一、硅晶圓的作用

硅晶圓主要用(yong)于制造硅半(ban)導體集成(cheng)電路(lu)。??

硅晶(jing)(jing)圓，也稱為晶(jing)(jing)圓，是制(zhi)造積體電(dian)路(lu)的(de)基(ji)本材(cai)料。它是通過將(jiang)硅元素加(jia)以(yi)純化，然后制(zhi)成(cheng)(cheng)單晶(jing)(jing)硅晶(jing)(jing)棒，再經過照相制(zhi)版、研磨、拋光、切片等(deng)程(cheng)序，最終形(xing)成(cheng)(cheng)用于制(zhi)造集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)的(de)薄片。這些薄片上(shang)可以(yi)加(jia)工制(zhi)作成(cheng)(cheng)各(ge)種電(dian)路(lu)元件結構，從而成(cheng)(cheng)為具(ju)有特定電(dian)性功(gong)能的(de)集(ji)成(cheng)(cheng)電(dian)路(lu)產品(pin)。

二、硅晶圓的制造方法

1、?硅提煉及提純?：首先(xian)，從沙石(shi)原(yuan)料開始，將其放入溫度(du)(du)(du)超過(guo)兩千攝氏(shi)度(du)(du)(du)的電弧熔爐中，通過(guo)還原(yuan)反應得到(dao)冶(ye)金(jin)級(ji)(ji)硅(gui)(gui)。然后，將粉(fen)碎的冶(ye)金(jin)級(ji)(ji)硅(gui)(gui)與氣態(tai)的氯化氫反應，生成(cheng)液態(tai)的硅(gui)(gui)烷，再通過(guo)蒸餾和化學還原(yuan)工藝得到(dao)高純(chun)度(du)(du)(du)的多晶硅(gui)(gui)。

2、?單晶硅生長?：采用直拉法，將(jiang)(jiang)高純度的(de)多晶(jing)(jing)(jing)硅放(fang)入石英(ying)坩堝中(zhong)，通過石墨加熱(re)器(qi)加熱(re)至一千多攝氏度，使多晶(jing)(jing)(jing)硅熔(rong)化。控(kong)制晶(jing)(jing)(jing)體的(de)方向(xiang)，將(jiang)(jiang)籽晶(jing)(jing)(jing)浸入熔(rong)化的(de)多晶(jing)(jing)(jing)硅中(zhong)，緩慢拉出，形成圓柱形的(de)單晶(jing)(jing)(jing)硅晶(jing)(jing)(jing)棒。

3、?晶圓成型?：單晶(jing)(jing)(jing)硅晶(jing)(jing)(jing)棒經過研磨、拋(pao)光(guang)、切(qie)片等工(gong)藝，制成(cheng)薄片狀的硅晶(jing)(jing)(jing)圓。這些晶(jing)(jing)(jing)圓片經過進一步的處理(li)，如激光(guang)刻、倒角、拋(pao)光(guang)等，最終成(cheng)為集成(cheng)電路工(gong)廠(chang)的基本原料。

三、硅晶圓為什么是圓的

之(zhi)所以(yi)硅(gui)晶圓都(dou)做成圓形，主要的是考慮單位面積利用(yong)率和生產問題.

硅錠被"拉(la)"出來的(de)(de)時候就一定是圓(yuan)的(de)(de)。幾乎不可能直接獲(huo)得方(fang)(fang)的(de)(de)硅錠，除非將圓(yuan)的(de)(de)硅錠切削成方(fang)(fang)的(de)(de)，但(dan)這(zhe)樣無(wu)異于浪費。正(zheng)方(fang)(fang)形浪費的(de)(de)使用面積(ji)比率是比圓(yuan)型高的(de)(de)。很(hen)多(duo)晶(jing)圓(yuan)生產設備的(de)(de)工藝原(yuan)理必然(ran)要求選擇圓(yuan)型晶(jing)圓(yuan)，圓(yuan)型具有任意軸對稱性，這(zhe)是晶(jing)圓(yuan)制作工藝必然(ran)的(de)(de)要求，可以(yi)想象一下，在圓(yuan)型晶(jing)圓(yuan)表面可以(yi)通過旋轉涂(tu)布法(fa)事實上是目前均勻(yun)涂(tu)布光刻膠的(de)(de)唯一方(fang)(fang)法(fa)，獲(huo)得很(hen)均勻(yun)一致的(de)(de)光刻膠涂(tu)層。

四、硅晶圓原料

硅(gui)晶(jing)圓的(de)原材(cai)料是(shi)(shi)硅(gui)，占比高達(da)95%。硅(gui)是(shi)(shi)由石(shi)英砂所精煉出來的(de)，經(jing)過純化（純度高達(da)99.999%），制(zhi)成(cheng)硅(gui)晶(jing)棒，成(cheng)為制(zhi)造集(ji)成(cheng)電路的(de)石(shi)英半(ban)導體的(de)材(cai)料。