1981年,考入合肥工業大(da)學,先(xian)后獲得學士、碩士學位。
1998年(nian),獲得北(bei)京航空航天大學博士(shi)學位。
2000年,被聘為(wei)中國科(ke)學(xue)院(yuan)微電子研究所研究員(yuan)和納(na)米加(jia)工與新(xin)器件集成技術研究室主(zhu)任。
2018年,出任中國(guo)科學技(ji)術大學國(guo)家示范性微電子學院(yuan)院(yuan)長(chang)。
2022年08月11日,擔任中芯(xin)國際(ji)董事會審(shen)計委員(yuan)會成員(yuan)。
2015年,當(dang)選中國(guo)科學院院士。
2017年03月08日,榮獲中國科學院第五屆“十大杰(jie)出婦女”榮譽稱號。
2018年,當選(xuan)為發展中國家科學院院士。
2007年,項目(mu)《中高頻聲(sheng)表面(mian)波關鍵(jian)材(cai)料及技(ji)術研究》榮獲“國(guo)家技(ji)術發(fa)明二等(deng)獎”。
2009年,項(xiang)目《移(yi)動(dong)通訊用濾波器關鍵技術及產業化》榮獲“國家科(ke)技進步二等獎”。
2010年,項目《微納結構‘自上而下’制備核心技術(shu)與(yu)集成應用》榮獲“北京(jing)市科學技術(shu)一(yi)等獎(jiang)”。
2013年,項目《高精度微納結構(gou)掩(yan)模(mo)制造核(he)心技術》榮獲“國家技術發(fa)明二(er)等獎”。
2014年,項目《阻變存儲器及(ji)集成的(de)基礎研究》榮獲“北京市科(ke)學技術二等獎”。