成立于2002年,致力于半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發/設計/制造/銷售/技術服務,主要生產光刻機、激光封裝設備、光配向設備等,廣泛用于集成電路、先進封裝、FPD面板等制造領域
上海微電子(zi)裝備(集團(tuan))股份有限(xian)公司(簡稱(cheng)SMEE)主要致力于(yu)半導體裝(zhuang)備、泛半導體裝(zhuang)備、高端智能裝(zhuang)備的開發、設(she)計、制(zhi)(zhi)造(zao)、銷(xiao)售及技術服務。公司設(she)備廣泛應用(yong)于(yu)集成(cheng)電路前道、先進封裝(zhuang)、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制(zhi)(zhi)造(zao)領域(yu)。
SMEE致(zhi)力(li)于以極致(zhi)服務,造高端產(chan)品,創(chuang)卓越(yue)價值,全天候(hou)、多方位、全身心地為顧客提(ti)供優質產(chan)品和技術服務。
SMEE已通(tong)過(guo)ISO27001信息安全、ISO9001質量管理和ISO14001環境管理等體系的國際認證(zheng),力求為客戶提供持(chi)續、穩定、高品質的產品和服務(wu),并(bing)履行一個(ge)優秀的高科(ke)技企業的社(she)會責任。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL201310747393.8 | 一種調焦調平裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201410857409.5 | 一種硅片邊緣保護裝置 | 第二十屆中國專利優秀獎(2018年) |
ZL201110241791.3 | 一種步進光刻設備及光刻曝光方法 | 第二十一屆中國專利優秀獎(2019年) |
標準號 | 標準名稱 | 發布日期 | 實施日期 | 標準詳情 |
GB/T 40577-2021 | 集成電路制造設備術語 | 2022-10-11 | 2023-05-01 |