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光柵尺的組成結構 光柵尺的工作原理

本文章由注冊用戶 知識雜談 上傳提供 2024-03-28 評論 0
摘要:光柵尺也稱為光柵尺傳感器、光柵尺位移傳感器,是數控機床閉環控制系統中的測量裝置,可用作直線位移或者角位移的檢測。光柵尺是利用光柵運動產生的莫爾條紋和電子電路完成位移的自動測量,由標尺光柵和光柵讀數頭兩部分組成。下面了解下光柵尺的結構及原理。

一、光柵尺的組成結構

光柵尺是由標尺光(guang)(guang)(guang)柵(zha)和光(guang)(guang)(guang)柵(zha)讀(du)數頭(tou)兩部分組(zu)成,標尺光(guang)(guang)(guang)柵(zha)一(yi)般固定在機床活動部件上(shang),光(guang)(guang)(guang)柵(zha)讀(du)數頭(tou)裝(zhuang)在機床固定部件上(shang),指示光(guang)(guang)(guang)柵(zha)裝(zhuang)在光(guang)(guang)(guang)柵(zha)讀(du)數頭(tou)中。

光(guang)(guang)柵(zha)檢(jian)測裝置的關鍵部分是光(guang)(guang)柵(zha)讀數頭(tou)(tou)(tou),它由光(guang)(guang)源、會聚(ju)透鏡(jing)、指示光(guang)(guang)柵(zha)、光(guang)(guang)電元(yuan)件及調整機構等組成。光(guang)(guang)柵(zha)讀數頭(tou)(tou)(tou)結構形式(shi)很多,根據讀數頭(tou)(tou)(tou)結構特點和使用(yong)場合分為直接接收式(shi)讀數頭(tou)(tou)(tou)(或稱硅光(guang)(guang)電池讀數頭(tou)(tou)(tou)、鏡(jing)像式(shi)讀數頭(tou)(tou)(tou)、分光(guang)(guang)鏡(jing)式(shi)讀數頭(tou)(tou)(tou)、金屬光(guang)(guang)柵(zha)反射式(shi)讀數頭(tou)(tou)(tou))。

二、光柵尺的工作原理

常見光柵尺的工作原(yuan)理(li)(li)都是根(gen)據物(wu)理(li)(li)上(shang)莫爾(er)條紋(wen)(wen)(wen)的形(xing)成(cheng)原(yuan)理(li)(li)進行工作的。當使指示光(guang)柵上(shang)的線(xian)紋(wen)(wen)(wen)與標尺(chi)光(guang)柵上(shang)的線(xian)紋(wen)(wen)(wen)成(cheng)一角度來放置兩(liang)光(guang)柵尺(chi)時,必(bi)然會造成(cheng)兩(liang)光(guang)柵尺(chi)上(shang)的線(xian)紋(wen)(wen)(wen)互相(xiang)交(jiao)義。在光(guang)源(yuan)的照射下(xia),交(jiao)叉點近旁的小區(qu)域內由(you)于黑(hei)(hei)色(se)線(xian)紋(wen)(wen)(wen)重(zhong)疊,因而(er)遮(zhe)光(guang)面積(ji)最小,擋(dang)光(guang)效應(ying)最弱,光(guang)的累積(ji)作用使得(de)這個區(qu)域出現亮(liang)帶(dai)。相(xiang)反,距交(jiao)叉點較(jiao)遠的區(qu)域,因兩(liang)光(guang)柵尺(chi)不透明的黑(hei)(hei)色(se)線(xian)紋(wen)(wen)(wen)的重(zhong)疊部分變得(de)越(yue)來越(yue)少,不透明區(qu)域面積(ji)逐漸變大,即遮(zhe)光(guang)面積(ji)逐漸變大,使得(de)擋(dang)光(guang)效應(ying)變強(qiang),只有較(jiao)少的光(guang)線(xian)能(neng)通過這個區(qu)域透過光(guang)柵,使這個區(qu)域出現暗帶(dai)。這些與光(guang)柵線(xian)紋(wen)(wen)(wen)幾乎(hu)垂直,相(xiang)間出現的亮(liang)、暗帶(dai)就是莫爾(er)條紋(wen)(wen)(wen)。莫爾(er)條紋(wen)(wen)(wen)具有以下(xia)性質:

1、當用平行(xing)光(guang)束照射光(guang)柵時,透過(guo)莫(mo)爾條紋(wen)的(de)光(guang)強(qiang)度分(fen)布近(jin)似于余(yu)弦函數。

2、若用(yong)W表示(shi)莫(mo)爾條紋的(de)寬度,d表示(shi)光(guang)柵的(de)柵距,θ表示(shi)兩光(guang)柵尺(chi)線紋的(de)夾角,則(ze)它們之(zhi)間的(de)幾何關系(xi)為W-d/sin當角很小時,上式(shi)可近似(si)寫(xie)W=d/θ。

若取(qu)d=0.01mm,θ=0.01rad,則由上式可得(de)W=1mm。這說明,無(wu)需復雜的(de)(de)(de)光學系統(tong)和(he)電子系統(tong),利用光的(de)(de)(de)干涉現(xian)象,就(jiu)能把光柵(zha)的(de)(de)(de)柵(zha)距轉換成放大100倍的(de)(de)(de)莫爾條紋的(de)(de)(de)寬度。這種(zhong)放大作用是光柵(zha)的(de)(de)(de)一個重要特點。

3、由(you)(you)于莫(mo)爾條(tiao)紋(wen)是(shi)由(you)(you)若干(gan)(gan)條(tiao)光柵(zha)(zha)線紋(wen)共同干(gan)(gan)涉形成的(de)(de),所(suo)以(yi)莫(mo)爾條(tiao)紋(wen)對光柵(zha)(zha)個別(bie)線紋(wen)之(zhi)間的(de)(de)柵(zha)(zha)距誤(wu)差具有平均(jun)效(xiao)應,能消除光柵(zha)(zha)柵(zha)(zha)距不(bu)均(jun)勻所(suo)造成的(de)(de)影響(xiang)。

4、莫(mo)爾條紋(wen)(wen)的移動與兩(liang)光(guang)(guang)柵(zha)尺(chi)(chi)之間的相(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)(dui)移動相(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)(dui)應(ying)。兩(liang)光(guang)(guang)柵(zha)尺(chi)(chi)相(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)(dui)移動一個(ge)柵(zha)距d,莫(mo)爾條紋(wen)(wen)便相(xiang)(xiang)(xiang)應(ying)移動一個(ge)莫(mo)爾條紋(wen)(wen)寬度W,其方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)與兩(liang)光(guang)(guang)柵(zha)尺(chi)(chi)相(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)(dui)移動的方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)垂直(zhi),且當兩(liang)光(guang)(guang)柵(zha)尺(chi)(chi)相(xiang)(xiang)(xiang)對(dui)(dui)移動的方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)改變時(shi),莫(mo)爾條紋(wen)(wen)移動的方(fang)(fang)向(xiang)(xiang)也隨之改變。

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