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專利名稱:
晶圓清洗機
專利類型:
實用新型
申請號:
CN201420146111.9
公開(公告)號:
CN203760441U
申請日:
20140328
公開(公告)日:
20140806
申請人:
沈陽儀表科學研究院有限公司
發明人:
馬巖,白雪峰,榮宇,郝鑫
申請人地址:
110043 遼寧省沈陽市大東區北海街242號
申請人區域代碼:
CN210104
專利權人:
沈陽儀表科學研究院有限公司
洛迦諾分類:
無
IPC:
H01L21/67
優先權:
無
專利代理機構:
沈陽科威專利代理有限責任公司 21101
代理人:
楊濱
審查員:
無
國際申請:
無
國際公開(公告):
無
進入國家日期:
無
分案申請:
無
關鍵(jian)詞
真空軸,殼體,步進電機,伺服電機,擺桿,噴頭,吸盤,伺服系統控制,真空發生器,硅片清洗,技術要點,伺服系統,維護成本,清洗機,輸出端,輸出軸,晶圓,固定
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