一、什么是探針臺

探針臺(tai)(tai)（Probe Station）是一種用于對半導體器(qi)(qi)件進(jin)行(xing)電(dian)性能(neng)(neng)(neng)測試的(de)重要設備。它通(tong)常由(you)精密的(de)機(ji)械結構、高性能(neng)(neng)(neng)的(de)探針針頭和(he)電(dian)性能(neng)(neng)(neng)測試儀器(qi)(qi)組成(cheng)。探針臺(tai)(tai)可以(yi)對半導體芯片(pian)、集成(cheng)電(dian)路和(he)其(qi)他微(wei)電(dian)子器(qi)(qi)件進(jin)行(xing)直接(jie)的(de)電(dian)性能(neng)(neng)(neng)測試，從而為研究和(he)生產提供有價值的(de)信(xin)息。

二、探針臺的分類有哪些

一般根據(ju)用(yong)戶測(ce)試樣品、測(ce)試環境、應(ying)用(yong)類(lei)別、產品級別以及操作方式分類(lei)，如(ru)下：

1、按測試樣品分類，可分為：晶圓測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、LED測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、功率器件測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、MEMS測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、PCB測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、液(ye)晶面板測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、太陽能電(dian)池(chi)片(pian)測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、材(cai)料表(biao)面電(dian)阻率測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺、納米器件測(ce)試(shi)(shi)(shi)探(tan)(tan)針(zhen)臺。

2、按應用及測試環境分類，可分為：高頻(pin)、射頻(pin)及微波(bo)測(ce)試探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、高/低(di)溫環境(jing)測(ce)試探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、高/低(di)溫真空環境(jing)測(ce)試探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、低(di)電流（fA級）測(ce)試探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、IC/IV/p-IV測(ce)試探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、高壓、大電流測(ce)試探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、特殊氣體環境(jing)測(ce)試探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、磁場環境(jing)測(ce)試探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、雙(shuang)面點針(zhen)(zhen)(zhen)測(ce)試探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)、全封閉(bi)式探(tan)(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)臺(tai)(tai)（非真空環境(jing)）。

3、按級別分類可分為：簡易型(xing)(xing)探針臺(tai)、標準型(xing)(xing)探針臺(tai)、分析型(xing)(xing)探針臺(tai)、高端型(xing)(xing)探針臺(tai)。

4、按操作方式可分為：手動(dong)型(xing)(xing)(xing)、半自(zi)動(dong)型(xing)(xing)(xing)、全自(zi)動(dong)型(xing)(xing)(xing)。

5、按特殊應用測試分為：非(fei)標準類結構測試探針臺(tai)。