一、掃描電子顯微鏡主要成像信號有哪幾種

掃描電子顯微鏡（SEM）是一種介于透射電子顯微鏡和光學顯微鏡之間的一種觀察手段。其利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品，通過光束與物質間的相互作用，來激發各種物理信息，對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征的目的。那么你知道掃描電子顯微鏡主要(yao)成像信號有哪幾種嗎？

1、對于形貌成像：主要信號(hao)是二次電(dian)(dian)子，背(bei)散射電(dian)(dian)子也有使用(yong)。吸(xi)收(shou)電(dian)(dian)流成像，是比(bi)較特殊(shu)的應(ying)用(yong)，往往用(yong)于專門(men)材料(liao)檢測(ce)。

2、對于成分分布成像：背散射電子，陰(yin)極熒光(guang)，元素特(te)征X射線(xian)等(deng)。

二、掃描電鏡的主要參數有哪些

掃(sao)描電鏡主要參數：分辨率、放大倍數、景(jing)深。

1、分辨率

分(fen)辨率是掃(sao)描電鏡(jing)最主要的(de)性能(neng)(neng)指(zhi)標，對成像而(er)言，它(ta)是指(zhi)能(neng)(neng)分(fen)辨兩點之(zhi)間(jian)的(de)最小(xiao)距離；對微區成分(fen)分(fen)析而(er)言，它(ta)是指(zhi)能(neng)(neng)分(fen)析的(de)最小(xiao)區域。掃(sao)描電鏡(jing)的(de)分(fen)辨率通過(guo)測定圖像中兩個顆粒(或區域)間(jian)的(de)最小(xiao)距離來確定的(de)，測定的(de)方法是在(zai)(zai)已(yi)知(zhi)放大(da)倍數(shu)的(de)條件下，把在(zai)(zai)圖像上測到的(de)最小(xiao)間(jian)距除以(yi)放大(da)倍數(shu)所得數(shu)值就是分(fen)辨率。

2、放大倍數

當入射(she)電(dian)(dian)子束做光柵掃(sao)描時，若電(dian)(dian)子束在(zai)樣品表面(mian)掃(sao)描的幅度(du)為As，在(zai)顯光屏(ping)上陰極射(she)線同(tong)步(bu)掃(sao)描的幅度(du)為Ac，則放大(da)倍數可表示為M=Ac/As。

由于(yu)熒光屏的(de)尺寸是不變的(de)，因此，放大(da)倍(bei)數的(de)變化只要通過改(gai)變電子束在樣品表面的(de)掃(sao)描幅度As來實現(xian)。

目(mu)前商品化(hua)的掃(sao)面電鏡(jing)的放大倍數可以從20倍到20萬倍之間連續(xu)調節(jie)。

3、景深

景(jing)深是指(zhi)透鏡對高(gao)低不平的樣品(pin)各部位能(neng)同(tong)時聚焦成像(xiang)的能(neng)力范(fan)(fan)圍，這個范(fan)(fan)圍用一(yi)段距離表示。

如果景深(shen)為(wei)Ds，只要樣品(pin)表(biao)面高低范圍值小(xiao)于(yu)(yu)Ds，則在熒(ying)光屏上就能(neng)清晰地反映出(chu)樣品(pin)的(de)表(biao)面形貌(mao)。正是由于(yu)(yu)掃描(miao)電(dian)鏡(jing)景深(shen)大，特別(bie)適(shi)用(yong)于(yu)(yu)粗糙表(biao)面和斷口的(de)分析(xi)觀察；圖像富有立體(ti)感、真實感、易于(yu)(yu)識別(bie)和解(jie)釋。