1、根(gen)據不同材質劃分
(1)金屬靶材
鎳(nie)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ni、鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ti、鋅(xin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Zn、鉻靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Cr、鎂靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Mg、鈮靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Nb、錫靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Sn、鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Al、銦靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)In、鐵(tie)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Fe、鋯(gao)鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)ZrAl、鈦(tai)鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)TiAl、鋯(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Zr、鋁(lv)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)AlSi、硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Si、銅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Cu、鉭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ta、鍺靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ge、銀(yin)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ag、鈷(gu)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Co、金靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Au、釓靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Gd、鑭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)La、釔(yi)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Y、鈰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Ce、不(bu)銹鋼靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鎳(nie)鉻靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)NiCr、鉿靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Hf、鉬靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)Mo、鐵(tie)鎳(nie)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)FeNi、鎢靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、W等。
(2)陶瓷靶材
ITO靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎂(mei)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鐵靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、碳化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鉻(ge)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硫(liu)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、一(yi)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈰(shi)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、五(wu)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)鈮靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、二(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba),、二(er)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鉿靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba),二(er)硼(peng)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba),二(er)硼(peng)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋯(gao)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba),三氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎢靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba),三氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)五(wu)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)鉭,五(wu)氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)二(er)鈮靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎂(mei)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氟化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)釔(yi)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、硒化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋅靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba),氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba),氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硼(peng)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba),氮(dan)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鈦(tai)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba),碳化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)硅(gui)靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba),鈮酸鋰靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)酸鐠靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)酸鋇靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、鈦(tai)酸鑭靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、氧(yang)(yang)(yang)化(hua)(hua)(hua)(hua)(hua)鎳靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)、濺射靶(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)(ba)材等。
(3)合金靶材
鐵鈷靶(ba)FeCo、鋁硅(gui)(gui)靶(ba)AlSi、鈦(tai)硅(gui)(gui)靶(ba)TiSi、鉻硅(gui)(gui)靶(ba)CrSi、鋅鋁靶(ba)ZnAl、鈦(tai)鋅靶(ba)材TiZn、鈦(tai)鋁靶(ba)TiAl、鈦(tai)鋯靶(ba)TiZr、鈦(tai)硅(gui)(gui)靶(ba)TiSi、鈦(tai)鎳(nie)靶(ba)TiNi、鎳(nie)鉻靶(ba)NiCr、鎳(nie)鋁靶(ba)NiAl、鎳(nie)釩靶(ba)NiV、鎳(nie)鐵靶(ba)NiFe等。
2、根據不同應(ying)用方向劃分
(1)半導體(ti)關聯靶材(cai)
電(dian)極(ji)、布(bu)線薄膜:鋁(lv)靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai),銅靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai),金靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai),銀靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai),鈀靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai),鉑靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai),鋁(lv)硅(gui)合金靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai),鋁(lv)硅(gui)銅合金靶(ba)(ba)(ba)(ba)材(cai)等。
儲存(cun)器電(dian)極(ji)薄膜:鉬靶材(cai)(cai),鎢靶材(cai)(cai),鈦(tai)靶材(cai)(cai)等。
粘附薄膜(mo):鎢靶材,鈦靶材等。
電容器絕緣膜薄膜:鋯鈦酸(suan)鉛(qian)靶(ba)材等。
(2)磁記錄靶材
垂(chui)直(zhi)磁記錄薄膜:鈷鉻合金靶材(cai)等。
硬盤(pan)用(yong)薄膜:鈷鉻(ge)(ge)鉭合金(jin)靶(ba)材(cai),鈷鉻(ge)(ge)鉑(bo)合金(jin)靶(ba)材(cai),鈷鉻(ge)(ge)鉭鉑(bo)合金(jin)靶(ba)材(cai)等。
薄膜磁頭:鈷鉭鉻合金靶材(cai)(cai),鈷鉻鋯合金靶材(cai)(cai)等。
人工晶體薄膜:鈷(gu)鉑(bo)合(he)金靶材,鈷(gu)鈀合(he)金靶材等。
(3)光記錄靶(ba)材(cai)
相(xiang)變(bian)光(guang)盤記錄薄(bo)膜:硒(xi)化碲(di)靶材(cai)(cai),硒(xi)化銻靶材(cai)(cai),鍺銻碲(di)合金靶材(cai)(cai),鍺碲(di)合金靶材(cai)(cai)等(deng)。
磁光盤記(ji)錄薄膜:鏑(di)鐵鈷(gu)合金(jin)靶(ba)(ba)材(cai)(cai),鋱鏑(di)鐵合金(jin)靶(ba)(ba)材(cai)(cai),鋱鐵鈷(gu)合金(jin)靶(ba)(ba)材(cai)(cai),氧化鋁靶(ba)(ba)材(cai)(cai),氧化鎂靶(ba)(ba)材(cai)(cai),氮化硅靶(ba)(ba)材(cai)(cai)等。