水準儀是在17～18世紀發明了望遠鏡和水準器后出現的。20世紀初，在制出內調焦望遠鏡和符合水準器的基礎上生產出微傾水準儀。20世紀50年代初出現了自動安平水準儀；60年代研制出激光水準儀；90年代出現電子水準儀或數字水準儀。水(shui)準儀(yi)是(shi)建立水平(ping)視線測定地(di)面兩點間高(gao)差的儀器。原理為(wei)根據(ju)水準(zhun)測量原理測量地(di)面點間高(gao)差。主(zhu)要部件(jian)有望(wang)遠鏡、管水準(zhun)器（或(huo)補償器）、垂直軸、基座、腳螺旋(xuan)。按(an)結構(gou)分(fen)為微(wei)傾水(shui)(shui)(shui)準(zhun)(zhun)儀(yi)(yi)、自動安平水(shui)(shui)(shui)準(zhun)(zhun)儀(yi)(yi)、激光水(shui)(shui)(shui)準(zhun)(zhun)儀(yi)(yi)和數(shu)字水(shui)(shui)(shui)準(zhun)(zhun)儀(yi)(yi)（又稱電子水(shui)(shui)(shui)準(zhun)(zhun)儀(yi)(yi)）。按(an)精度分(fen)為精密(mi)水(shui)(shui)(shui)準(zhun)(zhun)儀(yi)(yi)和普通水(shui)(shui)(shui)準(zhun)(zhun)儀(yi)(yi)。

使用水準儀時，在未知兩點間，擺開(kai)三(san)(san)腳架(jia)，從儀(yi)器箱取出水(shui)準儀(yi)安放在(zai)三(san)(san)腳架(jia)上，利(li)用三(san)(san)個機座螺(luo)絲調(diao)平(ping)(ping)，使圓氣泡居中，跟著調(diao)平(ping)(ping)管水(shui)準器。水(shui)平(ping)(ping)制(zhi)動手輪(lun)是(shi)調(diao)平(ping)(ping)的，在(zai)水(shui)平(ping)(ping)鏡內通過(guo)三(san)(san)角(jiao)棱鏡(jing)(jing)反射，水平重合，就是水平。將望遠鏡(jing)(jing)對(dui)準未(wei)知點(dian)上(shang)的塔尺，再次(ci)調平管(guan)水平器重合，讀(du)出(chu)塔尺的讀(du)數（后視），把望遠鏡(jing)(jing)旋轉到未(wei)知點(dian)的(de)塔尺，調整管(guan)水平器，讀出(chu)塔尺的(de)讀數（前(qian)視），記(ji)到記(ji)錄本上。