一、探針的種類有哪些

在晶(jing)圓(yuan)或(huo)(huo)芯片(pian)測(ce)試(shi)(shi)的過(guo)程中，通(tong)常會使用探針(zhen)來準(zhun)確(que)連接晶(jing)圓(yuan)或(huo)(huo)芯片(pian)的引腳或(huo)(huo)錫(xi)球與測(ce)試(shi)(shi)機，以便檢測(ce)產品的導通(tong)性、電流性、功能性和老化(hua)性等性能指(zhi)標。那么你(ni)知道(dao)探針(zhen)的種(zhong)類(lei)有哪些嗎？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈(dan)性探(tan)針是一個由(you)螺旋彈(dan)簧組成的探(tan)針，其兩端連接在(zai)上下(xia)柱栓上。螺旋彈(dan)簧的中間部分(fen)緊(jin)密纏繞(rao)在(zai)一起，以防止產生額外的電(dian)感和附件電(dian)阻。而彈(dan)簧的兩端部分(fen)則被稀疏(shu)纏繞(rao)，以降低探(tan)針對被測(ce)試物(wu)體的壓力。在(zai)檢(jian)測(ce)集成電(dian)路時，信(xin)號會(hui)從下(xia)柱栓流向(xiang)上方，形成導(dao)電(dian)路徑。

（2）懸臂式探針

懸臂探(tan)針(zhen)為探(tan)針(zhen)部提供適當的縱向(xiang)位移，用(yong)于通過橫向(xiang)懸臂接觸待測(ce)半導體(ti)產品，以避(bi)免探(tan)針(zhen)部對待測(ce)半導體(ti)產品施加過大的針(zhen)壓。

（3）垂直式探針

垂直探針可(ke)以對應(ying)高密度信號觸點的(de)待測半導體產品(pin)的(de)細間(jian)距排列(lie)，針尖接觸待測半導體產品(pin)所(suo)需的(de)縱向位移(yi)可(ke)以通過針體本身的(de)彈性(xing)變形來提供(gong)。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢髁合金探針具有穩(wen)定(ding)的接(jie)觸電阻，兼顧硬度和柔韌性(xing)，不易發(fa)生(sheng)探針偏差。因此，鎢髁合金探針是目前(qian)性(xing)能良好的一種(zhong)常見(jian)探針。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸探(tan)針用于(yu)對測試頻率(lv)比較敏感的測試環境(jing)(jing)；普(pu)通探(tan)針用于(yu)對信號衰減不敏感的測試環境(jing)(jing)。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材料：選擇材質通常(chang)為316不(bu)銹鋼(gang)、金(jin)屬玻(bo)璃、石英玻(bo)璃、硅(gui)、玻(bo)璃鋼(gang)等。不(bu)同材料的探針具有不(bu)同的化學惰(duo)性(xing)和機(ji)械(xie)性(xing)能，對探測(ce)的液體和氣體有不(bu)同的適應性(xing)。

（2）形(xing)狀(zhuang)：選(xuan)擇(ze)探針(zhen)的形(xing)狀(zhuang)應該根據實驗需求進(jin)行選(xuan)擇(ze)，通常(chang)探針(zhen)的形(xing)狀(zhuang)為直棒狀(zhuang)、U形(xing)、Z形(xing)等(deng)。考慮到實驗的靈敏度(du)問題，在選(xuan)用探針(zhen)時必須(xu)與(yu)被(bei)測物(wu)相(xiang)匹配。

（3）長度(du)：探針的長度(du)是下降液面幅度(du)的關鍵(jian)因素。為獲(huo)得(de)準確的下降水平，要(yao)根據實際測(ce)量(liang)需求(qiu)選(xuan)擇合適的長度(du)。

（4）直徑：探(tan)(tan)針(zhen)的(de)粗細(xi)通常采用0.5mm至5mm之間。過粗的(de)探(tan)(tan)針(zhen)會影響測量(liang)的(de)靈敏度，過細(xi)的(de)探(tan)(tan)針(zhen)則可能(neng)會導致探(tan)(tan)針(zhen)的(de)折斷。

（5）表(biao)面(mian)處理(li)：在實驗中，探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)處于探(tan)(tan)測的(de)介質中，探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)的(de)表(biao)面(mian)形態和性質會直接(jie)影響到測量結果。因(yin)此，探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)的(de)表(biao)面(mian)要求經過光(guang)潔處理(li)和表(biao)面(mian)處理(li)。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量(liang)問題：在使(shi)用過程中應定(ding)期進(jin)行質(zhi)量(liang)檢查。探針的(de)質(zhi)量(liang)差(cha)會導致測量(liang)誤差(cha)增大(da)，嚴重時(shi)可能會損(sun)壞實驗(yan)設(she)備。

（2）加工(gong)工(gong)藝問題(ti)：在探針(zhen)的制作過程中，要保證探針(zhen)的形狀、尺寸的精確與穩(wen)定。

（3）使用注意事項：避免在測量(liang)過程中(zhong)引入空氣，勿使用有陷(xian)進、連續的(de)探(tan)(tan)針以免擾動(dong)測量(liang)，對于使用多(duo)個(ge)探(tan)(tan)針進行測量(liang)的(de)情況要確保(bao)探(tan)(tan)針之間的(de)長度(du)和間距足夠。

（4）存(cun)儲(chu)和(he)保養(yang)問題：盡可能地保證存(cun)儲(chu)環境無除塵、避光性(xing)好(hao)；探針表面不能有刮傷等損壞，使用前(qian)應清洗干凈且消毒處理。