芒果视频下载
網站分類
品牌介紹
企業
著錄(lu)信息
專利名稱:
紫外光刻機曝光系統用精密介質膜反射鏡
專利類型:
實用新型
申請號:
CN201520656862.X
公開(公告)號:
CN204903941U
申請日:
20150828
公開(公告)日:
20151223
申請人:
沈陽儀表科學研究院有限公司
發明人:
宋光輝,姚春龍,王銀河,劉新華,戰俊生,李文龍,雷鵬
申請人地址:
110043 遼寧省沈陽市大東區北海街242號
申請人區域代碼:
CN210104
專利權人:
沈陽儀表科學研究院有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
G03F7/20,G02B5/08,G02B1/10,C23C14/08,C23C14/28
優先權:
無
專利代理機構:
沈陽亞泰專利商標代理有限公司 21107
代理人:
郭元藝
審查員:
無
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵詞(ci)
低折射率膜,鍍膜材料層,高折射率,交替疊置,非球面,非周期,多層,材料層,內表面,半導體集成電路制造,介質膜反射鏡,紫外光刻機,光學特性,機械強度,膜層表面,曝光系統,日常維護,使用周期,吸收損失,沉積于,膜沉積,實用,層數,劃痕,料層,一種,沉積,精密,清潔,涉及,穩定
網站提醒和聲明
免責聲明(ming):
本站為(wei)會員提供信(xin)息(xi)(xi)存(cun)儲空間服務,由于更新時(shi)間等問題(ti),可(ke)能(neng)存(cun)在信(xin)息(xi)(xi)偏差的(de)情(qing)況,具體請以品牌企業官(guan)網信(xin)息(xi)(xi)為(wei)準(zhun)。如有侵權、錯誤信(xin)息(xi)(xi)或(huo)任何(he)問題(ti),請及(ji)時(shi)聯系我們,我們將在第一時(shi)間刪除或(huo)更正。
版權聲明>>
修改>>
申請刪除>>
網頁上相關(guan)信(xin)息(xi)的知識產(chan)(chan)權歸(gui)網站(zhan)方所(suo)有(包(bao)括(kuo)但不(bu)(bu)限于文(wen)字、圖(tu)片、圖(tu)表(biao)、著作權、商(shang)標(biao)權、為用(yong)戶提供的商(shang)業信(xin)息(xi)等),非(fei)經(jing)許可不(bu)(bu)得抄襲或(huo)(huo)使用(yong)。本站(zhan)不(bu)(bu)生產(chan)(chan)產(chan)(chan)品(pin)、不(bu)(bu)提供產(chan)(chan)品(pin)銷(xiao)售服(fu)務、不(bu)(bu)代(dai)理、不(bu)(bu)招(zhao)商(shang)、不(bu)(bu)提供中介服(fu)務。本頁面(mian)內容不(bu)(bu)代(dai)表(biao)本站(zhan)支持投(tou)資(zi)購買的觀點(dian)或(huo)(huo)意見,頁面(mian)信(xin)息(xi)僅(jin)供參考(kao)和借鑒。
提交說明:
快速提交發布>>
查看提交幫助>>
注冊登錄>>
芒果视频下载
>
儀器儀表
>
濾光片
歡迎您來到買購網
登錄
頁面相關分類
濾光片
傳感器
財富世界500強
福布斯2000強
上市公司
制造業單項冠軍
國家企業技術中心
專精特新小巨人
標準起草單位
大品牌
中小品牌
高新技術企業
瞪羚企業
科技型中小企業
中華老字號
馳名保護
原省市名牌
我想代理
收藏頁面
分享頁面
聯系網站
(非品牌方)
回到頂部