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專利名稱：感應加熱裝置及感應加熱方法
專利類型：發明
申請號：CN201180038790.7
公開(公告)號：CN103069921B
申請日：20110728
公開(公告)日：20150603
申請人：三井造船株式會社
發明人：內田直喜,岡崎良弘,尾崎一博
申請人地址：日本東京都
申請人區域代碼：JP
專利權人：三井造船株式會社
洛迦諾分類：無
IPC：H01L21/205,H01L21/22,H01L21/324,H05B6/10,H05B6/44
優先權：JP2010-178725 20100809
專利代理機構：北京市柳沈律師事務所 11105
代理人：岳雪蘭
審查員：孫長欣
國際申請：PCT/JP2011/067346 20110728
國際公開(公告)：WO2012/020652 20120216
進入國家日期：20130206
分案申請：無

關鍵詞

加熱線圈,感應加熱線圈,感受器,熱處理裝置,晶片,垂直方向配置,區域控制裝置,半導體基板,電磁耦合,電流波形,加熱控制,間接加熱,水平配置,相互感應,耦合線圈,耦合,電流,外周,平行,交流

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