一、金剛線母線是什么東西
金剛線母(mu)線的制(zhi)造金剛線的原(yuan)材(cai)料之一,又稱胚線或基(ji)線,金剛石微粉(fen)顆粒就是(shi)附著(zhu)在母(mu)線上的。
一般來說,金剛線母線(xian)(xian)的(de)(de)直徑(jing)及研磨介質(zhi)(zhi)粒度與硅片(pian)切(qie)(qie)(qie)割質(zhi)(zhi)量及切(qie)(qie)(qie)削(xue)損耗量相關(guan),較小的(de)(de)線(xian)(xian)徑(jing)和介質(zhi)(zhi)粒度有利于提高產品質(zhi)(zhi)量、降低切(qie)(qie)(qie)削(xue)損耗和生產成本。但同時,母線(xian)(xian)線(xian)(xian)徑(jing)變細后對母線(xian)(xian)破斷(duan)力、切(qie)(qie)(qie)片(pian)設備穩定性提出更(geng)高要求。以目前的(de)(de)技術水平(ping)測算(suan),50微米(mi)為金(jin)剛線(xian)(xian)母線(xian)(xian)線(xian)(xian)徑(jing)的(de)(de)價值平(ping)衡(heng)點,實驗室金(jin)剛線(xian)(xian)母線(xian)(xian)直徑(jing)已降至35微米(mi)左右。
二、金剛線母線是什么材質的
金剛線(xian)的母(mu)線(xian)材質主要有兩種,高碳鋼(gang)絲和鎢絲。
早期的(de)金(jin)(jin)剛(gang)線(xian)(xian)基(ji)本(ben)(ben)上(shang)都是用高碳(tan)鋼絲作(zuo)為母(mu)線(xian)(xian),具備(bei)強度高、硬度大、切削(xue)性好(hao)等特點,不過它(ta)的(de)線(xian)(xian)徑規格較粗,出于(yu)硅片降本(ben)(ben)而(er)催生(sheng)的(de)薄片化需求,鎢絲作(zuo)為母(mu)線(xian)(xian)的(de)金(jin)(jin)剛(gang)線(xian)(xian)逐漸越來(lai)越多(duo)。
經過多年發展,硅片切割使用的高碳鋼絲金剛線的(de)(de)線(xian)(xian)(xian)(xian)徑(jing)逐漸細化(hua)(hua),目前(qian)已經到35μm,接近(jin)物理極限。在業(ye)內看來,若要向(xiang)35μm以下(xia)的(de)(de)線(xian)(xian)(xian)(xian)徑(jing)規格方(fang)向(xiang)演進(jin),則需要替換金(jin)剛(gang)線(xian)(xian)(xian)(xian)母線(xian)(xian)(xian)(xian)材料。而鎢(wu)絲(si)憑借具(ju)備(bei)耐磨損、高強(qiang)度(du)、斷線(xian)(xian)(xian)(xian)率低(di)等優勢,具(ju)備(bei)更大(da)的(de)(de)細線(xian)(xian)(xian)(xian)化(hua)(hua)空間。因此,金(jin)剛(gang)線(xian)(xian)(xian)(xian)母線(xian)(xian)(xian)(xian)材料開始(shi)朝著鎢(wu)絲(si)方(fang)向(xiang)滲(shen)透。
此外,對(dui)于(yu)硅(gui)片(pian)企(qi)業而言,若(ruo)金剛(gang)線越(yue)(yue)細(xi),切(qie)割(ge)硅(gui)棒時產生的多晶硅(gui)損耗就(jiu)越(yue)(yue)少,越(yue)(yue)有利(li)于(yu)節省成本。另外,在硅(gui)片(pian)向大(da)尺(chi)寸化、薄片(pian)化方向發展(zhan)的趨勢下,疊(die)加(jia)N型硅(gui)片(pian)發展(zhan)趨勢,更細(xi)的鎢絲有利(li)于(yu)減少對(dui)硅(gui)片(pian)損傷,提高切(qie)割(ge)效率(lv)。