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中(zhong)國(guo)科學院沈陽科學儀(yi)器(qi)(qi)股份(fen)有限公司(si)（以(yi)下簡稱 “公司(si)”）創(chuang)建于(yu)1958年(nian)，前身為中(zhong)國(guo)科學院沈陽科學儀(yi)器(qi)(qi)研(yan)(yan)制(zhi)中(zhong)心。園區位于(yu)遼寧省(sheng)沈陽市渾南區，占地(di)(di)面(mian)積110畝，建筑(zhu)面(mian)積3.5萬平方米(mi)。多年(nian)來(lai)，公司(si)專(zhuan)注于(yu)高真(zhen)(zhen)(zhen)空、超高真(zhen)(zhen)(zhen)空、超潔凈真(zhen)(zhen)(zhen)空技(ji)術(shu)的研(yan)(yan)究和(he)發展(zhan)，是我國(guo)集(ji)成(cheng)電路裝備和(he)真(zhen)(zhen)(zhen)空儀(yi)器(qi)(qi)設備的研(yan)(yan)制(zhi)、生產基地(di)(di)，先后組建“國(guo)家分子(zi)束外延技(ji)術(shu)試驗(yan)基地(di)(di)”、“國(guo)家真(zhen)(zhen)(zhen)空儀(yi)器(qi)(qi)裝置工程技(ji)術(shu)研(yan)(yan)究中(zhong)心”和(he)“真(zhen)(zhen)(zhen)空技(ji)術(shu)裝備國(guo)家工程實驗(yan)室”等科研(yan)(yan)平臺。

公司主要從事干式真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)、真(zhen)(zhen)(zhen)空儀器設(she)備(bei)的(de)研(yan)發(fa)、生產(chan)和銷售(shou)，并(bing)提供相關技(ji)(ji)術服務。公司產(chan)品主要包括系(xi)列羅茨干泵(beng)、系(xi)列渦旋(xuan)干泵(beng)、大科(ke)學(xue)裝置、真(zhen)(zhen)(zhen)空薄膜(mo)儀器設(she)備(bei)和新材料制備(bei)設(she)備(bei)等。公司承(cheng)擔了(le)國(guo)(guo)家(jia)“極(ji)大規模集成電(dian)路(lu)制造裝備(bei)及(ji)成套工藝”（“02專(zhuan)(zhuan)項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)”）、“高(gao)檔數控機床與(yu)基礎(chu)制造裝備(bei)”（“04”專(zhuan)(zhuan)項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)）、“國(guo)(guo)家(jia)重點研(yan)發(fa)計劃”等科(ke)技(ji)(ji)專(zhuan)(zhuan)項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)，并(bing)通過自(zi)主研(yan)發(fa)創新實(shi)現了(le)國(guo)(guo)產(chan)干式真(zhen)(zhen)(zhen)空泵(beng)在集成電(dian)路(lu)領域的(de)批量應(ying)用，打破(po)了(le)歐美及(ji)日本企業(ye)(ye)對同類(lei)產(chan)品的(de)長(chang)期壟斷，實(shi)現了(le)關鍵裝備(bei)的(de)進(jin)口(kou)替代。先后獲得國(guo)(guo)家(jia)科(ke)技(ji)(ji)進(jin)步獎六項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)，中(zhong)國(guo)(guo)科(ke)學(xue)院及(ji)省(sheng)部級科(ke)技(ji)(ji)進(jin)步獎二十項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)，擁(yong)有專(zhuan)(zhuan)利七十一項(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)(xiang)，被認定為國(guo)(guo)家(jia)高(gao)新技(ji)(ji)術企業(ye)(ye)、國(guo)(guo)家(jia)知(zhi)識產(chan)權優(you)勢企業(ye)(ye)、遼(liao)寧省(sheng)技(ji)(ji)術創新示范企業(ye)(ye)、遼(liao)寧省(sheng)創新型中(zhong)小企業(ye)(ye)、遼(liao)寧省(sheng)省(sheng)級企業(ye)(ye)技(ji)(ji)術中(zhong)心、沈陽市科(ke)技(ji)(ji)領航型企業(ye)(ye)、沈陽市科(ke)技(ji)(ji)小巨(ju)人企業(ye)(ye)等。

公(gong)(gong)司設立有(you)(you)2個全資(zi)子公(gong)(gong)司——上(shang)海上(shang)凱(kai)儀真空技術(shu)有(you)(you)限公(gong)(gong)司、中(zhong)科(ke)(ke)儀（南通）半導體設備(bei)有(you)(you)限責任公(gong)(gong)司；1個分公(gong)(gong)司——中(zhong)國科(ke)(ke)學(xue)院(yuan)沈陽科(ke)(ke)學(xue)儀器股(gu)份有(you)(you)限公(gong)(gong)司上(shang)海分公(gong)(gong)司。