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著(zhu)錄(lu)信息
專利名稱:
用于柔性線材表面鍍膜的磁控濺射裝置
專利類型:
發明
申請號:
CN201210516126.5
公開(公告)號:
CN103014641B
申請日:
20121205
公開(公告)日:
20151104
申請人:
廣東志成冠軍集團有限公司
發明人:
陳宇
申請人地址:
523000 廣東省東莞市塘廈鎮田心工業區廣東志成冠軍集團有限公司
申請人區域代碼:
CN441900
專利權人:
廣東志成冠軍集團有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
C23C14/35,C23C14/56
優先權:
無
專利代理機構:
北京品源專利代理有限公司 11332
代理人:
胡彬
審查員:
王姍
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵詞
柔性線材,磁控濺射鍍膜,第二轉軸,鍍膜,收卷,第一轉軸,均勻轉動,室內設置,濺射靶,裝載室,室內,膜層,磁控濺射裝置,輸出端連接,表面鍍膜,動力裝置,環形均布,均勻設置,均勻移動,提高生產,一端設置,可連續,收卷室,一種,轉軸,均勻,裝載,可靠,相連,完整,公開,穩定,工作,進行
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