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專利名稱:
一種AZO透明導電薄膜的制備方法
專利類型:
發明
申請號:
CN201410141358.6
公開(公告)號:
CN103938210B
申請日:
20140410
公開(公告)日:
20160817
申請人:
三峽大學,湖北三峽新型建材股份有限公司
發明人:
孫宜華,陳劍,呂鑫,方亮,王海林
申請人地址:
443002 湖北省宜昌市大學路8號
申請人區域代碼:
CN420502
專利權人:
三峽大學,湖北三峽新型建材股份有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
C23C28/04,C23C18/12,C23C14/06,C23C14/35
優先權:
無
專利代理機構:
宜昌市三峽專利事務所 42103
代理人:
成鋼
審查員:
趙亞斌
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關(guan)鍵詞(ci)
制備,磁控濺射法,薄膜,透明導電薄膜,應用前景廣闊,薄膜光電,玻璃基片,低溫條件,光電材料,使用壽命,綜合性能,附著性,凝膠法,凝膠,沉積
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