北京華卓(zhuo)精(jing)科科技股份有限(xian)公司成立于2012年(nian)5月9日,主(zhu)(zhu)營業務為集(ji)成電路制造裝備(bei)(bei)及(ji)關鍵零部(bu)件的研發和(he)產業化。目前產品包括(kuo)超(chao)精(jing)密(mi)運動(dong)(dong)平臺、激光退火設備(bei)(bei)、晶圓鍵合(he)設備(bei)(bei)、晶圓傳輸(shu)系統、主(zhu)(zhu)被動(dong)(dong)隔(ge)振器、靜電卡盤、精(jing)密(mi)測量系統等整機(ji)設備(bei)(bei)及(ji)半(ban)導體關鍵零部(bu)件,主(zhu)(zhu)要(yao)應用于集(ji)成電路芯片制造、先(xian)進封裝、功率器件制造等產線,并在(zai)電子制造、激光加工等技術領域(yu)實現(xian)廣泛應用。
公司注冊資金9600萬, 成立時間為2012年5月9日,正式營業時間為2012年8月15日。公司現有團隊200人左右。2015年8月10日,有限公司整體變更為股份有限公司。華卓精(jing)(jing)科面向國內外的IC制(zhi)造、光學、超(chao)精(jing)(jing)密(mi)制(zhi)造等(deng)(deng)行業(ye),致力于為行業(ye)提供(gong)整(zheng)(zheng)機裝備(bei)、核(he)心(xin)子系統、關(guan)鍵零部(bu)件(jian)和定制(zhi)服務(wu),主營(ying)產品包含(han)整(zheng)(zheng)機、超(chao)精(jing)(jing)密(mi)運動系統、精(jing)(jing)密(mi)儀器(qi)設備(bei)和特種制(zhi)造等(deng)(deng)方(fang)面。
華卓精科(ke)以國內(nei)高校的原(yuan)發(fa)技(ji)術(shu)為基礎,經過(guo)多年技(ji)術(shu)攻關和客戶實(shi)(shi)用,形(xing)成(cheng)了(le)堅實(shi)(shi)規范的技(ji)術(shu)研發(fa)體系(xi)(xi),現在已(yi)經成(cheng)功推出(chu)了(le)光刻機雙工(gong)件臺、精密隔振、超精密運動系(xi)(xi)統、關鍵零(ling)部件等系(xi)(xi)列化(hua)產品。
專利號/專利申請號 | 專利名稱 | 專利詳情 |
ZL200910172949.9 | 采用氣浮平面電機的硅片臺雙臺交換系統 | 第二十屆中國專利銀獎(2018年) |