一、振鏡1和振鏡2是什么意思

1、振鏡1（或者叫振鏡X）

振(zhen)鏡1的(de)(de)(de)寬度是由光(guang)束(shu)的(de)(de)(de)直徑(jing)所決定的(de)(de)(de)。完(wan)整(zheng)光(guang)束(shu)直徑(jing)在這里是比(bi)較(jiao)容(rong)易討論的(de)(de)(de)，完(wan)整(zheng)的(de)(de)(de)光(guang)束(shu)直徑(jing)在一(yi)定程(cheng)度上是任(ren)意的(de)(de)(de)。

例如(ru)，一(yi)個系統設計(ji)師可能(neng)將DF界定為激光射在有機玻璃留下的(de)燒(shao)焦的(de)光束直徑。另(ling)外DF可能(neng)被定為一(yi)個能(neng)量為99%的(de)標準能(neng)量點，或者是限定在某個范圍(wei)內(nei)，如(ru)1.4D–1.6D。

考慮到鏡片的(de)誤差，振鏡的(de)寬W1要略微(wei)大(da)于所選擇的(de)DF的(de)值(zhi)。鏡片上的(de)最大(da)入射角imax決定(ding)了振鏡的(de)長度(du)。讓a=(90°-imax)。當振鏡的(de)長度(du)是L1，這里L1=W1/sina。

2、振鏡2（或者叫振鏡y）

振(zhen)(zhen)鏡(jing)2的(de)(de)寬度應該等于振(zhen)(zhen)鏡(jing)1的(de)(de)長度。振(zhen)(zhen)鏡(jing)2的(de)(de)長度就(jiu)是(shi)(shi)光(guang)(guang)束打在(zai)第二個振(zhen)(zhen)鏡(jing)上時同S1的(de)(de)距離，和最大入射角q。這些鏡(jing)片被制作并(bing)被鍍上的(de)(de)特(te)定的(de)(de)膜層，從而決(jue)定用(yong)于CO2激(ji)光(guang)(guang)還(huan)是(shi)(shi)YAG激(ji)光(guang)(guang)。他們有很高的(de)(de)激(ji)光(guang)(guang)損傷值，1000w/mm的(de)(de)情況(kuang)下光(guang)(guang)束直徑(jing)是(shi)(shi)1/e2（D）。

我們將鏡(jing)頭描述為F-theta鏡(jing)頭，或者‘Fq’。設計(ji)的(de)方法是(shi)要產(chan)生一個(ge)離軸點(dian)的(de)位置成正比的(de)掃(sao)描角度。依次，就是(shi)要產(chan)生成正比的(de)電壓，已適用于掃(sao)描器馬達。由(you)于失真(zhen)是(shi)來自于兩個(ge)振鏡(jing)，所(suo)以我們兩個(ge)軸上的(de)掃(sao)描器要有能夠(gou)轉動F-theta的(de)特征。

二、振鏡1和振鏡2怎么調比例

為了使軟件(jian)坐標與實(shi)際(ji)運行距離場(chang)地對(dui)(dui)應及(ji)輸出軌跡不失真，則需要需要實(shi)時(shi)的對(dui)(dui)每一(yi)個(ge)數據(ju)點進(jin)行校(xiao)正，通常(chang)采(cai)用查找表(biao)分段線(xian)性插值(zhi)的方法進(jin)行位置校(xiao)正，校(xiao)正點越多實(shi)際(ji)輸出位置越精準(zhun)。

正運動SCAN控(kong)制(zhi)器提供了BOX校(xiao)正、多點校(xiao)正等方法，不管是(shi)系(xi)數(shu)(shu)校(xiao)正還(huan)是(shi)多點校(xiao)正，校(xiao)正點參數(shu)(shu)都是(shi)寫(xie)到(dao)控(kong)制(zhi)器內部系(xi)統數(shu)(shu)組TABLE寄存器的(de)。因此在程序中有其他功(gong)能(neng)應用到(dao)TABLE寄存器時需要注(zhu)意地(di)址的(de)合理(li)分配(pei)。

1、Box系數校正

系(xi)數校正指的是根據振鏡輸出圖形(xing)(xing)枕/桶形(xing)(xing)失真、平行四邊(bian)形(xing)(xing)失真、梯形(xing)(xing)失真、比例縮放幾種情況進行系(xi)數調整校正。

通過(guo)調用ZScan_CorrectFactor進行(xing)系數校(xiao)(xiao)正(zheng)。先(xian)控制振鏡(jing)繪制出一(yi)個(ge)正(zheng)方形(xing)(xing)校(xiao)(xiao)正(zheng)圖形(xing)(xing)，根據(ju)校(xiao)(xiao)正(zheng)圖形(xing)(xing)的(de)(de)(de)失真按(an)下(xia)圖情況調整對(dui)應的(de)(de)(de)系數參(can)數，根據(ju)標刻長(chang)度(du)與(yu)(yu)測量(liang)長(chang)度(du)調整縮放系數，直到實(shi)際標刻的(de)(de)(de)尺(chi)寸與(yu)(yu)設置一(yi)致時認(ren)為校(xiao)(xiao)正(zheng)成(cheng)功，校(xiao)(xiao)正(zheng)系以是填寫的(de)(de)(de)變化量(liang)，通常(chang)以0值為參(can)考基準(zhun)變化。

2、9點校正

9點(dian)校正指的(de)是(shi)根(gen)據在工作范(fan)圍內(nei)標刻3*3的(de)表格，根(gen)據每個點(dian)的(de)理論位置與實際位置來進行振鏡校正。

先控制(zhi)振鏡預繪制(zhi)出一個3*3校正表格圖形，按下(xia)圖所(suo)示P1-P9的(de)(de)順序(xu)填(tian)入X坐標(biao)與(yu)Y坐標(biao)實(shi)際(ji)測(ce)量值(zhi)，填(tian)入P1點的(de)(de)理(li)論標(biao)刻(ke)與(yu)P9點的(de)(de)理(li)論坐標(biao)，通過調用ZScan_Correct9進(jin)行9點校正。需重新(xin)標(biao)刻(ke)測(ce)試，直(zhi)到(dao)實(shi)際(ji)標(biao)刻(ke)與(yu)理(li)論值(zhi)達到(dao)預期精度范圍。

3、25點校正

25點(dian)校正(zheng)指的是根據在工作范圍(wei)內標刻(ke)5*5的表格，校正(zheng)過程與9點(dian)校正(zheng)相同，通過調用ZScan_Correct25進行25點(dian)校正(zheng)。校正(zheng)點(dian)數越多校正(zheng)精(jing)度(du)也越高。