一、探針的種類有哪些

在晶(jing)(jing)圓(yuan)或芯片測試的(de)(de)過(guo)程中，通常會使用探(tan)針來準(zhun)確連接晶(jing)(jing)圓(yuan)或芯片的(de)(de)引(yin)腳或錫球與測試機，以便檢測產(chan)品的(de)(de)導通性(xing)(xing)、電(dian)流性(xing)(xing)、功能(neng)性(xing)(xing)和老化性(xing)(xing)等性(xing)(xing)能(neng)指(zhi)標。那(nei)么(me)你知道探(tan)針的(de)(de)種類(lei)有(you)哪(na)些(xie)嗎(ma)？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈(dan)(dan)性探(tan)針(zhen)是一(yi)(yi)個由螺(luo)旋(xuan)(xuan)彈(dan)(dan)簧組(zu)成的探(tan)針(zhen)，其兩端(duan)連接在(zai)上下柱栓(shuan)上。螺(luo)旋(xuan)(xuan)彈(dan)(dan)簧的中間部(bu)分緊密纏繞(rao)在(zai)一(yi)(yi)起，以防止產生額外的電(dian)(dian)感和附件電(dian)(dian)阻(zu)。而彈(dan)(dan)簧的兩端(duan)部(bu)分則被稀疏纏繞(rao)，以降(jiang)低探(tan)針(zhen)對(dui)被測試物體的壓力。在(zai)檢測集(ji)成電(dian)(dian)路時，信號會從下柱栓(shuan)流向上方，形成導電(dian)(dian)路徑。

（2）懸臂式探針

懸(xuan)臂探(tan)(tan)針為探(tan)(tan)針部(bu)提供適(shi)當的縱向位移(yi)，用于(yu)通過橫向懸(xuan)臂接觸待測(ce)半導體(ti)產品，以避免探(tan)(tan)針部(bu)對待測(ce)半導體(ti)產品施加過大的針壓(ya)。

（3）垂直式探針

垂直探針(zhen)可(ke)以對應高密度(du)信(xin)號觸(chu)點的(de)待(dai)測半(ban)(ban)導體(ti)產品的(de)細間距排列，針(zhen)尖(jian)接觸(chu)待(dai)測半(ban)(ban)導體(ti)產品所需的(de)縱向位移可(ke)以通(tong)過針(zhen)體(ti)本身的(de)彈性變形來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁(ke)合金(jin)探(tan)針具有穩定的(de)接觸電(dian)阻，兼顧硬度和柔韌性(xing)，不易發生探(tan)針偏差。因此，鎢髁(ke)合金(jin)探(tan)針是(shi)目前性(xing)能(neng)良好的(de)一種常見探(tan)針。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探(tan)針(zhen)用(yong)于對(dui)測試頻率比較敏感的測試環(huan)境；普通探(tan)針(zhen)用(yong)于對(dui)信號衰減不敏感的測試環(huan)境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料：選(xuan)擇材質通常為316不銹鋼、金屬玻(bo)璃(li)、石英玻(bo)璃(li)、硅(gui)、玻(bo)璃(li)鋼等(deng)。不同(tong)材料的(de)探針具有(you)不同(tong)的(de)化學(xue)惰(duo)性(xing)和機(ji)械(xie)性(xing)能，對探測的(de)液體和氣體有(you)不同(tong)的(de)適應性(xing)。

（2）形(xing)狀：選(xuan)(xuan)擇(ze)探針的(de)形(xing)狀應該根據實驗需求進(jin)行選(xuan)(xuan)擇(ze)，通常(chang)探針的(de)形(xing)狀為直棒狀、U形(xing)、Z形(xing)等。考慮到實驗的(de)靈敏度問(wen)題(ti)，在(zai)選(xuan)(xuan)用探針時必須與(yu)被測物(wu)相匹配。

（3）長度(du)(du)(du)：探針的長度(du)(du)(du)是下(xia)降液面幅度(du)(du)(du)的關鍵因素。為獲得準確的下(xia)降水平，要根據實際(ji)測量需求選(xuan)擇合(he)適的長度(du)(du)(du)。

（4）直徑：探(tan)針的(de)(de)(de)粗細通常采用0.5mm至5mm之間。過粗的(de)(de)(de)探(tan)針會(hui)影響(xiang)測量的(de)(de)(de)靈敏(min)度(du)，過細的(de)(de)(de)探(tan)針則可(ke)能會(hui)導致探(tan)針的(de)(de)(de)折斷。

（5）表面(mian)處(chu)理：在實驗中，探(tan)針處(chu)于探(tan)測的(de)介質中，探(tan)針的(de)表面(mian)形態和(he)(he)性(xing)質會直(zhi)接影響到測量(liang)結果。因此，探(tan)針的(de)表面(mian)要求經過光(guang)潔處(chu)理和(he)(he)表面(mian)處(chu)理。

2、探針的要求

（1）質量(liang)問題(ti)：在使(shi)用過程(cheng)中應定期進行質量(liang)檢查。探針(zhen)的質量(liang)差會(hui)導致測量(liang)誤差增(zeng)大，嚴重時可能會(hui)損壞實驗設備。

（2）加工工藝問題(ti)：在探(tan)針的制(zhi)作過程(cheng)中，要保證探(tan)針的形狀、尺寸的精確與(yu)穩(wen)定。

（3）使用注意事項：避(bi)免(mian)在測(ce)量(liang)(liang)過程(cheng)中引入空氣(qi)，勿使用有陷進、連續的(de)探針以(yi)免(mian)擾動(dong)測(ce)量(liang)(liang)，對于使用多個(ge)探針進行測(ce)量(liang)(liang)的(de)情(qing)況要確保探針之間(jian)(jian)的(de)長(chang)度和(he)間(jian)(jian)距(ju)足夠。

（4）存儲和保養問題：盡可能地保證存儲環境無除塵、避光性好；探針表面不能有刮傷等損壞(huai)，使用前應清(qing)洗干(gan)凈且(qie)消毒處理。