一、半導體設備檢修工具有哪些

半導(dao)(dao)體設(she)備(bei)是一種高精度的(de)(de)(de)機器，在現(xian)(xian)代化工(gong)業(ye)發展(zhan)過程中，流水線的(de)(de)(de)生(sheng)產操(cao)作對于半導(dao)(dao)體設(she)備(bei)要求較高，一旦出(chu)現(xian)(xian)故障會直(zhi)接影響整個(ge)企(qi)業(ye)的(de)(de)(de)生(sheng)產進程，因此需要定期進行維修保養，防止出(chu)現(xian)(xian)故障發生(sheng)導(dao)(dao)致停(ting)產，對企(qi)業(ye)造成較為(wei)嚴重的(de)(de)(de)經濟損失，半導(dao)(dao)體設(she)備(bei)檢修可以用到哪些工(gong)具(ju)？

1、氣浮搬運平臺

氣浮搬運平臺利用空氣懸浮在地面上，與地面不接觸，防止半導體設備受(shou)到振(zhen)動和沖(chong)擊，同時保護地面不受(shou)損傷，可以實現精確的位置控制，保質期四年。

2、帶滑臺爪式千斤頂

帶滑臺爪式千斤頂(ding)可(ke)以實(shi)現(xian)前(qian)后(hou)100mm水平移(yi)動，頂(ding)升平穩無(wu)晃動，可(ke)以實(shi)現(xian)高(gao)精(jing)度的(de)升降(jiang)和定(ding)位(wei)控制(zhi)，可(ke)定(ding)制(zhi)無(wu)塵型。

3、楔形千斤頂

楔形(xing)千斤頂只需5mm的(de)縫(feng)隙，楔頭即可插(cha)入起(qi)升(sheng)至34mm的(de)高度，手柄(bing)可以360度旋轉(zhuan)，能用于狹(xia)窄空間。

4、滑動紙

滑(hua)動(dong)(dong)紙人力(li)即可推動(dong)(dong)1至9噸的重(zhong)物，調(diao)整(zheng)范圍為1cm-5cm，半導體設(she)備檢修結(jie)束后(hou)抬起約1mm的高度即可拉出滑(hua)動(dong)(dong)紙，操作(zuo)簡(jian)單，輕松便攜。

二、半導體設備檢修流程介紹

半導體設備(bei)出現故障(zhang)后(hou)，先做好總體分(fen)析(xi)，然(ran)后(hou)仔細檢查故障(zhang)問題。

1、首(shou)先(xian)，檢(jian)查半導(dao)體設(she)備(bei)周圍的冷(leng)凍機(ji)、真空壓縮機(ji)、變(bian)壓器等是否(fou)運行正常，如果這些設(she)備(bei)都正常，再(zai)排查和(he)檢(jian)查半導(dao)體設(she)備(bei)主體，檢(jian)修人員貿然拆解半導(dao)體設(she)備(bei)會損壞(huai)元器件(jian)，重復的返工會浪(lang)費大(da)量(liang)物(wu)力、人力和(he)財力。

2、其(qi)次，全(quan)面了(le)解(jie)半(ban)導(dao)(dao)體設(she)(she)備(bei)情(qing)況，確定(ding)半(ban)導(dao)(dao)體設(she)(she)備(bei)故障(zhang)范圍(wei)，有針(zhen)對性地采用檢修(xiu)方法(fa)，半(ban)導(dao)(dao)體設(she)(she)備(bei)包括附加部(bu)分(fen)、傳送部(bu)分(fen)、動(dong)力(li)部(bu)分(fen)、控制部(bu)分(fen)等，控制部(bu)分(fen)是半(ban)導(dao)(dao)體設(she)(she)備(bei)中最精(jing)密(mi)的部(bu)分(fen)，應(ying)重點檢查這個部(bu)分(fen)，逐一排查電(dian)路板(ban)模塊，反復進行對比分(fen)析，仔細檢查半(ban)導(dao)(dao)體設(she)(she)備(bei)故障(zhang)位置。

3、最后，仔(zi)細清理半導體設(she)備灰(hui)塵(chen)，檢(jian)查各個板件的焊接(jie)(jie)和線路連接(jie)(jie)，很多半導體設(she)備在長時間使用過(guo)程中接(jie)(jie)口和插頭容易堆積大量灰(hui)塵(chen)導致(zhi)漏電事(shi)故，線路板發生氧化形成虛焊，對于這些問(wen)題，檢(jian)修人員應積極進(jin)行檢(jian)修維護。