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專利名稱：固體金屬有機化合物封裝容器串聯系統
專利類型：實用新型
申請號：CN201420117857.7
公開(公告)號：CN203782229U
申請日：20140317
公開(公告)日：20140820
申請人：江蘇南大光電材料股份有限公司
發明人：呂寶源,沈斌,韋錦昊,單一菁,陸平,王萍,高磊
申請人地址：215123 江蘇省蘇州市翠薇街9號月亮灣國際中心7樓
申請人區域代碼：CN320503
專利權人：江蘇南大光電材料股份有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：C23C16/455,C23C16/448,C23C16/18
優先權：無
專利代理機構：南京天華專利代理有限責任公司 32218
代理人：徐冬濤
審查員：無
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關鍵詞(ci)

有機化合物,固體金屬,出氣管,進氣管,串聯,連接,連接管,復數,金屬有機化學氣相沉積,串聯系統,封裝容器,容置空間,蒸氣氣壓,制程設備,出氣閥,進氣閥,套件,接管,浪費

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