一、低溫真空泵是什么真空泵

低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)真(zhen)空(kong)泵是(shi)一種(zhong)利(li)用20K以下(xia)的低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)表面凝(ning)聚吸附氣體的真(zhen)空(kong)泵，又(you)叫冷泵、冷凝(ning)泵，一般是(shi)以低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)液體（液氮或(huo)液氦）或(huo)低(di)(di)(di)溫(wen)(wen)制冷機為冷源(yuan)。

二、低溫真空泵的原理與結構

低(di)溫(wen)(wen)真空(kong)泵主要由泵殼、障板(ban)和(he)冷(leng)屏、冷(leng)頭、二級(ji)冷(leng)板(ban)等(deng)組成，其作用原理是(shi)：依靠冷(leng)源提供的(de)冷(leng)量使表(biao)面氣(qi)體被(bei)冷(leng)到(dao)(dao)低(di)溫(wen)(wen)冷(leng)凝時壓力下(xia)降，不冷(leng)凝氣(qi)體在低(di)溫(wen)(wen)下(xia)被(bei)固體吸附劑吸附，從而達到(dao)(dao)排氣(qi)的(de)效果，獲得潔凈真空(kong)，低(di)溫(wen)(wen)抽氣(qi)的(de)主要作用是(shi)低(di)溫(wen)(wen)冷(leng)凝、低(di)溫(wen)(wen)吸附和(he)低(di)溫(wen)(wen)捕集。

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三、低溫真空泵的優點

1、高極限真空度

標準的低溫真空泵，其極限真空度可達10^-7Pa，必要時，在不加其它輔助泵的情況下也可以做到10^-9Pa，而理論上，甚至于達到10^-11Pa以上極高(gao)真(zhen)空。

2、大抽速

低溫(wen)真空(kong)(kong)泵(beng)的抽速較快(kuai)，尤其(qi)(qi)對水具有超高(gao)的抽速，其(qi)(qi)遠(yuan)高(gao)于(yu)其(qi)(qi)它真空(kong)(kong)泵(beng)，低溫(wen)泵(beng)的高(gao)抽速使得建立真空(kong)(kong)的速度(du)比其(qi)(qi)他真空(kong)(kong)泵(beng)快(kuai)，可以(yi)大大提高(gao)產品產出量。

3、潔凈

低溫泵是真(zhen)正(zheng)的潔凈無油(you)、抽(chou)速高(gao)的高(gao)真(zhen)空泵，它是利(li)用(yong)低溫冷(leng)(leng)板來冷(leng)(leng)凝、吸附(fu)氣(qi)體而(er)獲(huo)得和保持真(zhen)空，在真(zhen)空區(qu)域任何沒(mei)有運動部件，沒(mei)有油(you)，所有清潔無污染。

4、運行成本低

低溫真(zhen)空(kong)泵可(ke)大大減少(shao)電能消耗，尤其是大口(kou)徑泵。就抽速而言，低溫泵僅需1/3的(de)能耗就可(ke)以達到與擴散泵同等的(de)效果(guo)。

5、安全可靠

低(di)溫真(zhen)空(kong)(kong)泵(beng)的(de)真(zhen)空(kong)(kong)腔內(nei)(nei)無運動(dong)部件，來自(zi)外(wai)界的(de)干擾(rao)或來自(zi)真(zhen)空(kong)(kong)系統的(de)微粒不影響(xiang)工作；同時，由于低(di)溫泵(beng)回(hui)溫具有(you)一定“慣性”，可(ke)在突然停電的(de)情況下(xia)，有(you)效地保護真(zhen)空(kong)(kong)腔體內(nei)(nei)真(zhen)空(kong)(kong)，不至于被鍍工件受(shou)到影響(xiang)。

6、使用方便

低(di)溫泵(beng)對安(an)裝方位(wei)沒(mei)要求，可以泵(beng)口超(chao)上、泵(beng)口朝(chao)下、水(shui)平(ping)位(wei)置(zhi)安(an)裝或以腔體(ti)需要的(de)任何(he)角度(du)安(an)裝。

7、使用壽命長

低(di)溫真空泵運(yun)動部(bu)件少且低(di)速運(yun)行，通(tong)過(guo)日(ri)常的保養維護，低(di)溫泵的正常的使用(yong)壽命可達5~6萬小時(shi)，有的甚至超過(guo)8萬小時(shi)。

四、低溫真空泵的缺點

1、需要降溫時間(jian)（準備時間(jian)）。

2、需要再生。

3、購置成本高。

五、低溫真空泵應用領域有哪些

低溫(wen)泵(beng)適(shi)合(he)用于需要高真空度的領(ling)域，尤其適(shi)合(he)應(ying)用于要求(qiu)潔凈無(wu)油或快速抽氣(qi)的場合(he)，例如(ru)半導體與集成電路前工序、光(guang)學(xue)鍍(du)膜(mo)、太陽能電池板、光(guang)電子(zi)器件(jian)和真空電子(zi)器件(jian)制造、平板顯示器件(jian)鍍(du)膜(mo)等領(ling)域。