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上海(hai)集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)研(yan)(yan)(yan)發(fa)中(zhong)心有(you)限公司（ICRD）成(cheng)立于2002年，是國家支持組建(jian)、產學研(yan)(yan)(yan)合(he)作的集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)研(yan)(yan)(yan)發(fa)中(zhong)心。ICRD由中(zhong)國集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)相關(guan)企業集(ji)(ji)團和高(gao)校聯(lian)合(he)投資組建(jian)而成(cheng)，是一(yi)個獨立的面(mian)向全行業集(ji)(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)企業、大(da)學及研(yan)(yan)(yan)究所開放的公共研(yan)(yan)(yan)發(fa)機構。

上(shang)(shang)海集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)研(yan)發(fa)中心聚焦集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)主流技術路(lu)線(xian)，致力于解決重大共性技術的(de)研(yan)發(fa)及服(fu)務(wu)支撐問(wen)題，并為自(zi)主可控(kong)產(chan)(chan)業鏈建設(she)(she)提(ti)供(gong)公共的(de)裝(zhuang)備和(he)(he)材(cai)料(liao)驗(yan)證(zheng)平臺。ICRD的(de)主要功能(neng)包括：為集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)企業和(he)(he)研(yan)發(fa)單位提(ti)供(gong)前端器件及工(gong)(gong)藝技術的(de)前期研(yan)發(fa)和(he)(he)產(chan)(chan)品級驗(yan)證(zheng)；為集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)裝(zhuang)備和(he)(he)材(cai)料(liao)提(ti)供(gong)研(yan)制到上(shang)(shang)線(xian)的(de)驗(yan)證(zheng)和(he)(he)工(gong)(gong)藝配套(tao)；為集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)生產(chan)(chan)線(xian)升級提(ti)供(gong)知識產(chan)(chan)權和(he)(he)技術轉移(yi)；為國內設(she)(she)計企業研(yan)制芯片提(ti)供(gong)特色工(gong)(gong)藝和(he)(he)共享IP核服(fu)務(wu)；為企業及高校提(ti)供(gong)培(pei)養(yang)集(ji)成(cheng)電(dian)路(lu)技術人才和(he)(he)高技能(neng)人才的(de)實訓基(ji)地。

上海(hai)集成電(dian)路研發(fa)中(zhong)心位(wei)于上海(hai)市張(zhang)江(jiang)高(gao)科技(ji)(ji)園區，地理位(wei)置毗鄰(lin)華力微(wei)電(dian)子和(he)(he)(he)中(zhong)芯國際(ji)。ICRD建有(you)(you)12英(ying)寸(cun)開(kai)放式集成電(dian)路工藝(yi)研發(fa)和(he)(he)(he)裝備材料試驗平臺(tai)，凈化(hua)面積(ji)超過3000平方米，研發(fa)環境(jing)及管(guan)理系統和(he)(he)(he)大生產(chan)線匹配，可(ke)實現硅片無沾污進(jin)出和(he)(he)(he)工藝(yi)流程無縫銜接，加快了技(ji)(ji)術研發(fa)和(he)(he)(he)驗證速(su)度。ICRD擁有(you)(you)浸(jin)沒(mei)式193nm光(guang)刻(ke)機(ji)、硅刻(ke)蝕(shi)機(ji)、原子層薄膜生長（ALD）、高(gao)能(neng)離(li)子注入機(ji)以及全套(tao)銅互連和(he)(he)(he)Low-K等工藝(yi)設備，工藝(yi)研發(fa)能(neng)力可(ke)達14納米以下。

上海(hai)集成電(dian)路研發(fa)中心擁有(you)一(yi)批來(lai)自(zi)(zi)國際研發(fa)機構和(he)跨國公司的研究人員，并通過國內(nei)外產業合作持續(xu)培養和(he)鍛煉了(le)(le)一(yi)支擁有(you)自(zi)(zi)主工藝技術提升能(neng)力的研發(fa)隊(dui)伍，為中國集成電(dian)路產業的自(zi)(zi)主可控(kong)持續(xu)發(fa)展提供了(le)(le)中堅(jian)力量。ICRD掌(zhang)握了(le)多個技術(shu)(shu)代的(de)工(gong)藝(yi)(yi)(yi)(yi)技術(shu)(shu)和(he)知(zhi)識(shi)產(chan)(chan)權，為(wei)中國(guo)集(ji)成(cheng)電路生產(chan)(chan)線的(de)建(jian)設提供了(le)多套技術(shu)(shu)轉移和(he)服務；通過設立產(chan)(chan)業界共性技術(shu)(shu)研(yan)發(fa)項目，進(jin)行FinFET器(qi)件及工(gong)藝(yi)(yi)(yi)(yi)、FDSOI關鍵工(gong)藝(yi)(yi)(yi)(yi)、5nm以下納米(mi)線晶體管(guan)等新器(qi)件和(he)工(gong)藝(yi)(yi)(yi)(yi)技術(shu)(shu)的(de)聯合(he)(he)研(yan)發(fa)；開展產(chan)(chan)學(xue)研(yan)合(he)(he)作，研(yan)發(fa)STT-MRAM、晶體管(guan)級(ji)3D堆疊、量子點傳(chuan)感(gan)器(qi)、類神經元晶體管(guan)等前(qian)沿技術(shu)(shu)和(he)產(chan)(chan)品；通過以精湛工(gong)藝(yi)(yi)(yi)(yi)帶動裝(zhuang)(zhuang)備(bei)和(he)材料(liao)研(yan)發(fa)評價的(de)方式(shi)，為(wei)國(guo)產(chan)(chan)光刻(ke)(ke)機、刻(ke)(ke)蝕機、銅互連、光刻(ke)(ke)膠(jiao)、大硅片等裝(zhuang)(zhuang)備(bei)和(he)材料(liao)提供驗證和(he)工(gong)藝(yi)(yi)(yi)(yi)配套，推動供應(ying)鏈的(de)國(guo)產(chan)(chan)化。