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沈(shen)陽(yang)(yang)芯源微電子(zi)設備股份有限公司(si)成立(li)于2002年(nian)，是由(you)中科(ke)院沈(shen)陽(yang)(yang)自動(dong)化研究(jiu)所(suo)發(fa)起創建的(de)國家高新技術(shu)企業，專業從事半(ban)導體生產(chan)設備的(de)研發(fa)、生產(chan)、銷售與服務，致(zhi)力于為客(ke)戶提供半(ban)導體裝備與工藝(yi)整體解決(jue)方案。

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2019年12月16日，芯源公司在上交所科創板上市，借力資本市場，芯源將加速(su)提升(sheng)企業的創新能(neng)力和產(chan)品成套能(neng)力，以先進(jin)可靠(kao)的產(chan)品和優質(zhi)服務贏得客戶信賴，為客戶提供先進(jin)的半導體設(she)備，助推產(chan)業技術(shu)進(jin)步。