一、低溫真空泵是什么真空泵
低溫真(zhen)空泵(beng)是(shi)一種利(li)用20K以(yi)下的低溫表面(mian)凝(ning)聚(ju)吸(xi)附氣體(ti)的真(zhen)空泵(beng),又叫(jiao)冷(leng)泵(beng)、冷(leng)凝(ning)泵(beng),一般是(shi)以(yi)低溫液(ye)(ye)體(ti)(液(ye)(ye)氮(dan)或液(ye)(ye)氦)或低溫制冷(leng)機為冷(leng)源。
二、低溫真空泵的原理與結構
低(di)(di)溫(wen)(wen)(wen)真空(kong)泵主要由泵殼、障板(ban)和冷(leng)(leng)(leng)(leng)(leng)屏、冷(leng)(leng)(leng)(leng)(leng)頭、二級冷(leng)(leng)(leng)(leng)(leng)板(ban)等組成(cheng),其作(zuo)用原理(li)是(shi):依靠冷(leng)(leng)(leng)(leng)(leng)源提(ti)供(gong)的(de)冷(leng)(leng)(leng)(leng)(leng)量使表面(mian)氣體(ti)(ti)被(bei)冷(leng)(leng)(leng)(leng)(leng)到低(di)(di)溫(wen)(wen)(wen)冷(leng)(leng)(leng)(leng)(leng)凝時壓力下降,不冷(leng)(leng)(leng)(leng)(leng)凝氣體(ti)(ti)在低(di)(di)溫(wen)(wen)(wen)下被(bei)固體(ti)(ti)吸(xi)附(fu)(fu)劑吸(xi)附(fu)(fu),從而達到排氣的(de)效果,獲得潔凈真空(kong),低(di)(di)溫(wen)(wen)(wen)抽氣的(de)主要作(zuo)用是(shi)低(di)(di)溫(wen)(wen)(wen)冷(leng)(leng)(leng)(leng)(leng)凝、低(di)(di)溫(wen)(wen)(wen)吸(xi)附(fu)(fu)和低(di)(di)溫(wen)(wen)(wen)捕集。
三、低溫真空泵的優點
1、高極限真空度
標準的低溫真空泵,其極限真空度可達10-7Pa,必要時,在不加其它輔助泵的情況下也可以做到10-9Pa,而理論上,甚至于達到10-11Pa以上(shang)極高真空。
2、大抽速
低(di)溫真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵的抽(chou)速(su)較快(kuai),尤其(qi)(qi)對水(shui)具有超(chao)高(gao)(gao)的抽(chou)速(su),其(qi)(qi)遠(yuan)高(gao)(gao)于其(qi)(qi)它(ta)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵,低(di)溫泵的高(gao)(gao)抽(chou)速(su)使得建立真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)的速(su)度比其(qi)(qi)他(ta)真(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵快(kuai),可以大(da)大(da)提高(gao)(gao)產品產出量(liang)。
3、潔凈
低(di)溫(wen)泵(beng)是真正的(de)潔凈無油(you)、抽速高的(de)高真空(kong)(kong)泵(beng),它是利用(yong)低(di)溫(wen)冷板來(lai)冷凝、吸(xi)附氣體(ti)而獲得和保(bao)持真空(kong)(kong),在(zai)真空(kong)(kong)區域任何沒有(you)運動部件,沒有(you)油(you),所有(you)清潔無污染。
4、運行成本低
低溫(wen)真空泵(beng)可(ke)(ke)大(da)大(da)減少(shao)電能(neng)消耗,尤其是大(da)口徑泵(beng)。就抽速而言,低溫(wen)泵(beng)僅需1/3的能(neng)耗就可(ke)(ke)以(yi)達到與擴散泵(beng)同等的效(xiao)果(guo)。
5、安全可靠
低(di)溫(wen)真(zhen)空(kong)泵的真(zhen)空(kong)腔內無(wu)運(yun)動(dong)部件(jian),來(lai)自(zi)(zi)外界的干擾或來(lai)自(zi)(zi)真(zhen)空(kong)系統的微粒(li)不影響工作;同時,由于低(di)溫(wen)泵回溫(wen)具有一(yi)定“慣性(xing)”,可在(zai)突然停電的情況下,有效(xiao)地保護真(zhen)空(kong)腔體內真(zhen)空(kong),不至于被(bei)鍍工件(jian)受到影響。
6、使用方便
低(di)溫泵對安裝方位沒要(yao)求,可以泵口超(chao)上、泵口朝(chao)下、水(shui)平(ping)位置(zhi)安裝或以腔體需要(yao)的任(ren)何角度安裝。
7、使用壽命長
低溫真(zhen)空(kong)泵運動部件少且低速運行,通(tong)過日常的保養維護,低溫泵的正常的使用(yong)壽(shou)命(ming)可達(da)5~6萬小(xiao)時(shi),有的甚至(zhi)超過8萬小(xiao)時(shi)。
四、低溫真空泵的缺點
1、需(xu)要(yao)降溫時間(準備(bei)時間)。
2、需要再生。
3、購置成(cheng)本高。
五、低溫真空泵應用領域有哪些
低溫(wen)泵適合(he)用于(yu)(yu)需要高真空度的領域,尤其(qi)適合(he)應用于(yu)(yu)要求潔凈無油或快速抽(chou)氣的場(chang)合(he),例(li)如(ru)半(ban)導體(ti)與(yu)集成電(dian)路前工(gong)序、光學鍍膜、太陽能(neng)電(dian)池(chi)板、光電(dian)子器(qi)件(jian)(jian)和真空電(dian)子器(qi)件(jian)(jian)制(zhi)造、平板顯示器(qi)件(jian)(jian)鍍膜等領域。