一、光柵尺的測量精度是什么

光柵尺的測量精度指在任意一米長的測量范圍內，測量曲線上的極限值±F不超過(guo)精度等級(ji)±a，也就是光(guang)(guang)柵尺的(de)測量(liang)結(jie)(jie)果(guo)(guo)與實(shi)際(ji)值(zhi)(zhi)之間(jian)的(de)差距(ju)小于所標稱的(de)值(zhi)(zhi)，如有(you)效測量(liang)范圍2040mm，精度3um的(de)光(guang)(guang)柵尺，任意一米范圍內的(de)測量(liang)結(jie)(jie)果(guo)(guo)與實(shi)際(ji)值(zhi)(zhi)的(de)差距(ju)小于±3um，注意，不是±1.5um。

二、光柵尺的分辨率是什么意思

分辨率是(shi)在顯(xian)示設備上（如數顯(xian)表(biao)、數控(kong)系(xi)統(tong)），其數值累加的(de)最小單位。光(guang)柵尺的(de)分辨率與信號(hao)類型有關(guan)，如1Vpp正弦波信號(hao)可以任意倍(bei)頻，所以1Vpp信號(hao)的(de)光(guang)柵尺其分辨率由接收端(duan)的(de)設備（如數顯(xian)表(biao)或數控(kong)系(xi)統(tong)）確定(ding)，光(guang)柵尺信號(hao)周(zhou)期20um，20倍(bei)頻后是(shi)0.001mm，如果200倍(bei)頻后分辨率就是(shi)0.0001mm。

三、光柵尺精度和分辨率區別

對于傳感器的(de)分(fen)辨(bian)率與(yu)精度的(de)理解(jie)，可以拿千分(fen)尺(chi)為(wei)例(li)，分(fen)辨(bian)率代表千分(fen)尺(chi)，最多(duo)可以讀到小數(shu)點后幾位，但精度還與(yu)尺(chi)子的(de)加工(gong)精度，測量方(fang)法有關系。同樣的(de)，在光柵尺(chi)的(de)使用(yong)中，分(fen)辨(bian)率與(yu)精度是完全(quan)不同的(de)兩個概念。

光柵(zha)(zha)尺(chi)(chi)的分辨率(lv)，是指光柵(zha)(zha)尺(chi)(chi)可讀取并輸出的最小長度變化，對應(ying)的參數有：每(mei)毫(hao)米光柵(zha)(zha)刻線數、脈(mo)沖數、細分等(deng)(deng)。比如50線光柵(zha)(zha)和100線光柵(zha)(zha)在同等(deng)(deng)條件下分辨率(lv)就不(bu)(bu)一樣，同等(deng)(deng)的50線光柵(zha)(zha)如果細分方法不(bu)(bu)一樣分辨率(lv)也(ye)會不(bu)(bu)一樣。

光(guang)(guang)柵(zha)尺(chi)(chi)的精度(du)反映了光(guang)(guang)柵(zha)尺(chi)(chi)輸出的信號數(shu)(shu)據(ju)對(dui)測(ce)量的真實(shi)長度(du)的準確度(du)，可以(yi)理解為(wei)測(ce)量誤差值(zhi)，是(shi)已測(ce)定的固(gu)定值(zhi)，對(dui)應的參(can)數(shu)(shu)是(shi)微米（μm）、納米（nm）。

目前國內光柵(zha)尺分(fen)(fen)辨(bian)率(lv)一般有5μm、1μm、0.5μm、0.2μm、0.1μm。那(nei)么(me)這些(xie)分(fen)(fen)辨(bian)率(lv)是怎么(me)得來的呢？

以每毫米50線光柵為例，經過4細分，就能得到很簡單的5μm的分辨率，而不用采用電子細分，這也是目前國內機床尺的多數工藝，至于高分辨率的光柵尺，就必須采用電子細分技術，增加插補細分器才能得到。高分辨率光柵尺一般應用(yong)于儀器儀表如(ru)視頻儀、工具顯(xian)微鏡、CNC加工中心等。