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著錄信息

專利名稱：在三維異形曲面上腐蝕復雜圖案的方法
專利類型：發明
申請號：CN200710024850.5
公開(公告)號：CN100520576C
申請日：20070703
公開(公告)日：20090729
申請人：航天晨光股份有限公司
發明人：胡寧生,撒世國,胡鵬,康慶生,徐錦新,張毅
申請人地址：211100江蘇省南京市江寧經濟技術開發區天元中路188號
申請人區域代碼：CN320115
專利權人：航天晨光股份有限公司
洛迦諾分類：無
IPC：G03F7/00
優先權：無
專利代理機構：南京蘇科專利代理有限責任公司
代理人：何朝旭
審查員：郭金霞
國際申請：無
國際公開(公告)：無
進入國家日期：無
分案申請：無

關(guan)鍵(jian)詞(ci)

三維異形,塑料薄膜,感光,光化學加工,腐蝕,疊合,曝光,圖案,兩側,腐蝕圖案,復雜圖案,化學腐蝕,效果良好,感光膠,二次,顯影,照相,三維,對接,接觸

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