SSI在科學家團隊的帶領下,以科學精神為指引,確定了PVD工作站+超高真空互聯+表征儀器等高端真空儀器設備為未來的產品方向及精品戰略。經過數年持續不斷的努力,SSI研(yan)制出具有自(zi)主知(zhi)識產權(quan)的以MBE(分(fen)子束外(wai)延)、UHV-Sputter(超高真空(kong)磁控濺(jian)射(she))、PLD(激(ji)光脈沖沉積)、EBE(電子束蒸發)、TES(熱(re)蒸發)等為代表的薄膜設備(bei),以及(ji)AES(俄歇(xie))等表征儀器,并通過(guo)UHV LTS(超高真空(kong)互(hu)聯系統(tong))將(jiang)上述PVD工作(zuo)(zuo)站與表征儀器工作(zuo)(zuo)站互(hu)聯起來實現原位分(fen)析。這(zhe)些裝備(bei)已(yi)經大(da)(da)量被中國(guo)科學(xue)(xue)院(yuan)下屬諸多研(yan)究所、清(qing)華(hua)大(da)(da)學(xue)(xue)、北京(jing)大(da)(da)學(xue)(xue)、南京(jing)大(da)(da)學(xue)(xue)、上海科技(ji)大(da)(da)學(xue)(xue)、南方科技(ji)大(da)(da)學(xue)(xue)等高校實驗(yan)室采購使用,廣(guang)泛應用于中國(guo)的基礎科研(yan)。掌握多項(xiang)核心(xin)技(ji)術,擁有數項(xiang)專(zhuan)(zhuan)利專(zhuan)(zhuan)著。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
CN201310298636.4 | 一種用于絕熱氣瓶漏率檢測的檢漏裝置和檢漏方法 | 詳情 |