一、快速退火爐的主要功能和特點有哪些

快速退火爐(lu)是用(yong)于快速熱(re)處理、熱(re)氧化處理、高溫退火的(de)設備，采用(yong)先進(jin)的(de)微電腦(nao)控(kong)制系統，采用(yong)PID閉環控(kong)制溫度(du)，可以達到極高的(de)控(kong)溫精度(du)和(he)溫度(du)均勻性，并且可配置真空腔體(ti)，也可根據(ju)用(yong)戶(hu)工藝需求配置多路氣體(ti)。

主(zhu)要功能和(he)特(te)點：

1、可視化7寸觸摸屏(ping)，設定數(shu)據和(he)操作(zuo)都是圖文界面(mian)，操作(zuo)方便(bian)。

2、爐體配備高精度移(yi)動(dong)平臺，運行(xing)平穩無抖(dou)動(dong)。

3、爐(lu)管可(ke)自由移動，且密封(feng)法蘭(lan)之(zhi)間用搭扣壓緊連接，放、取物料方便快(kuai)捷(jie)，避免了螺栓密封(feng)人為操作導致漏氣(qi)的可(ke)能、減少了因安裝法蘭(lan)而造成(cheng)加(jia)熱管損壞的可(ke)能、當爐(lu)管移出爐(lu)膛時(shi)冷(leng)(leng)確風扇啟動，可(ke)實現試樣的迅(xun)速(su)降溫(wen)，滿足材料驟(zou)冷(leng)(leng)驟(zou)熱的實驗要求。

4、爐膛采用(yong)進(jin)口多(duo)晶纖維真空吸附制(zhi)成，采用(yong)進(jin)口紅外線加(jia)熱(re)管(guan)加(jia)熱(re)，使用(yong)壽(shou)命可(ke)達(da)5000小(xiao)時，升溫(wen)速(su)度快，最高溫(wen)度可(ke)達(da)1050℃。

5、預留(liu)了真空(kong)(kong)、氣路快速(su)接口，可配合我司真空(kong)(kong)系統、混氣系統使用。

6、預留了(le)485轉(zhuan)換(huan)接口，可通過(guo)我司專(zhuan)用軟(ruan)件，與計算機互聯(lian)，可實(shi)現單臺(tai)或者多臺(tai)電爐(lu)的遠(yuan)程控制、實(shi)時追蹤、歷史記(ji)錄、輸(shu)出報表(biao)等功能。

7、設(she)置超溫報(bao)警并斷電，漏電保護，操作安(an)全可(ke)靠。

二、快速退火爐的應用領域介紹

了解了快速退火爐的功能和特點后，再來看看快速退火爐的(de)應用領域介紹吧！

1、快(kuai)(kuai)速(su)(su)(su)熱處理(li)（RTP），快(kuai)(kuai)速(su)(su)(su)退(tui)火(huo)（RTA），快(kuai)(kuai)速(su)(su)(su)熱氧化（RTO），快(kuai)(kuai)速(su)(su)(su)熱氮化（RTN）。

2、離子(zi)注入/接(jie)觸退火。

3、金屬合金。

4、熱氧化(hua)處理。

5、化(hua)合物合金（砷(shen)化(hua)鎵、氮化(hua)物等）。

6、多晶硅(gui)退(tui)火(huo)。

7、太陽(yang)能電(dian)池(chi)片退火。

8、高溫退火。

9、高溫擴散。