao)幾十(shi)萬倍(bei)(bei)的(de)(de)范圍內連續可(ke)調，彌補了(le)從光學顯(xian)微(wei)鏡到(dao)(dao)透射電(dian)鏡觀(guan)察的(de)(de)一個(ge)很大(da)的(de)(de)跨(kua)度，實(shi)現了(le)對(dui)樣品從宏觀(guan)到(dao)(dao)微(wei)觀(guan)的(de)(de)觀(guan)察和分析(xi)。

二、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經簡單了解了掃描電鏡的分辨率，那么你知道掃描電鏡的分辨率(lv)受哪些因(yin)素影響嗎？

主要影響因素：

1、掃描電子束斑直徑

一般認為在理想的情況(kuang)下，掃描電鏡的分辨率(lv)不可能(neng)小于(yu)掃描電子束(shu)斑(ban)直徑(jing)，故束(shu)斑(ban)直徑(jing)越小，電鏡的分辨本領越高(gao)。束(shu)斑(ban)直徑(jing)主要取(qu)決(jue)于(yu)電子光學系統（電子槍(qiang)等）。

2、入射電子束在樣品中的擴展效應

例如不同(tong)(tong)的(de)入射(she)電(dian)子能量導致作(zuo)用區域不同(tong)(tong)，高加(jia)(jia)速(su)電(dian)壓(ya)時，入射(she)電(dian)子能量高，作(zuo)用深(shen)(shen)度(du)大(da)，不同(tong)(tong)深(shen)(shen)度(du)的(de)信號疊加(jia)(jia)，無法清(qing)晰地表(biao)征材(cai)料最表(biao)面細節；低加(jia)(jia)速(su)電(dian)壓(ya)時，入射(she)電(dian)了(le)能量低，作(zuo)用深(shen)(shen)度(du)淺(qian)，提高了(le)空間分辨(bian)率。

3、成像所用信號種類

也是主要(yao)與(yu)信(xin)號(hao)(hao)本身的能量和信(xin)號(hao)(hao)取樣的區域范圍，以二次電(dian)子(zi)為調制(zhi)信(xin)號(hao)(hao)和以背散射電(dian)子(zi)就不一樣，后者分辨率低于前者。