1981年,考入合肥工業大學(xue),先(xian)后獲得學(xue)士、碩士學(xue)位。
1998年,獲得北京航空航天大學博士學位。
2000年,被聘(pin)為中(zhong)國科學院(yuan)微電子(zi)研(yan)究所研(yan)究員和納米加工(gong)與(yu)新器件集成技術研(yan)究室主任。
2018年,出任(ren)中國(guo)科學技(ji)術大(da)學國(guo)家示范性微電子學院院長。
2022年(nian)08月11日,擔任(ren)中芯(xin)國際董(dong)事會(hui)審(shen)計委員會(hui)成員。
2015年,當選中國(guo)科學院(yuan)院(yuan)士(shi)。
2017年03月08日,榮(rong)獲(huo)中國科學(xue)院第五屆“十大杰(jie)出婦女(nv)”榮(rong)譽稱號。
2018年,當選為發展中國家科學院院士。
2007年,項目《中高頻聲表面波關鍵材料(liao)及技(ji)術(shu)研究》榮獲“國(guo)家(jia)技(ji)術(shu)發明二(er)等獎”。
2009年,項目《移動(dong)通訊用濾波器關鍵技術及產業(ye)化》榮獲“國家(jia)科技進(jin)步(bu)二等獎”。
2010年,項目《微納結(jie)構(gou)‘自上而下(xia)’制備核心(xin)技術(shu)與集成應用(yong)》榮(rong)獲“北(bei)京市科(ke)學技術(shu)一(yi)等(deng)獎”。
2013年,項目(mu)《高精度微納結(jie)構掩模制造核心技(ji)(ji)術》榮獲“國家(jia)技(ji)(ji)術發明(ming)二等獎”。
2014年,項目(mu)《阻變存(cun)儲器及集(ji)成的基礎研究》榮獲“北(bei)京市科學技(ji)術二等獎”。