一、探針的種類有哪些

在晶圓(yuan)或(huo)(huo)芯(xin)片(pian)(pian)測試的(de)過程中(zhong)，通常會使用探針來準確連(lian)接晶圓(yuan)或(huo)(huo)芯(xin)片(pian)(pian)的(de)引腳或(huo)(huo)錫球與測試機(ji)，以(yi)便檢(jian)測產品的(de)導通性、電(dian)流性、功能性和老化(hua)性等性能指(zhi)標(biao)。那么你知道探針的(de)種類有哪些嗎(ma)？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可(ke)彈(dan)性(xing)探針是(shi)一個由螺旋(xuan)彈(dan)簧(huang)組成的(de)(de)(de)探針，其兩(liang)端連接在上(shang)下柱栓上(shang)。螺旋(xuan)彈(dan)簧(huang)的(de)(de)(de)中間部分緊密纏繞在一起，以(yi)防止產生額(e)外的(de)(de)(de)電(dian)感(gan)和附件電(dian)阻。而彈(dan)簧(huang)的(de)(de)(de)兩(liang)端部分則被稀(xi)疏纏繞，以(yi)降低探針對被測試物(wu)體的(de)(de)(de)壓力(li)。在檢測集(ji)成電(dian)路(lu)時，信號會從下柱栓流向上(shang)方，形成導電(dian)路(lu)徑。

（2）懸臂式探針

懸(xuan)臂探針為探針部提供(gong)適當的縱向位移(yi)，用(yong)于通過橫向懸(xuan)臂接觸待測半導體產(chan)品(pin)，以避(bi)免探針部對待測半導體產(chan)品(pin)施加過大的針壓(ya)。

（3）垂直式探針

垂直探針可以對(dui)應高密度(du)信號觸(chu)點(dian)的待測(ce)半導體產(chan)品(pin)的細(xi)間距(ju)排列，針尖接(jie)觸(chu)待測(ce)半導體產(chan)品(pin)所需的縱向位移可以通過針體本(ben)身的彈性變(bian)形來(lai)提供(gong)。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁合金(jin)(jin)探(tan)針具(ju)有穩定的接觸電(dian)阻(zu)，兼顧硬度(du)和柔韌(ren)性，不(bu)易發生探(tan)針偏(pian)差。因此，鎢髁合金(jin)(jin)探(tan)針是目(mu)前性能良好(hao)的一種常見(jian)探(tan)針。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探針用(yong)于對測(ce)試頻率(lv)比(bi)較敏感的(de)測(ce)試環(huan)境；普通探針用(yong)于對信號衰(shuai)減不敏感的(de)測(ce)試環(huan)境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)料(liao)：選擇材(cai)質通常(chang)為(wei)316不(bu)(bu)銹鋼、金屬玻璃(li)、石英玻璃(li)、硅、玻璃(li)鋼等。不(bu)(bu)同(tong)材(cai)料(liao)的探針(zhen)具有不(bu)(bu)同(tong)的化(hua)學惰(duo)性(xing)和機(ji)械(xie)性(xing)能，對探測的液體和氣體有不(bu)(bu)同(tong)的適應(ying)性(xing)。

（2）形狀(zhuang)(zhuang)：選(xuan)擇探針的形狀(zhuang)(zhuang)應該根據實(shi)驗需(xu)求進行選(xuan)擇，通常探針的形狀(zhuang)(zhuang)為直棒(bang)狀(zhuang)(zhuang)、U形、Z形等。考慮到實(shi)驗的靈敏度(du)問題，在(zai)選(xuan)用(yong)探針時必(bi)須與被測(ce)物相匹配。

（3）長(chang)度(du)：探針的(de)長(chang)度(du)是下(xia)降液面幅度(du)的(de)關(guan)鍵因素。為獲得(de)準確的(de)下(xia)降水平，要根據實(shi)際測量需求選擇合適的(de)長(chang)度(du)。

（4）直徑(jing)：探(tan)針(zhen)的(de)(de)粗(cu)細通常采(cai)用(yong)0.5mm至5mm之間。過粗(cu)的(de)(de)探(tan)針(zhen)會影響測(ce)量的(de)(de)靈敏度，過細的(de)(de)探(tan)針(zhen)則(ze)可能會導致(zhi)探(tan)針(zhen)的(de)(de)折斷。

（5）表面(mian)處理：在(zai)實驗中(zhong)，探(tan)(tan)針處于(yu)探(tan)(tan)測的(de)介質中(zhong)，探(tan)(tan)針的(de)表面(mian)形態和(he)性質會直(zhi)接影響到測量(liang)結果。因此，探(tan)(tan)針的(de)表面(mian)要求經(jing)過光潔(jie)處理和(he)表面(mian)處理。

2、探針的要求

（1）質量(liang)問(wen)題(ti)：在使(shi)用過程中應定期進行質量(liang)檢查。探(tan)針(zhen)的質量(liang)差會(hui)導致測量(liang)誤(wu)差增大(da)，嚴(yan)重時可能(neng)會(hui)損壞(huai)實驗設備。

（2）加(jia)工工藝(yi)問題：在探(tan)針(zhen)的(de)(de)制作過程中，要保證(zheng)探(tan)針(zhen)的(de)(de)形狀、尺寸的(de)(de)精確與穩定(ding)。

（3）使(shi)用注意(yi)事項：避免在測(ce)量過程(cheng)中引入空氣，勿使(shi)用有陷進、連續的(de)探(tan)針(zhen)以免擾動(dong)測(ce)量，對于使(shi)用多個探(tan)針(zhen)進行測(ce)量的(de)情況要確保探(tan)針(zhen)之間的(de)長度和(he)間距足夠(gou)。

（4）存(cun)儲和保養問(wen)題(ti)：盡可能地(di)保證存(cun)儲環(huan)境無除(chu)塵、避光性好(hao)；探針(zhen)表面(mian)不能有刮傷等損壞，使用前應清(qing)洗干凈且消毒處理。