上海華力(li)微電(dian)子有限公司(si),是中國(guo)大陸(lu)一條全自動12英(ying)寸集(ji)成電(dian)路Foundry生產線,工藝水平達到55-40-28nm技(ji)(ji)術等(deng)級,月(yue)產能達3.5萬片。華力(li)微電(dian)子采用代工模式,為設計公司(si)、IDM公司(si)和(he)其他系(xi)統公司(si)代工邏(luo)輯和(he)閃存芯片。公司(si)位于中國(guo)上海張江高科技(ji)(ji)園(yuan)區,在(zai)中國(guo)臺灣地區、日本(ben)、北美等(deng)地均設有辦公室,提(ti)供銷售與(yu)技(ji)(ji)術支持。
華力微(wei)電子廠房面(mian)積(ji)超(chao)過(guo)(guo)9萬平方米(mi),其中(zhong)凈化(hua)面(mian)積(ji)超(chao)過(guo)(guo)1.5萬平方米(mi)。生產(chan)線(xian)采用精(jing)良生產(chan)設備(bei)(bei),能滿足193nm浸沒(mei)式光刻技(ji)(ji)術、應變硅技(ji)(ji)術、銅后(hou)道金屬互(hu)連技(ji)(ji)術、大(da)馬士革一體(ti)化(hua)刻蝕技(ji)(ji)術等工藝技(ji)(ji)術的要求,同(tong)時還配(pei)備(bei)(bei)了(le)業界的亮場缺陷檢(jian)測和電子掃描(miao)顯微(wei)鏡等檢(jian)測設備(bei)(bei)。
華力微(wei)電子采(cai)用全(quan)(quan)自(zi)動硅(gui)片搬(ban)送系統和全(quan)(quan)自(zi)動派(pai)工(gong)系統,建立了(le)集成電路“柔(rou)性全(quan)(quan)自(zi)動生產(chan)系統”,可靈活調配產(chan)能(neng),產(chan)線良率指標達到業界前沿水平(ping)。
華力微電(dian)子(zi)建(jian)立了擁有自主知識產權的(de)(de)55-40-28nm邏輯工藝技術平臺和延伸的(de)(de)特色工藝技術,可(ke)以滿足客戶(hu)在低功耗、高性能、射頻、高壓、圖像傳感器(qi)、嵌(qian)入式存(cun)儲器(qi)等多(duo)種芯片的(de)(de)大規(gui)模生產需求。