一、全自動探針臺主要由什么組成
全自動探(tan)(tan)針臺是一種(zhong)用于(yu)半導體行(xing)業(ye)的(de)重要(yao)設備,主要(yao)用于(yu)在制造集(ji)成電(dian)路(lu)的(de)過程(cheng)中(zhong)對芯片進(jin)(jin)行(xing)測試(shi)和驗證。探(tan)(tan)針是用來與芯片上(shang)的(de)接觸(chu)(chu)點進(jin)(jin)行(xing)接觸(chu)(chu)并測試(shi)其性(xing)能的(de)工具,而探(tan)(tan)針臺則是用于(yu)控(kong)制探(tan)(tan)針的(de)精確位(wei)置和操作,以及進(jin)(jin)行(xing)數據采集(ji)和處理的(de)重要(yao)設備。
全自動探針臺的結構包括以(yi)下幾(ji)個主要部分:
1、機械系統:機(ji)械系(xi)統是核心部分,它包括一(yi)個(ge)精密的XYZ坐(zuo)標(biao)(biao)系(xi),用于控制(zhi)探針(zhen)(zhen)的移動。這個(ge)坐(zuo)標(biao)(biao)系(xi)通常由(you)高精度的直線導軌(gui)、伺(si)服(fu)電機(ji)和光學(xue)編碼器組(zu)成。此外,機(ji)械系(xi)統還包括一(yi)個(ge)可以容納多(duo)個(ge)探針(zhen)(zhen)的探針(zhen)(zhen)座,以及一(yi)個(ge)可以自動更(geng)換探針(zhen)(zhen)的裝置。
2、光學系統:光學系統是重要部(bu)分之一,它包(bao)括一個高精度的(de)顯(xian)微(wei)鏡和一組用于照明和觀(guan)察(cha)芯片的(de)鏡頭。通過光學系統,操作者可以清晰地(di)觀(guan)察(cha)到芯片上的(de)接觸點,并將探針準確地(di)放(fang)置在接觸點上。
3、電氣系統:電(dian)氣系(xi)統(tong)(tong)是控制中(zhong)心,它包括一(yi)個(ge)主控制器、一(yi)個(ge)電(dian)源和(he)一(yi)個(ge)與計算機(ji)連接(jie)的(de)數據接(jie)口。主控制器用于控制機(ji)械系(xi)統(tong)(tong)和(he)光(guang)學系(xi)統(tong)(tong)的(de)操(cao)作,電(dian)源用于提供(gong)能(neng)量,而數據接(jie)口則用于將測試數據傳輸(shu)到計算機(ji)中(zhong)進行處理和(he)分析。
4、軟件系統:軟件系(xi)統(tong)是關鍵部分(fen)之一,它(ta)控制著整個測試(shi)過程,包括(kuo)探針的(de)移動、測試(shi)信(xin)號的(de)施加和測量、以及數(shu)據的(de)采(cai)集和處理等。軟件系(xi)統(tong)通(tong)常采(cai)用圖形用戶界面(GUI)來(lai)方便操(cao)作者進行操(cao)作和監控。
二、國產與進口全自動探針臺區別介紹
在選(xuan)購(gou)全自動(dong)探針臺時,很多人會糾結(jie)是買進口(kou)的還(huan)是國產的,想知(zhi)道國產與進口(kou)全自動(dong)探針臺區(qu)別有哪(na)些?
1、探針數量
國產和進口(kou)全自動(dong)探針(zhen)臺(tai)的(de)主要區別在(zai)于探針(zhen)數量的(de)不同。國產全自動(dong)探針(zhen)臺(tai)采(cai)用(yong)的(de)是單探針(zhen)或雙(shuang)探針(zhen)設計,而(er)進口(kou)全自動(dong)探針(zhen)臺(tai)則(ze)一般配(pei)備三(san)至六個(ge)探針(zhen)。
2、精度
在精(jing)度方面,進(jin)口全(quan)自動(dong)(dong)探(tan)針(zhen)臺(tai)通常(chang)比國產(chan)探(tan)針(zhen)臺(tai)更精(jing)確(que)。這(zhe)是因為許多(duo)進(jin)口探(tan)針(zhen)臺(tai)采用(yong)了先(xian)進(jin)的微機控(kong)制系統和(he)高精(jing)度傳動(dong)(dong)系統,具備更高的測量精(jing)度和(he)可重復性。
3、使用壽命
進口全自(zi)動探(tan)針臺(tai)通(tong)常采用(yong)的(de)是優(you)質(zhi)材(cai)料和(he)制(zhi)造(zao)工藝,具有更長的(de)使用(yong)壽(shou)(shou)命和(he)更好的(de)穩定(ding)性。而國(guo)產探(tan)針臺(tai)由于(yu)材(cai)料和(he)制(zhi)造(zao)工藝的(de)限(xian)制(zhi),使用(yong)壽(shou)(shou)命和(he)穩定(ding)性方面(mian)可能存(cun)在一定(ding)的(de)差(cha)距。