一、探針的種類有哪些

在(zai)晶(jing)(jing)圓(yuan)或芯片測(ce)試(shi)的(de)(de)過程(cheng)中，通(tong)常(chang)會使用(yong)探針(zhen)來準確連接晶(jing)(jing)圓(yuan)或芯片的(de)(de)引腳或錫球(qiu)與測(ce)試(shi)機，以便檢(jian)測(ce)產品(pin)的(de)(de)導通(tong)性(xing)、電流性(xing)、功(gong)能性(xing)和(he)老化性(xing)等性(xing)能指標。那(nei)么你知(zhi)道(dao)探針(zhen)的(de)(de)種類有哪些嗎(ma)？

1、就結構而言，常見的探針類型主要包括彈性探針、懸臂探針和垂直探針

（1）彈性探針

可彈(dan)性探(tan)針(zhen)是一個(ge)由螺旋(xuan)彈(dan)簧組成的(de)(de)探(tan)針(zhen)，其(qi)兩端連接在上(shang)下柱栓上(shang)。螺旋(xuan)彈(dan)簧的(de)(de)中(zhong)間部分(fen)緊(jin)密(mi)纏(chan)繞(rao)在一起，以(yi)防(fang)止產生額外的(de)(de)電(dian)(dian)感和附件電(dian)(dian)阻。而彈(dan)簧的(de)(de)兩端部分(fen)則(ze)被稀疏纏(chan)繞(rao)，以(yi)降低探(tan)針(zhen)對被測試物(wu)體的(de)(de)壓力。在檢測集成電(dian)(dian)路時，信號(hao)會從下柱栓流(liu)向上(shang)方，形(xing)成導電(dian)(dian)路徑。

（2）懸臂式探針

懸臂(bei)探針為探針部(bu)提供適當(dang)的縱(zong)向(xiang)位移，用(yong)于通過(guo)橫(heng)向(xiang)懸臂(bei)接觸待測半導(dao)體(ti)產品，以避免探針部(bu)對待測半導(dao)體(ti)產品施加過(guo)大的針壓。

（3）垂直式(shi)探針

垂直探針(zhen)(zhen)可以(yi)對(dui)應高密度信號(hao)觸點的待(dai)測(ce)半導體(ti)產(chan)品的細間(jian)距排列(lie)，針(zhen)(zhen)尖接觸待(dai)測(ce)半導體(ti)產(chan)品所需(xu)的縱向位(wei)移(yi)可以(yi)通過針(zhen)(zhen)體(ti)本身的彈性變形(xing)來提供。

2、根據探針材料的劃分，常見的有鎢探針、釩銅探針和鎢合金探針

其中，鎢(wu)髁(ke)合(he)金(jin)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)具有穩定的接觸電阻，兼顧硬度和柔韌性，不易(yi)發生探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)偏差。因此，鎢(wu)髁(ke)合(he)金(jin)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)是目前性能(neng)良好(hao)的一種常見(jian)探(tan)針(zhen)(zhen)(zhen)。

3、根據探針的工作頻率，探針分為同軸探針和普通探針

同軸(zhou)探(tan)針(zhen)用(yong)于對測試頻(pin)率比(bi)較(jiao)敏感的測試環境；普通探(tan)針(zhen)用(yong)于對信號衰減不敏感的測試環境。

二、探針的選用與要求

1、探針的選用

（1）材(cai)料：選擇(ze)材(cai)質通常為316不銹鋼(gang)(gang)、金屬玻璃、石英(ying)玻璃、硅、玻璃鋼(gang)(gang)等(deng)。不同(tong)材(cai)料的(de)探針具有(you)不同(tong)的(de)化(hua)學惰性和機械性能，對探測(ce)的(de)液(ye)體和氣體有(you)不同(tong)的(de)適(shi)應性。

（2）形(xing)狀：選擇(ze)探(tan)針的形(xing)狀應該根(gen)據實驗需(xu)求(qiu)進行選擇(ze)，通常探(tan)針的形(xing)狀為直棒狀、U形(xing)、Z形(xing)等。考慮到實驗的靈敏度問題，在選用(yong)探(tan)針時必須與被測物(wu)相匹(pi)配。

（3）長(chang)度(du)(du)：探(tan)針的長(chang)度(du)(du)是(shi)下降(jiang)液面幅(fu)度(du)(du)的關鍵因素。為獲(huo)得準確的下降(jiang)水平(ping)，要根據實(shi)際測量(liang)需(xu)求選擇合(he)適的長(chang)度(du)(du)。

（4）直徑：探(tan)針的粗細通常采用0.5mm至5mm之間。過(guo)粗的探(tan)針會影響測(ce)量的靈敏度，過(guo)細的探(tan)針則可能(neng)會導致探(tan)針的折斷(duan)。

（5）表(biao)(biao)面處(chu)理：在(zai)實(shi)驗中，探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)處(chu)于探(tan)(tan)測(ce)(ce)的(de)(de)(de)介質中，探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)的(de)(de)(de)表(biao)(biao)面形態(tai)和性質會直接影響(xiang)到(dao)測(ce)(ce)量結果。因此，探(tan)(tan)針(zhen)(zhen)的(de)(de)(de)表(biao)(biao)面要求(qiu)經(jing)過光(guang)潔處(chu)理和表(biao)(biao)面處(chu)理。

2、探針的要求

（1）質(zhi)量問題：在(zai)使用(yong)過程中(zhong)應定期進行(xing)質(zhi)量檢查(cha)。探(tan)針的質(zhi)量差會導(dao)致測(ce)量誤差增大，嚴重時可能(neng)會損壞(huai)實驗設(she)備(bei)。

（2）加工(gong)工(gong)藝問題(ti)：在探(tan)針的制作過程中，要保證探(tan)針的形狀、尺(chi)寸的精確與穩定。

（3）使用注意事項：避(bi)免在測(ce)量(liang)(liang)過程中引(yin)入空氣(qi)，勿使用有陷進、連續的探(tan)(tan)針以(yi)免擾(rao)動測(ce)量(liang)(liang)，對(dui)于使用多個探(tan)(tan)針進行測(ce)量(liang)(liang)的情況要確保(bao)探(tan)(tan)針之間的長(chang)度和間距足夠。

（4）存儲和保養問(wen)題：盡可能地保證(zheng)存儲環境無除塵、避光性(xing)好；探針表面不(bu)能有刮(gua)傷等(deng)損壞，使用前應清洗(xi)干凈且消(xiao)毒處(chu)理。