上海集成(cheng)(cheng)電路研(yan)(yan)發(fa)(fa)中心有限(xian)公(gong)司(ICRD)成(cheng)(cheng)立(li)于2002年,是國家支(zhi)持(chi)組建、產學研(yan)(yan)合作的(de)集成(cheng)(cheng)電路研(yan)(yan)發(fa)(fa)中心。ICRD由中國集成(cheng)(cheng)電路相關企業集團和高校(xiao)聯合投資組建而成(cheng)(cheng),是一個獨立(li)的(de)面向全行業集成(cheng)(cheng)電路企業、大學及研(yan)(yan)究所(suo)開放的(de)公(gong)共研(yan)(yan)發(fa)(fa)機構。
上(shang)海集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)(dian)路(lu)研(yan)發(fa)中心聚焦集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)(dian)路(lu)主(zhu)流技(ji)(ji)術路(lu)線(xian),致力(li)于(yu)解決重大共性(xing)技(ji)(ji)術的(de)(de)(de)研(yan)發(fa)及服(fu)務支撐問題,并為(wei)自主(zhu)可控產(chan)(chan)業鏈建設提(ti)供(gong)(gong)公共的(de)(de)(de)裝備和(he)(he)(he)(he)材料(liao)驗(yan)證(zheng)平臺。ICRD的(de)(de)(de)主(zhu)要功能包括(kuo):為(wei)集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)(dian)路(lu)企業和(he)(he)(he)(he)研(yan)發(fa)單位提(ti)供(gong)(gong)前端器件及工(gong)藝技(ji)(ji)術的(de)(de)(de)前期(qi)研(yan)發(fa)和(he)(he)(he)(he)產(chan)(chan)品級(ji)驗(yan)證(zheng);為(wei)集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)(dian)路(lu)裝備和(he)(he)(he)(he)材料(liao)提(ti)供(gong)(gong)研(yan)制(zhi)到上(shang)線(xian)的(de)(de)(de)驗(yan)證(zheng)和(he)(he)(he)(he)工(gong)藝配(pei)套;為(wei)集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)(dian)路(lu)生產(chan)(chan)線(xian)升(sheng)級(ji)提(ti)供(gong)(gong)知識產(chan)(chan)權和(he)(he)(he)(he)技(ji)(ji)術轉移;為(wei)國內設計企業研(yan)制(zhi)芯(xin)片提(ti)供(gong)(gong)特色工(gong)藝和(he)(he)(he)(he)共享(xiang)IP核服(fu)務;為(wei)企業及高校提(ti)供(gong)(gong)培養集成(cheng)(cheng)電(dian)(dian)(dian)路(lu)技(ji)(ji)術人才(cai)和(he)(he)(he)(he)高技(ji)(ji)能人才(cai)的(de)(de)(de)實訓(xun)基地。
上(shang)海集成電(dian)路研(yan)(yan)發中心位(wei)于上(shang)海市張江高(gao)科技(ji)園區,地(di)理位(wei)置毗鄰華力微電(dian)子和(he)(he)(he)中芯國際。ICRD建有12英(ying)寸開放式(shi)(shi)集成電(dian)路工藝研(yan)(yan)發和(he)(he)(he)裝備(bei)材料試(shi)驗平臺,凈化面積超過(guo)3000平方米(mi),研(yan)(yan)發環境及(ji)管理系統(tong)和(he)(he)(he)大生產線匹配,可實現硅片(pian)無(wu)沾污進出和(he)(he)(he)工藝流程無(wu)縫銜接,加快(kuai)了技(ji)術研(yan)(yan)發和(he)(he)(he)驗證速度。ICRD擁有浸(jin)沒式(shi)(shi)193nm光刻(ke)機、硅刻(ke)蝕機、原子層薄膜生長(ALD)、高(gao)能(neng)離子注(zhu)入機以(yi)及(ji)全(quan)套(tao)銅互連和(he)(he)(he)Low-K等工藝設備(bei),工藝研(yan)(yan)發能(neng)力可達14納米(mi)以(yi)下。
上海集成電(dian)路研發(fa)(fa)中心擁有(you)(you)一批來自(zi)國(guo)(guo)際(ji)研發(fa)(fa)機(ji)構和跨國(guo)(guo)公(gong)司的(de)研究(jiu)人員,并(bing)通過國(guo)(guo)內外產業(ye)合作持(chi)續培養和鍛(duan)煉(lian)了一支擁有(you)(you)自(zi)主(zhu)工藝(yi)技術提升能力的(de)研發(fa)(fa)隊伍,為(wei)中國(guo)(guo)集成電(dian)路產業(ye)的(de)自(zi)主(zhu)可控持(chi)續發(fa)(fa)展提供了中堅力量。ICRD掌握了多個(ge)技(ji)術(shu)(shu)代的工(gong)藝(yi)技(ji)術(shu)(shu)和(he)知(zhi)識產權,為中國(guo)集成電路生(sheng)產線(xian)的建(jian)設提供了多套技(ji)術(shu)(shu)轉(zhuan)移和(he)服務(wu);通(tong)過(guo)設立(li)產業界共性技(ji)術(shu)(shu)研(yan)發項目,進行(xing)FinFET器(qi)件(jian)及(ji)工(gong)藝(yi)、FDSOI關鍵工(gong)藝(yi)、5nm以下納米線(xian)晶體管(guan)(guan)等新器(qi)件(jian)和(he)工(gong)藝(yi)技(ji)術(shu)(shu)的聯合研(yan)發;開展(zhan)產學研(yan)合作(zuo),研(yan)發STT-MRAM、晶體管(guan)(guan)級(ji)3D堆疊、量(liang)子點(dian)傳(chuan)感器(qi)、類神經(jing)元(yuan)晶體管(guan)(guan)等前沿技(ji)術(shu)(shu)和(he)產品;通(tong)過(guo)以精湛工(gong)藝(yi)帶動裝(zhuang)備(bei)和(he)材料研(yan)發評(ping)價的方式(shi),為國(guo)產光(guang)刻(ke)(ke)機、刻(ke)(ke)蝕機、銅(tong)互連、光(guang)刻(ke)(ke)膠、大硅片等裝(zhuang)備(bei)和(he)材料提供驗證(zheng)和(he)工(gong)藝(yi)配(pei)套,推動供應鏈的國(guo)產化。