一、光學3d輪廓測量儀是什么

光學3d輪廓測(ce)量儀也叫白光干涉儀，是(shi)目前三維形貌測(ce)量領域高(gao)精度的(de)3D三維測(ce)量儀器之一。在(zai)同等放大(da)倍率(lv)下，測(ce)量精度和(he)重復性都高(gao)于共(gong)聚焦(jiao)顯(xian)微鏡和(he)聚焦(jiao)成(cheng)像顯(xian)微鏡。光學3d輪廓測(ce)量儀是(shi)以白光干涉測(ce)量技術為基(ji)礎而研發生產(chan)的(de)，采用的(de)是(shi)非接觸(chu)式光學測(ce)量，在(zai)獲得(de)實時數(shu)據的(de)同時，不會對(dui)產(chan)品(pin)造成(cheng)任何損(sun)傷(shang)，從(cong)而有效節約(yue)了(le)生產(chan)成(cheng)本，提高(gao)了(le)生產(chan)效率(lv)，并且在(zai)線檢測(ce)，沒有滯后性，從(cong)而減少不合格品(pin)，對(dui)表面(mian)缺陷(xian)檢測(ce)亦如此。

在一些納米或者亞納米級別的超高精度加工領域，除了光學3d輪廓測量儀，其(qi)它儀(yi)器達不到檢測(ce)的精(jing)度要求。

光學3d輪廓測量儀的優(you)點(dian)：

1、非接觸(chu)高精密測量(liang)，不會劃傷甚至破(po)壞(huai)工件。

2、測量(liang)速度快，不必像探頭逐(zhu)點(dian)進(jin)行測量(liang)。

3、不必作(zuo)探頭半徑補正(zheng)，光點位置就是工件表面測(ce)量的位置。

4、對高(gao)深寬比的溝槽(cao)結構，可(ke)以快(kuai)速而精確(que)的得(de)到理(li)想的測(ce)量結果。

二、光學3d輪廓測量儀的參數有哪些

1、Z向(xiang)分辨率：0.1nm

2、橫向分辨(bian)率（0.5λ/NA）：100X~2.5X：0.5um~3.7um

3、粗(cu)糙度RMS重復性(xing)：0.1nm

4、表面(mian)形貌重復性：0.1nm

5、臺階(jie)測量(liang)：重(zhong)復性：0.1%；準確度：0.75%

6、主要特點：非(fei)接觸式(shi)無損檢(jian)測，一鍵分析、快速高效。