一、掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種

掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質間的相互作用，來激發各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。那么你知道掃描電子顯微鏡主(zhu)要成像(xiang)信(xin)號有哪幾種嗎？

1、對于形貌成像：主要信號(hao)是(shi)二次(ci)電子(zi)，背散射電子(zi)也有使用。吸收電流(liu)成像(xiang)，是(shi)比較特殊的應(ying)用，往往用于專門材料檢測。

2、對于成分分布成像：背散射(she)電子，陰(yin)極熒(ying)光(guang)，元素特(te)征(zheng)X射(she)線等。

二、掃描電鏡的主要參數有哪些

掃(sao)描(miao)電(dian)鏡主要參數(shu)：分辨率、放大倍數(shu)、景深(shen)。

1、分辨率

分辨(bian)率是(shi)(shi)掃(sao)描電鏡最主要(yao)的(de)(de)性能(neng)(neng)指(zhi)標(biao)，對(dui)成像而(er)言(yan)，它是(shi)(shi)指(zhi)能(neng)(neng)分辨(bian)兩點之間(jian)的(de)(de)最小距(ju)離；對(dui)微區成分分析而(er)言(yan)，它是(shi)(shi)指(zhi)能(neng)(neng)分析的(de)(de)最小區域。掃(sao)描電鏡的(de)(de)分辨(bian)率通過測(ce)定圖(tu)像中兩個顆粒(或區域)間(jian)的(de)(de)最小距(ju)離來確定的(de)(de)，測(ce)定的(de)(de)方(fang)法是(shi)(shi)在(zai)已(yi)知(zhi)放(fang)大(da)倍數(shu)(shu)的(de)(de)條件下(xia)，把在(zai)圖(tu)像上(shang)測(ce)到的(de)(de)最小間(jian)距(ju)除以(yi)放(fang)大(da)倍數(shu)(shu)所得(de)數(shu)(shu)值就是(shi)(shi)分辨(bian)率。

2、放大倍數

當入射電子(zi)束做光(guang)柵掃(sao)描時，若電子(zi)束在樣品(pin)表(biao)面掃(sao)描的(de)幅度為(wei)As，在顯光(guang)屏上(shang)陰極射線同步掃(sao)描的(de)幅度為(wei)Ac，則放大倍(bei)數可表(biao)示為(wei)M=Ac/As。

由于熒光(guang)屏的(de)尺寸是不變(bian)的(de)，因此，放大倍數(shu)的(de)變(bian)化只要通過改變(bian)電子束在樣品表面的(de)掃描幅度(du)As來實現。

目前商品化的(de)(de)掃面(mian)電鏡(jing)的(de)(de)放大(da)倍(bei)(bei)數可以(yi)從20倍(bei)(bei)到20萬倍(bei)(bei)之間連續調節。

3、景深

景(jing)深是指透鏡對高低(di)不(bu)平的(de)樣品各部位能同時聚焦成像的(de)能力(li)范圍(wei)，這(zhe)個范圍(wei)用一段距離表示。

如果景深為Ds，只(zhi)要樣品表(biao)面(mian)(mian)高低范(fan)圍值小于(yu)(yu)(yu)Ds，則在熒光(guang)屏上就能清晰(xi)地反映(ying)出樣品的(de)表(biao)面(mian)(mian)形貌。正是由(you)于(yu)(yu)(yu)掃描電鏡景深大，特別(bie)適(shi)用(yong)于(yu)(yu)(yu)粗糙表(biao)面(mian)(mian)和斷口的(de)分析觀(guan)察；圖像富有立體感(gan)、真(zhen)實感(gan)、易(yi)于(yu)(yu)(yu)識別(bie)和解釋(shi)。