一、快速退火爐的主要功能和特點有哪些

快速退(tui)火(huo)爐是用(yong)于(yu)快速熱(re)處理(li)、熱(re)氧化處理(li)、高(gao)溫退(tui)火(huo)的設備(bei)，采(cai)用(yong)先進(jin)的微電腦控(kong)制系統，采(cai)用(yong)PID閉環(huan)控(kong)制溫度(du)，可以(yi)達到(dao)極高(gao)的控(kong)溫精度(du)和(he)溫度(du)均勻性，并(bing)且可配置真空(kong)腔(qiang)體，也可根據用(yong)戶工(gong)藝需求(qiu)配置多路氣體。

主要功能和(he)特(te)點：

1、可視化(hua)7寸觸摸屏(ping)，設定數(shu)據和操作(zuo)都是(shi)圖文(wen)界面，操作(zuo)方便。

2、爐體配(pei)備高精度移動(dong)平臺，運行(xing)平穩無(wu)抖動(dong)。

3、爐(lu)管可(ke)自由(you)移(yi)動(dong)，且密封法(fa)蘭之間(jian)用搭扣壓緊連(lian)接，放(fang)、取物(wu)料(liao)方便快捷，避免(mian)了螺栓密封人為操作導致漏氣(qi)的可(ke)能(neng)、減少了因安裝法(fa)蘭而造成加熱管損壞的可(ke)能(neng)、當爐(lu)管移(yi)出爐(lu)膛(tang)時(shi)冷確風扇啟動(dong)，可(ke)實(shi)現(xian)試樣的迅速(su)降溫，滿足材料(liao)驟冷驟熱的實(shi)驗要求。

4、爐膛采用(yong)進(jin)(jin)口(kou)多晶(jing)纖(xian)維真空吸(xi)附制成，采用(yong)進(jin)(jin)口(kou)紅外線(xian)加熱(re)管加熱(re)，使用(yong)壽命可(ke)達5000小時，升溫速度快，最(zui)高溫度可(ke)達1050℃。

5、預留了真(zhen)(zhen)空、氣(qi)路快速接口，可配合我(wo)司真(zhen)(zhen)空系(xi)統(tong)(tong)、混氣(qi)系(xi)統(tong)(tong)使(shi)用。

6、預留了(le)485轉換接口，可通過我司專用軟件，與計算機(ji)互聯，可實現單臺或者多(duo)臺電爐(lu)的(de)遠程控制、實時追蹤、歷史記錄(lu)、輸出報表(biao)等功(gong)能。

7、設置超溫報警并斷(duan)電，漏電保護，操作安全可(ke)靠。

二、快速退火爐的應用領域介紹

了解了快速退火爐的功能和特點后，再來看看快速退火爐的應用領(ling)域介紹吧！

1、快(kuai)速(su)熱(re)(re)處理（RTP），快(kuai)速(su)退(tui)火（RTA），快(kuai)速(su)熱(re)(re)氧化（RTO），快(kuai)速(su)熱(re)(re)氮化（RTN）。

2、離子注入/接觸(chu)退火(huo)。

3、金屬合金。

4、熱氧(yang)化處理。

5、化(hua)合物(wu)合金（砷化(hua)鎵、氮化(hua)物(wu)等(deng)）。

6、多晶硅退(tui)火。

7、太陽(yang)能電池片退火。

8、高溫退火。

9、高溫擴散。