一、什么是探針臺

探針(zhen)(zhen)臺（Probe Station）是(shi)一種用于對(dui)半導體器件(jian)進行(xing)電(dian)(dian)(dian)性(xing)(xing)能(neng)測試(shi)的(de)重要設備。它通常由精密(mi)的(de)機(ji)械結構(gou)、高性(xing)(xing)能(neng)的(de)探針(zhen)(zhen)針(zhen)(zhen)頭和電(dian)(dian)(dian)性(xing)(xing)能(neng)測試(shi)儀器組成。探針(zhen)(zhen)臺可以(yi)對(dui)半導體芯(xin)片、集成電(dian)(dian)(dian)路和其他微(wei)電(dian)(dian)(dian)子器件(jian)進行(xing)直接(jie)的(de)電(dian)(dian)(dian)性(xing)(xing)能(neng)測試(shi)，從而(er)為研究和生產提供(gong)有價值的(de)信息。

二、探針臺的分類有哪些

一般(ban)根據用戶測試樣(yang)品、測試環境、應用類(lei)別(bie)、產(chan)品級別(bie)以及操作方式分(fen)類(lei)，如下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶(jing)圓測試(shi)(shi)探(tan)(tan)針臺(tai)(tai)、LED測試(shi)(shi)探(tan)(tan)針臺(tai)(tai)、功率(lv)器(qi)(qi)件測試(shi)(shi)探(tan)(tan)針臺(tai)(tai)、MEMS測試(shi)(shi)探(tan)(tan)針臺(tai)(tai)、PCB測試(shi)(shi)探(tan)(tan)針臺(tai)(tai)、液晶(jing)面(mian)(mian)板測試(shi)(shi)探(tan)(tan)針臺(tai)(tai)、太陽(yang)能電(dian)池片測試(shi)(shi)探(tan)(tan)針臺(tai)(tai)、材料(liao)表面(mian)(mian)電(dian)阻率(lv)測試(shi)(shi)探(tan)(tan)針臺(tai)(tai)、納米器(qi)(qi)件測試(shi)(shi)探(tan)(tan)針臺(tai)(tai)。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高(gao)(gao)(gao)頻、射頻及微波測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)、高(gao)(gao)(gao)/低溫(wen)環(huan)(huan)境(jing)(jing)(jing)測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)、高(gao)(gao)(gao)/低溫(wen)真(zhen)空環(huan)(huan)境(jing)(jing)(jing)測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)、低電流(liu)（fA級）測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)、高(gao)(gao)(gao)壓、大電流(liu)測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)、特殊(shu)氣體(ti)環(huan)(huan)境(jing)(jing)(jing)測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)、磁場環(huan)(huan)境(jing)(jing)(jing)測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)、雙(shuang)面點針(zhen)(zhen)測(ce)(ce)試(shi)探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)、全封閉式探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)臺(tai)（非(fei)真(zhen)空環(huan)(huan)境(jing)(jing)(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡易型(xing)探(tan)針臺(tai)、標準型(xing)探(tan)針臺(tai)、分析型(xing)探(tan)針臺(tai)、高端(duan)型(xing)探(tan)針臺(tai)。

4、按操作方式可分為：手動(dong)型(xing)、半自動(dong)型(xing)、全自動(dong)型(xing)。

5、按特殊應用測試分為：非標準類結構測試探針臺(tai)。