一、半導體設備檢修工具有哪些

半(ban)導(dao)體設(she)備是(shi)一種高精(jing)度的機(ji)器(qi)，在現(xian)代化工(gong)業發(fa)展(zhan)過程(cheng)中，流水線的生產操(cao)作(zuo)對于半(ban)導(dao)體設(she)備要求較(jiao)(jiao)高，一旦出現(xian)故障會直接(jie)影響整個企(qi)業的生產進程(cheng)，因此需(xu)要定(ding)期進行(xing)維修保養，防(fang)止(zhi)出現(xian)故障發(fa)生導(dao)致停產，對企(qi)業造成(cheng)較(jiao)(jiao)為(wei)嚴重的經濟(ji)損失，半(ban)導(dao)體設(she)備檢修可以用到哪些(xie)工(gong)具？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受到振(zhen)動和沖擊(ji)，同時保護地面不受損傷，可以實(shi)現精(jing)確的位置控制，保質(zhi)期四年(nian)。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪式(shi)千斤頂(ding)可以實現(xian)前后100mm水平移(yi)動(dong)，頂(ding)升平穩無晃動(dong)，可以實現(xian)高(gao)精度的升降和定位控(kong)制，可定制無塵(chen)型。

3、楔形千斤頂

楔形千斤頂只需(xu)5mm的(de)縫(feng)隙，楔頭(tou)即可插入起升至(zhi)34mm的(de)高度(du)，手(shou)柄可以360度(du)旋轉，能(neng)用于狹窄空間。

4、滑動紙

滑動(dong)紙人力即可(ke)(ke)推動(dong)1至9噸的(de)重物，調整范圍為1cm-5cm，半導(dao)體設備檢修結束(shu)后抬起約1mm的(de)高度即可(ke)(ke)拉出(chu)滑動(dong)紙，操作簡單，輕松(song)便攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半(ban)導體設備出現故障后(hou)，先做(zuo)好(hao)總體分析，然后(hou)仔細檢查故障問題。

1、首先，檢查(cha)半(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)(bei)周(zhou)圍的(de)冷凍(dong)機、真空壓(ya)縮機、變壓(ya)器等是否運行正(zheng)常，如果這些設(she)(she)備(bei)(bei)都正(zheng)常，再排(pai)查(cha)和(he)檢查(cha)半(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)(bei)主體(ti)(ti)(ti)，檢修人(ren)員(yuan)貿然拆解半(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)(bei)會(hui)(hui)損壞(huai)元(yuan)器件，重復的(de)返工會(hui)(hui)浪費大量物力、人(ren)力和(he)財力。

2、其(qi)次，全(quan)面了解(jie)半(ban)(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)情況，確(que)定(ding)半(ban)(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)故(gu)障范(fan)圍，有針(zhen)對性地采用檢(jian)(jian)修方(fang)法，半(ban)(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)包(bao)括附加部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)(fen)、傳(chuan)送(song)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)(fen)、動力部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)(fen)、控制(zhi)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)(fen)等，控制(zhi)部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)(fen)是半(ban)(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)中最(zui)精密的部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)(fen)，應重點(dian)檢(jian)(jian)查(cha)這個部(bu)(bu)(bu)分(fen)(fen)(fen)(fen)，逐(zhu)一排查(cha)電(dian)路板模塊，反(fan)復進行對比分(fen)(fen)(fen)(fen)析，仔細檢(jian)(jian)查(cha)半(ban)(ban)(ban)導(dao)體(ti)(ti)設(she)(she)備(bei)故(gu)障位置。

3、最后，仔細(xi)清理半導(dao)體(ti)設備灰(hui)塵，檢查各(ge)個板(ban)件的焊接(jie)和線(xian)路(lu)連(lian)接(jie)，很多半導(dao)體(ti)設備在長時間使用(yong)過程中接(jie)口和插頭容易堆積大量灰(hui)塵導(dao)致(zhi)漏電事故，線(xian)路(lu)板(ban)發生氧化形(xing)成(cheng)虛焊，對于這些(xie)問題，檢修(xiu)人員應積極進(jin)行檢修(xiu)維(wei)護。