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著錄信息

專利名稱：調節式布氣系統及包含其的磁控濺射鍍膜裝置
專利類型：發明
申請號：CN201210531667.5
公開(公告)號：CN103014642B
申請日：20121210
公開(公告)日：20150401
申請人：廣東志成冠軍集團有限公司
發明人：陳宇
申請人地址：523000 廣東省東莞市塘廈鎮田心工業區廣東志成冠軍集團有限公司
申請人區域代碼：CN441900
專利權人：廣東志成冠軍集團有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：C23C14/35
優先權：無
專利代理機構：北京品源專利代理有限公司 11332
代理人：胡彬
審查員：漆海清
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關(guan)鍵(jian)詞

氣管,布氣系統,吹氣,流量計,靶面,磁控濺射,鍍膜厚度,鍍膜物體,鍍膜裝置,均勻排列,實時控制,調節式,鍍膜,膜層,軸向,平行

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