一、什么是探針臺

探針(zhen)(zhen)臺(tai)（Probe Station）是一種用于對半導體器件(jian)進行電(dian)(dian)性能(neng)測試(shi)的重要設備(bei)。它通(tong)常由精密的機械結(jie)構、高(gao)性能(neng)的探針(zhen)(zhen)針(zhen)(zhen)頭(tou)和(he)電(dian)(dian)性能(neng)測試(shi)儀器組成(cheng)。探針(zhen)(zhen)臺(tai)可以對半導體芯片、集成(cheng)電(dian)(dian)路(lu)和(he)其他微電(dian)(dian)子器件(jian)進行直接的電(dian)(dian)性能(neng)測試(shi)，從而為(wei)研究和(he)生產提供有價值(zhi)的信息。

二、探針臺的分類有哪些

一般(ban)根據(ju)用(yong)戶測試(shi)樣品(pin)、測試(shi)環(huan)境、應(ying)用(yong)類(lei)別(bie)、產品(pin)級(ji)別(bie)以(yi)及操作方式(shi)分(fen)類(lei)，如下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶圓測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺、LED測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺、功率(lv)(lv)器件(jian)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺、MEMS測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺、PCB測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺、液晶面(mian)板測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺、太陽(yang)能電池片測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺、材料表面(mian)電阻率(lv)(lv)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺、納米器件(jian)測(ce)(ce)(ce)試(shi)(shi)探(tan)(tan)(tan)針(zhen)臺。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)(gao)頻、射頻及微波測(ce)試(shi)(shi)探針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、高(gao)(gao)/低(di)(di)溫環(huan)境(jing)測(ce)試(shi)(shi)探針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、高(gao)(gao)/低(di)(di)溫真(zhen)(zhen)空(kong)環(huan)境(jing)測(ce)試(shi)(shi)探針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、低(di)(di)電(dian)流（fA級）測(ce)試(shi)(shi)探針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)試(shi)(shi)探針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、高(gao)(gao)壓、大電(dian)流測(ce)試(shi)(shi)探針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、特殊氣體環(huan)境(jing)測(ce)試(shi)(shi)探針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、磁場(chang)環(huan)境(jing)測(ce)試(shi)(shi)探針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、雙面點針(zhen)(zhen)測(ce)試(shi)(shi)探針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、全(quan)封(feng)閉式探針(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)（非真(zhen)(zhen)空(kong)環(huan)境(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡(jian)易型(xing)探針(zhen)臺(tai)、標準型(xing)探針(zhen)臺(tai)、分(fen)析型(xing)探針(zhen)臺(tai)、高端型(xing)探針(zhen)臺(tai)。

4、按操作方式可分為：手動(dong)型、半自動(dong)型、全自動(dong)型。

5、按特殊應用測試分為：非標準(zhun)類結構測試探針臺(tai)。